《半導(dǎo)體光伏制造工藝尾氣處理裝置》征求意見稿

1———T/EJCCCSEXXXX—XXXX———半導(dǎo)體光伏制造工藝尾氣處理裝置本文件規(guī)定了半導(dǎo)體光伏制造工藝尾氣處理裝置的型號和命名、產(chǎn)品參數(shù)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、標(biāo)簽和使用說明書、包裝、運(yùn)輸和貯存。本文件適用于半導(dǎo)體光伏制造工藝尾氣處理裝置的生產(chǎn)和檢驗(yàn)。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲運(yùn)圖示標(biāo)志GB/T1804—2000一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差GB/T3768聲學(xué)聲壓法測定噪聲源聲功率級和聲能量級采用反射面上方包絡(luò)測量面的簡易法GB/T6388運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志GB/T9969工業(yè)產(chǎn)品使用說明書總則GB/T10125人造氣氛腐蝕試驗(yàn)鹽霧試驗(yàn)GB/T13306標(biāo)牌GB/T13384機(jī)電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件GB/T22360真空泵安全要求3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4型號和命名裝置型號由企業(yè)代號、功能特征、形狀特征、進(jìn)排氣法蘭特征以及特征代碼組成。特征代碼：“B”標(biāo)準(zhǔn)款；“Z”增強(qiáng)款；“S”升級款進(jìn)排氣法蘭特征：CF、KF、ISO形狀特征：“D”筒型；“F”方型；“X”其他“GL”過濾；“XF”吸附；“C”碳鋼材質(zhì)企業(yè)代號處理裝置增強(qiáng)款表示為：XXLN-D322T/EJCCCSEXXXX—XXXX處理裝置標(biāo)準(zhǔn)款表示為：XXJR-D325-ISO100-B/XXJR-D325-ISO100（無5產(chǎn)品參數(shù)5.1吸附濾芯絲徑不應(yīng)低于0.23mm，宜采用雙層斜形壓花波形絲網(wǎng)，使用304不銹鋼材質(zhì)。5.2水路管件應(yīng)采用316L不銹鋼材質(zhì)。5.3水路閥門應(yīng)采用常閉型氣動(dòng)隔膜閥，使用316L不銹鋼材質(zhì)。5.4補(bǔ)水瓶宜使用邵氏硬度不低于95A的純PVC管/棒材。補(bǔ)水系統(tǒng)分為手動(dòng)補(bǔ)水系統(tǒng)和自動(dòng)補(bǔ)水系a)手動(dòng)補(bǔ)水系統(tǒng)：補(bǔ)水瓶容積應(yīng)不小于3.3L；b)自動(dòng)補(bǔ)水系統(tǒng)：補(bǔ)水瓶容積應(yīng)不小于6L，應(yīng)內(nèi)置浮球式液位計(jì)；5.5壓縮空氣氣源應(yīng)為0.4MPa～0.6MPa。5.6所使用的材料應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。6技術(shù)要求6.1外觀6.1.1產(chǎn)品應(yīng)符合本文件的要求，并按照經(jīng)規(guī)定程序批準(zhǔn)的工藝及技術(shù)文件制造。6.1.2產(chǎn)品外觀應(yīng)光潔，無毛刺、棱角、損傷和明顯劃痕。6.1.3產(chǎn)品外露加工面不應(yīng)有磕碰、劃傷及銹斑等缺陷。外露非加工表面不應(yīng)有氣孔、凸起、裂紋、凹陷和粗糙不平等明顯缺陷。6.1.4管路布置應(yīng)整齊有序、固定牢靠，不應(yīng)產(chǎn)生扭曲、折疊等現(xiàn)象。6.1.5標(biāo)識、標(biāo)牌應(yīng)清晰、固定牢靠，位置正確。6.2尺寸偏差產(chǎn)品幾何尺寸、公差應(yīng)符合圖紙規(guī)定。未標(biāo)注加工公差應(yīng)符合GB/T1804—2020中m級的規(guī)定。6.3焊接質(zhì)量焊接件焊接應(yīng)牢固，焊縫應(yīng)平整均勻，焊高應(yīng)基本一致，不應(yīng)有虛焊、漏焊、裂紋、咬邊、氣孔、夾渣等缺陷。6.4裝配質(zhì)量產(chǎn)品零部件應(yīng)齊全、完整，裝配牢固，連接可靠?；顒?dòng)部件應(yīng)運(yùn)動(dòng)靈活，固定部件應(yīng)無脫落現(xiàn)象，緊固件不應(yīng)有錘傷、銹蝕，應(yīng)緊固無松動(dòng)，位置均勻。6.5過濾效率測定的過濾效率與生產(chǎn)企業(yè)規(guī)定值的負(fù)偏差不應(yīng)超過5％。6.6工作噪聲額定工況下，裝置工作噪聲不應(yīng)超過60dB（A）。6.7真空漏率按7.7進(jìn)行試驗(yàn)后，真空漏率不應(yīng)大于5E-8Pa.L/S。6.8耐腐蝕性能3T/EJCCCSEXXXX—XXXX產(chǎn)品經(jīng)鹽霧試驗(yàn)后，金屬防護(hù)層腐蝕面積不應(yīng)超過金屬防護(hù)層面積的30非金屬材料應(yīng)無明顯泛白、膨脹、氣泡、龜裂和麻坑等缺陷且無影響正常使用的損傷。