SilvacoTCAD仿真流程及語法規(guī)則.ppt

Silvaco TCAD仿真流程及語法規(guī)則,Page 2,0主要內(nèi)容,Page 3,1 仿真流程,TCAD仿真流程,1.1 仿真流程,Page 4,輸入命令,工藝仿真流程,器件仿真流程,電路仿真流程,1.2.1 輸入命令,輸入命令流,Page 5,go athena,line x loc=0 spac=0.1,line x loc=1 spac=0.1,line y loc=0 spac=0.02,line y loc=10 spac=0.2,init c.phos=2e13 oreit=111 two.d,tonyplot,1.2.2 程序運(yùn)行,命令逐行運(yùn)行 實(shí)時(shí)運(yùn)算信息,Page 6,1.2.3 輸出結(jié)果,實(shí)時(shí)輸出 結(jié)構(gòu)文件 *.str 日志文件 *.log 提取的數(shù)據(jù) *.dat,Page 7,1.2.4 結(jié)果分析,Tonyplot顯示（Display）和分析（Tools） Tonyplot導(dǎo)出數(shù)據(jù) 查看實(shí)時(shí)輸出,Page 8,Page 9,2 語法規(guī)則,2.1 通用格式,通用格式，由command和parameter組成 “n”為數(shù)值型參數(shù)，如“10” “c”為字符串參數(shù)，如“silicon” “|”表示從中括號(hào)中的參數(shù)選其1,Page 10,command parameter1= parameter2= parameter3 | parameter4 ,go athena,diffuse time=36 hours temp=1250 f.o2=1.2,solve vgate=0.1,例子：,2.2 語法規(guī)則,命令可以簡寫，以不與其他簡寫相沖突為原則，如“deposit”可以用“depo”取代 不區(qū)分大小寫 命令和參數(shù)之間、參數(shù)和參數(shù)之間以空格分開 一行寫不完的在該行的末尾加反斜杠“”(注意“”前需留有空格)，則下一行和該行將被視為同一個(gè)命令 “#”進(jìn)行注釋 空行不運(yùn)行,Page 11,參數(shù)類型 參數(shù)命名 單屬性：完整單詞或縮寫，diffuse, left, material, xj 多屬性參數(shù)：單詞的連接，2d.max.conc, temp.val, c.phos,2.3 參數(shù)規(guī)則,Page 12,2.4 目錄結(jié)構(gòu),Page 13,可執(zhí)行程序的快捷方式,組件庫,二維工藝仿真器,版本號(hào),模型文件、模板、材料參數(shù)等,用戶手冊(cè)及組件更新的說明文檔,各版本的新特性說明文檔,可執(zhí)行程序,二維器件仿真器,示例庫,一維工藝仿真的子示例庫,2.5 文件類型,輸入文件“*.in”（DeckBuild界面的仿真輸入文件） 結(jié)構(gòu)文件“*.str”（工藝仿真或器件編輯器得到的器件結(jié)構(gòu)） 器件仿真結(jié)果文件“*.log”（器件仿真時(shí)存儲(chǔ)仿真結(jié)果） 設(shè)置文件“*.set”（Tonyplot的顯示設(shè)置） 掩膜結(jié)構(gòu)文件“*.lay”（光刻的掩膜信息） 提取的結(jié)果文件“*.dat”（提取得到的數(shù)據(jù)） “*.lib”（C編譯器編寫的函數(shù)文件） 其他文件類型：“*.sepc”，“*.opt”，,Page 14,Page 15,3 語法學(xué)習(xí)及書寫建議,3.1 語法學(xué)習(xí),學(xué)習(xí)資料 程序自帶的EXAMPLE： EXAMPLE路徑，X: sedatools examples. 用戶手冊(cè)： ATHENA手冊(cè)位置：X:sedatoolslibAthena.R docsathena_users1.pdf SILVACO官方網(wǎng)站 SILVACO中國 ,Page 16,3.2 語法書寫建議,添加注釋、分成多行及空行 變參數(shù)仿真可用“set” 活用“CtrlC”和“CtrlV”,Page 17,增強(qiáng)可讀性，便于查找和修改,3.3 Silvaco TCAD學(xué)習(xí)建議,電腦以及仿真程序始終只是工具，真正的發(fā)現(xiàn)還是來自于實(shí)踐，兩者不可偏廢 電腦只能解決問題而不能提出問題，所以電腦的功能永遠(yuǎn)有限，要學(xué)會(huì)尋找問題 仿真真，盡信軟件不如沒有軟件 在使用中學(xué)習(xí)，而不是在記憶中學(xué)習(xí),Page 18,4 總結(jié),本課的主要內(nèi)容 Sil