《電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)+GB+51401-2019》詳細(xì)解讀

《電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)GB51401-2019》詳細(xì)解讀1總則2術(shù)語3基本規(guī)定4工藝及工藝設(shè)備5堿性廢氣系統(tǒng)6酸性廢氣系統(tǒng)contents目錄7揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)8特種廢氣系統(tǒng)9除塵系統(tǒng)10電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)11事故通風(fēng)12電氣設(shè)計(jì)附錄A電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康濃度（IDLH）contents目錄本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明引用標(biāo)準(zhǔn)名錄編制說明contents目錄011總則電子工業(yè)廢氣處理工程是環(huán)境保護(hù)的重要組成部分，對于減少電子工業(yè)生產(chǎn)過程中的廢氣排放，保護(hù)大氣環(huán)境具有重要意義。環(huán)境保護(hù)需求通過廢氣處理工程的設(shè)計(jì)與實(shí)施，推動(dòng)電子工業(yè)向更加環(huán)保、可持續(xù)的方向發(fā)展。促進(jìn)可持續(xù)發(fā)展制定統(tǒng)一的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，有助于規(guī)范電子工業(yè)廢氣處理工程的設(shè)計(jì)和建設(shè)，提高工程質(zhì)量。統(tǒng)一設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)1.1目的和意義電子工業(yè)領(lǐng)域本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的廢氣處理工程設(shè)計(jì)，包括但不限于半導(dǎo)體制造、電子元器件生產(chǎn)等。廢氣種類處理對象包括電子工業(yè)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的各類廢氣，如酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣等。1.2適用范圍廢氣處理工程的設(shè)計(jì)應(yīng)確保安全可靠，防止廢氣處理過程中發(fā)生安全事故。安全性原則優(yōu)先選擇環(huán)保性能好的廢氣處理技術(shù)和設(shè)備，確保廢氣處理效果達(dá)到環(huán)保要求。環(huán)保性原則在滿足安全和環(huán)保要求的前提下，盡可能降低廢氣處理工程的投資和運(yùn)行成本。經(jīng)濟(jì)性原則廢氣處理工程的設(shè)計(jì)應(yīng)考慮可持續(xù)發(fā)展，推動(dòng)電子工業(yè)的綠色發(fā)展?？沙掷m(xù)發(fā)展原則1.3設(shè)計(jì)原則022術(shù)語電子工業(yè)廢氣是指在電子設(shè)備制造、加工、維修等過程中產(chǎn)生的含有有害物質(zhì)的氣體排放。電子工業(yè)廢氣通常具有種類繁多、成分復(fù)雜、排放不穩(wěn)定等特點(diǎn)，對環(huán)境和人體健康造成潛在危害。定義特點(diǎn)2.1電子工業(yè)廢氣廢氣處理工程是指針對電子工業(yè)廢氣進(jìn)行收集、輸送、凈化、排放等一系列工藝流程和技術(shù)措施的總稱。定義廢氣處理工程旨在減少或消除廢氣中的有害物質(zhì)，保護(hù)環(huán)境和人體健康，同時(shí)滿足相關(guān)法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)的要求。目的2.2廢氣處理工程定義設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)是指在廢氣處理工程設(shè)計(jì)中應(yīng)遵循的技術(shù)規(guī)范、參數(shù)指標(biāo)和性能要求等，是確保工程設(shè)計(jì)質(zhì)量和效果的重要依據(jù)。作用設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)在廢氣處理工程的設(shè)計(jì)、施工、驗(yàn)收等各個(gè)環(huán)節(jié)中發(fā)揮著重要的指導(dǎo)和規(guī)范作用，有助于提高工程質(zhì)量和效果，降低投資成本和運(yùn)行費(fèi)用。