6.9安全要求應(yīng)符合GB/T22360的規(guī)定。7試驗(yàn)方法7.1外觀7.2尺寸偏差使用符合精度要求的通用量具進(jìn)行測量。7.3焊接質(zhì)量目測檢查焊接部件的外觀質(zhì)量。7.4裝配質(zhì)量實(shí)際操作、手觸檢查。7.5過濾效率根據(jù)產(chǎn)品的使用用途，按照對應(yīng)的排放法規(guī)使用指定的排放測試循環(huán)運(yùn)行后，分別測量產(chǎn)品入口處和出口處的顆粒物排放量（PM或PN)，連續(xù)重復(fù)試驗(yàn)3次取平均值，計(jì)算指定排放測試循環(huán)下的過濾效率。7.6工作噪聲按GB/T3768的規(guī)定進(jìn)行。7.7真空漏率采用氦質(zhì)譜檢漏儀100％進(jìn)行真空漏率試驗(yàn)。7.8耐腐蝕性能按GB/T10125規(guī)定進(jìn)行中性鹽霧試驗(yàn)，試驗(yàn)周期為24h。7.9安全要求按GB/T22360的規(guī)定進(jìn)行。8檢驗(yàn)規(guī)則8.1檢驗(yàn)分類分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。8.2出廠檢驗(yàn)8.2.1產(chǎn)品應(yīng)逐臺經(jīng)制造廠檢驗(yàn)部門檢驗(yàn)合格并附有合格證書后，方可出廠。8.2.2出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目包括本文件中的外觀、尺寸偏差、焊接質(zhì)量、裝配質(zhì)量和密封性能。8.2.3當(dāng)出廠檢驗(yàn)結(jié)果全部符合本文件要求時(shí)，判出廠檢驗(yàn)合格。若檢驗(yàn)中出現(xiàn)任何一項(xiàng)不符合，可修整后復(fù)檢，復(fù)檢仍不合格則判出廠檢驗(yàn)不合格。4T/EJCCCSEXXXX—XXXX8.3型式檢驗(yàn)8.3.1正常生產(chǎn)時(shí)每年進(jìn)行一次型式檢驗(yàn)；有下列情況之一時(shí)，也應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：a)新產(chǎn)品試制鑒定時(shí)；b)正式生產(chǎn)，如原料、工藝有較大改變可能影響到產(chǎn)品的質(zhì)量時(shí)；c)出廠檢驗(yàn)的結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)有較大差異時(shí)；d)產(chǎn)品停產(chǎn)12個(gè)月以上重新恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；e)行業(yè)主管部門或質(zhì)量管理部門提出要求時(shí)。8.3.2型式檢驗(yàn)項(xiàng)目包括本文件第6章規(guī)定的全部項(xiàng)目。8.3.3型式檢驗(yàn)應(yīng)從出廠檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品中隨機(jī)抽樣，抽取數(shù)量應(yīng)滿足檢測要求。8.3.4當(dāng)型式檢驗(yàn)結(jié)果全部符合本文件要求時(shí)，判型式檢驗(yàn)合格。若檢驗(yàn)中出現(xiàn)任何一項(xiàng)不符合，允許加倍重新抽取樣品進(jìn)行復(fù)檢，復(fù)檢后，若全部符合本文件要求時(shí)，判型式檢驗(yàn)合格，否則為不合格。9標(biāo)志、標(biāo)簽和使用說明書9.1標(biāo)志、標(biāo)簽9.1.1每臺產(chǎn)品均應(yīng)在適當(dāng)而明顯的位置固定產(chǎn)品標(biāo)牌，標(biāo)牌型式與尺寸應(yīng)符合GB/T13306的規(guī)定，并標(biāo)明以下內(nèi)容：a)設(shè)備名稱和型號；b)制造商名稱及地址；c)主要技術(shù)參數(shù)；d)出廠編號及日期；e)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)編號；f)產(chǎn)品合格標(biāo)識。9.1.2運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志應(yīng)符合GB/T6388的規(guī)定，包裝儲運(yùn)標(biāo)志應(yīng)符合GB/T191的規(guī)定。9.1.3標(biāo)志應(yīng)清晰、牢固，不應(yīng)因運(yùn)輸條件和自然條件而褪色、變色、脫落。9.2使用說明書使用說明書應(yīng)符合GB/T9969的規(guī)定。10包裝、運(yùn)輸和貯存10.1包裝10.1.1包裝應(yīng)符合GB/T13384的規(guī)定。產(chǎn)品整體采用氣泡膜包裹，進(jìn)排氣口及備用接口采用ISO/KF標(biāo)準(zhǔn)盲板封蓋。10.1.2產(chǎn)品包裝應(yīng)保證產(chǎn)品不受損傷，應(yīng)防塵、防震，便于運(yùn)輸和貯存。10.1.3包裝箱內(nèi)應(yīng)至少附有以下隨行文件：a)裝箱清單；b)產(chǎn)品合格證明書；c)使用說明