2.3設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)033基本規(guī)定廢氣處理工程應(yīng)符合國家環(huán)境保護(hù)法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)的要求，確保廢氣排放達(dá)到規(guī)定的排放標(biāo)準(zhǔn)。廢氣處理工程應(yīng)與生產(chǎn)工藝相協(xié)調(diào)，不影響生產(chǎn)過程的正常進(jìn)行。廢氣處理工程應(yīng)充分考慮節(jié)能降耗，提高資源利用效率。3.1一般規(guī)定03先進(jìn)適用廢氣處理工程應(yīng)采用先進(jìn)的技術(shù)和設(shè)備，確保處理效果穩(wěn)定可靠，同時(shí)考慮設(shè)備的適用性和維護(hù)方便性。01安全可靠廢氣處理工程的設(shè)計(jì)應(yīng)確保設(shè)備、管道、閥門等安全可靠，防止廢氣泄漏和事故發(fā)生。02經(jīng)濟(jì)合理廢氣處理工程的設(shè)計(jì)應(yīng)綜合考慮投資、運(yùn)行費(fèi)用等因素，確保經(jīng)濟(jì)合理。3.2設(shè)計(jì)原則廢氣收集管道設(shè)計(jì)設(shè)備選型控制系統(tǒng)3.3設(shè)計(jì)要求應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝和廢氣性質(zhì)，合理設(shè)計(jì)廢氣收集系統(tǒng)和收集裝置，確保廢氣收集完全。應(yīng)根據(jù)廢氣性質(zhì)和處理要求，選用合適的廢氣處理設(shè)備，確保處理效果穩(wěn)定可靠。廢氣輸送管道應(yīng)合理布置，減少彎頭和阻力，降低能耗。同時(shí)應(yīng)考慮管道的防腐、防爆等措施。廢氣處理工程應(yīng)配備完善的控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制和監(jiān)測，確保廢氣處理過程的穩(wěn)定和安全。044工藝及工藝設(shè)備03廢氣處理過程中產(chǎn)生的廢水、廢渣等應(yīng)妥善處理，避免二次污染。01工藝設(shè)計(jì)應(yīng)遵循安全、可靠、經(jīng)濟(jì)、適用的原則，確保廢氣處理效果穩(wěn)定達(dá)標(biāo)排放。02工藝設(shè)備選型應(yīng)滿足處理工藝要求，考慮設(shè)備性能、處理效率、運(yùn)行成本及維修保養(yǎng)等因素。4.1一般規(guī)定010203廢氣中污染物的種類、濃度及排放量應(yīng)符合國家或地方相關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)。針對不同的污染物，應(yīng)采取相應(yīng)的處理技術(shù)和設(shè)備，確保處理效果穩(wěn)定可靠。廢氣處理過程中應(yīng)注意防止惡臭、噪聲等污染，減少對周邊環(huán)境的影響。4.2污染物控制應(yīng)急處理設(shè)施應(yīng)具備快速啟動(dòng)、高效處理的能力，確保廢氣處理系統(tǒng)在緊急情況下仍能正常運(yùn)行。應(yīng)急處理設(shè)施應(yīng)定期檢查、維護(hù)保養(yǎng)，確保其處于良好備用狀態(tài)。廢氣處理工程應(yīng)配備應(yīng)急處理設(shè)施，以應(yīng)對突發(fā)事故或設(shè)備故障等情況。4.3應(yīng)急設(shè)施055堿性廢氣系統(tǒng)堿性廢氣排放應(yīng)符合國家和地方相關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)。堿性廢氣處理工程應(yīng)與生產(chǎn)工藝相協(xié)調(diào)，確保廢氣穩(wěn)定達(dá)標(biāo)排放。廢氣處理過程中產(chǎn)生的廢水、廢渣等應(yīng)妥善處理，避免二次污染。5.1一般規(guī)定堿性廢氣處理流程包括收集、輸送、凈化和排放等環(huán)節(jié)。處理方法可采用吸收、吸附、中和等，根據(jù)廢氣特性和處理要求選擇適當(dāng)?shù)墓に嚒τ诟邼舛葔A性廢氣，可考慮采用多級(jí)處理或聯(lián)合處理工藝。5.2處理流程和方法123堿性廢氣處理設(shè)備包括洗滌塔、吸收塔、吸附裝置等。設(shè)備選型應(yīng)根據(jù)廢氣特性、處理工藝和處理效率等因素綜合考慮。設(shè)備材質(zhì)應(yīng)耐腐蝕、耐高溫，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。5.3處理設(shè)備

5.4風(fēng)管及附件風(fēng)管設(shè)計(jì)應(yīng)合理布置，減少阻力和漏風(fēng)現(xiàn)象。風(fēng)管材質(zhì)可選用玻璃鋼、不銹鋼等耐腐蝕材料。附件包括閥門、風(fēng)量調(diào)節(jié)裝置、檢測儀表等，應(yīng)滿足使用要求并方便維護(hù)。066酸性廢氣系統(tǒng)酸性廢氣系統(tǒng)應(yīng)單獨(dú)設(shè)置，不應(yīng)與其他廢氣系統(tǒng)混合。酸性廢氣處理設(shè)備應(yīng)具備防腐、防銹、耐高溫等性能。酸性廢氣管道應(yīng)采用耐腐蝕材料，如玻璃鋼、聚氯乙烯等。酸性廢氣排放口應(yīng)設(shè)置監(jiān)測裝置，實(shí)時(shí)監(jiān)測廢氣排放濃度和排放量。6.1一般規(guī)定氮氧化物廢氣應(yīng)采用還原法、吸收法或吸附法等進(jìn)行處理。電鍍廢氣中含有多種有害物質(zhì)，應(yīng)采用多級(jí)處理工藝，如先通過酸堿中和去除部分有害物質(zhì)，再通過活性炭吸附等方法進(jìn)一步凈化。高濃度酸廢氣應(yīng)采用堿液吸收法進(jìn)行處理，確保達(dá)標(biāo)排放。針對氮氧化物、高濃度酸及電鍍廢氣的處理設(shè)備，應(yīng)定期進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，確保其正常運(yùn)行和處理效果。6.2氮氧化物、高濃度酸及電鍍廢氣077揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)應(yīng)確保安全、可靠、高效，并滿足相關(guān)環(huán)保法規(guī)要求。設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮廢氣成分、濃度、流量及處理效率等因素，合理選擇處理工藝和設(shè)備。廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)與生產(chǎn)工藝相協(xié)調(diào)，盡量減少對生產(chǎn)的影響。7.1一般規(guī)定廢氣收集應(yīng)遵循“密閉優(yōu)先、局部強(qiáng)化、整體合理”的原則，確保廢氣有效收集。排風(fēng)管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)合理，防止廢氣在管道內(nèi)積聚、冷凝或泄漏。管道材料應(yīng)選用耐腐蝕、耐高溫、密封性好的材料，以適應(yīng)廢氣特性。7.2廢氣收集、排風(fēng)管道系統(tǒng)處理系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)廢氣特性選擇合適的處理工藝，如吸附、吸收、冷凝、燃燒等。處理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)合理，確保處理效率穩(wěn)定可靠，達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)要求。對于含有多種組分的廢氣，應(yīng)考慮采用組合工藝進(jìn)行處理。7.3處理系統(tǒng)處理設(shè)備應(yīng)選用技術(shù)成熟、性能穩(wěn)定、運(yùn)行可靠的設(shè)備。設(shè)備選型和布局應(yīng)考慮維護(hù)方便、操作安全、節(jié)能降耗等因素。關(guān)鍵設(shè)備應(yīng)有備用或安全保護(hù)措施，以確保廢氣處理系統(tǒng)連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。7.4處理設(shè)備自動(dòng)控制系統(tǒng)應(yīng)具備數(shù)據(jù)采集、處理、顯示、記錄和報(bào)警等功能。安全措施應(yīng)包括防爆、防火、防毒等，確保廢氣處理系統(tǒng)安全運(yùn)行。廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)配備完善的自動(dòng)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化運(yùn)行和遠(yuǎn)程監(jiān)控。7.5自動(dòng)控制及安全措施088特種廢氣系統(tǒng)特種廢氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)廢氣特性、處理要求和環(huán)境條件進(jìn)行設(shè)計(jì)。廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)具備高效、穩(wěn)定、可靠的性能，確保廢氣達(dá)標(biāo)排放。廢氣處理過程中產(chǎn)生的廢水、廢渣等應(yīng)得到妥善處理或處置，避免二次污染。8.1一般規(guī)定8.2烷類尾氣處理系統(tǒng)烷類尾氣處理系統(tǒng)主要適用于處理含有烷烴類化合物的廢氣。處理工藝可采用吸附、吸收、冷凝、燃燒等方法或其組合。設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮烷烴類化合物的易燃易爆特性，采取相應(yīng)的安全措施。全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)主要適用于處理含有全氟化合物的廢氣。處理工藝可采用高溫焚燒、催化分解、吸附等方法或其組合。設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮全氟化合物的毒性、穩(wěn)定性和處理難度，確保處理效果達(dá)標(biāo)。8.3全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)其他特種尾氣處理系統(tǒng)包括但不限于處理含有重金屬、鹵素、硫化物等有害物質(zhì)的廢氣。處理工藝應(yīng)根據(jù)廢氣成分和處理要求進(jìn)行選擇，可采用化學(xué)處理、生物處理等方法或其組合。設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)充分考慮有害物質(zhì)的危害性和處理難度，確保廢氣處理效果和安全性。8.4其他特種尾氣處理系統(tǒng)中央廢氣處理系統(tǒng)適用于處理多種廢氣或大規(guī)模廢氣排放的場所。中央廢氣處理系統(tǒng)可采用集中收集、分質(zhì)處理、統(tǒng)一排放的方式，提高廢氣處理效率和管理水平。系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)考慮廢氣種類、處理量、處理效果、運(yùn)行成本等因素。8.5中央廢氣處理系統(tǒng)099除塵系統(tǒng)01除塵系統(tǒng)應(yīng)符合國家和地方相關(guān)環(huán)保法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)的要求，確保廢氣排放達(dá)標(biāo)。02除塵系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試、運(yùn)行和維護(hù)應(yīng)遵循環(huán)保、安全、節(jié)能的原則。03除塵系統(tǒng)應(yīng)與生產(chǎn)工藝相協(xié)調(diào)，滿足生產(chǎn)連續(xù)性和穩(wěn)定性的要求。9.1一般規(guī)定系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)廢氣性質(zhì)、處理要求和現(xiàn)場條件進(jìn)行，包括除塵器選型、管道布置、風(fēng)機(jī)選擇等。處理流程應(yīng)簡潔、高效，盡量減少系統(tǒng)阻力和能耗。處理方法應(yīng)根據(jù)廢氣中粉塵的物理化學(xué)性質(zhì)選擇，如重力沉降、慣性分離、過濾、靜電除塵等。9.2系統(tǒng)設(shè)計(jì)、處理流程及方法除塵器的制造和安裝應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，確保設(shè)備質(zhì)量和安全性能。除塵器是除塵系統(tǒng)的核心設(shè)備，應(yīng)根據(jù)處理要求選擇合適的類型，如布袋除塵器、電除塵器、濕式除塵器等。除塵器的性能參數(shù)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，包括除塵效率、阻力、漏風(fēng)率等。9.3處理設(shè)備9.4風(fēng)管及附件風(fēng)管是除塵系統(tǒng)的重要組成部分，應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和現(xiàn)場條件進(jìn)行合理布置。風(fēng)管材料應(yīng)選擇耐腐蝕、耐磨損、密封性好的材料，如風(fēng)管鋼板、玻璃鋼等。風(fēng)管附件包括閥門、彎頭、三通等，應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)要求進(jìn)行選擇和配置，確保系統(tǒng)正常運(yùn)行和調(diào)節(jié)方便。1010電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)10.1一般規(guī)定01廢氣排放應(yīng)符合國家和地方環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。02廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)與生產(chǎn)工藝相協(xié)調(diào)，確保廢氣處理效果。廢氣處理過程中產(chǎn)生的噪聲、振動(dòng)等應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。03010203系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)考慮廢氣特性、處理效率、運(yùn)行穩(wěn)定性等因素。處理流程包括廢氣收集、預(yù)處理、主要處理和最終排放等環(huán)節(jié)。處理方法可采用物理、化學(xué)或生物等方法，根據(jù)廢氣成分和處理要求選擇。10.2系統(tǒng)設(shè)計(jì)、處理流程及方法10.3處理設(shè)備01處理設(shè)備包括廢氣收集裝置、預(yù)處理設(shè)備、主要處理設(shè)備和輔助設(shè)備等。02設(shè)備選型應(yīng)考慮處理效率、能耗、占地面積等因素。03設(shè)備安裝應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。風(fēng)管設(shè)計(jì)應(yīng)考慮廢氣流量、壓力損失等因素，確保廢氣順暢排放。風(fēng)管材料應(yīng)選用耐腐蝕、耐高溫的材料，以適應(yīng)廢氣特性。附件包括閥門、檢測儀表等，應(yīng)選用可靠、耐用的產(chǎn)品，確保系統(tǒng)正常運(yùn)行。01020310.4風(fēng)管及附件1111事故通風(fēng)事故通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立于正常通風(fēng)系統(tǒng)，確保在緊急情況下能夠迅速啟動(dòng)并有效運(yùn)行。事故通風(fēng)量應(yīng)根據(jù)有害氣體種類、濃度和車間空間大小等因素進(jìn)行計(jì)算，確保有害氣體能夠及時(shí)排出。事故通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置可靠的自動(dòng)控制系統(tǒng)，具備手動(dòng)和自動(dòng)兩種啟動(dòng)方式，并與消防、安全等系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)。11.1一般規(guī)定事故通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采用合理的氣流組織方式，確保有害氣體能夠迅速被吸入并排出車間。凈化設(shè)備的安裝、使用和維護(hù)應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，確保設(shè)備的安全可靠運(yùn)行。11.2系統(tǒng)設(shè)計(jì)及有害氣體凈化有害氣體凈化設(shè)備應(yīng)根據(jù)有害氣體的種類和濃度進(jìn)行選擇，確保凈化效果達(dá)標(biāo)。在事故通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和有害氣體凈化過程中，應(yīng)充分考慮節(jié)能和環(huán)保要求，降低能耗和減少二次污染。1212電氣設(shè)計(jì)供配電系統(tǒng)廢氣處理工程應(yīng)設(shè)專用供配電系統(tǒng)，包括高壓配電裝置、變壓器、低壓配電裝置和應(yīng)急電源等。系統(tǒng)應(yīng)滿足廢氣處理工藝設(shè)備、控制系統(tǒng)和照明等的用電需求，并具備過載、短路和漏電保護(hù)功能。照明設(shè)計(jì)照明設(shè)計(jì)應(yīng)滿足廢氣處理工程內(nèi)各區(qū)域的照度、光色和防眩光等要求。照明燈具應(yīng)選用高效、節(jié)能、環(huán)保型產(chǎn)品，并應(yīng)根據(jù)不同區(qū)域的工作環(huán)境選擇適宜的照明方式。電纜和電線選型電纜和電線應(yīng)根據(jù)廢氣處理工程的環(huán)境條件、用電負(fù)荷和敷設(shè)方式等因素進(jìn)行選擇。電纜和電線應(yīng)具備良好的電氣性能和機(jī)械性能，并應(yīng)符合國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范的要求。12.1供配電與照明廢氣處理工程應(yīng)采取有效的防雷措施，包括安裝避雷針、避雷帶和避雷網(wǎng)等。防雷裝置應(yīng)定期檢測和維護(hù)，確保其性能良好。防雷措施廢氣處理工程應(yīng)設(shè)專用接地系統(tǒng)，包括工作接地、保護(hù)接地和防雷接地等。接地系統(tǒng)應(yīng)滿足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范的要求，并應(yīng)定期檢測和維護(hù)，確保其安全可靠。接地系統(tǒng)電氣設(shè)備應(yīng)采取有效的保護(hù)措施，防止雷電過電壓和操作過電壓對設(shè)備的損壞。保護(hù)措施包括安裝浪涌保護(hù)器、過電壓保護(hù)器等。電氣設(shè)備保護(hù)12.2防雷與接地13附錄A電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康濃度（IDLH）立即危害生命和健康濃度（IDLH）指在此濃度下，人員短時(shí)間內(nèi)暴露即可導(dǎo)致生命健康受到直接威脅的有毒物質(zhì)濃度。重要性為電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)提供關(guān)鍵參數(shù)，確保工作人員安全與健康。定義與意義砷化氫、磷化氫等常用于半導(dǎo)體制造過程中，具有極高毒性。氟化物、氯化物等在電子工業(yè)中廣泛使用，對呼吸道、皮膚等具有強(qiáng)烈刺激和腐蝕作用。有機(jī)溶劑類如苯、甲苯、二甲苯等，常用于清洗、稀釋等工藝，具有揮發(fā)性和毒性。電子工業(yè)常用高毒物品清單通過動(dòng)物暴露實(shí)驗(yàn)，觀察不同濃度下的毒性反應(yīng)，確定IDLH值。動(dòng)物實(shí)驗(yàn)法人體模擬實(shí)驗(yàn)法文獻(xiàn)資料法利用人體模擬裝置，模擬人員在有毒環(huán)境中的暴露情況，評估IDLH值。參考國內(nèi)外相關(guān)文獻(xiàn)資料，結(jié)合電子工業(yè)實(shí)際情況，綜合評估確定IDLH值。030201IDLH值的確定方法在電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)中，應(yīng)根據(jù)有毒物質(zhì)的IDLH值，合理設(shè)置廢氣處理裝置和排風(fēng)系統(tǒng)，確保工作人員不暴露于危險(xiǎn)環(huán)境中。應(yīng)用在使用IDLH值時(shí)，應(yīng)充分考慮有毒物質(zhì)的種類、性質(zhì)、濃度以及工作環(huán)境等因素，確保評估結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。同時(shí)，應(yīng)定期對廢氣處理裝置進(jìn)行檢查和維護(hù)，確保其正常運(yùn)行和有效性。注意事項(xiàng)IDLH值的應(yīng)用與注意事項(xiàng)14本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明電子工業(yè)廢氣指在電子設(shè)備制造、加工、維修、使用過程中產(chǎn)生的含有有害物質(zhì)的氣體排放。處理工程指針對電子工業(yè)廢氣進(jìn)行收集、輸送、凈化、排放等一系列技術(shù)措施的總和。設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)指進(jìn)行電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)時(shí)所遵循的技術(shù)準(zhǔn)則和要求。術(shù)語和定義在本標(biāo)準(zhǔn)中，使用的術(shù)語和定義均遵循電子工業(yè)、環(huán)境保護(hù)等相關(guān)領(lǐng)域的專業(yè)術(shù)語，確保準(zhǔn)確性和一致性。嚴(yán)格遵循專業(yè)術(shù)語在描述技術(shù)要求、性能指標(biāo)等關(guān)鍵信息時(shí)，避免使用模糊性詞匯，確保標(biāo)準(zhǔn)的明確性和可操作性。避免模糊性詞匯在制定本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，參考了國際相關(guān)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)，以便更好地與國際接軌，促進(jìn)電子工業(yè)廢氣處理技術(shù)的國際交流與合作。適應(yīng)國際規(guī)范用詞規(guī)范15引用標(biāo)準(zhǔn)名錄123規(guī)定了電子工業(yè)廢氣中各類污染物的排放限值，是制定廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)