場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)參數(shù)配能譜儀

1、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)參數(shù)（配能譜儀）1 運(yùn)行環(huán)境1. 1房間溫度：15 251. 2相對(duì)濕度：小于60%1. 3適用電源：?jiǎn)蜗啵?20V10%，50/60Hz，4kVA，要求連續(xù)供電1. 4地線：電阻小于1002設(shè)備用途 微細(xì)結(jié)構(gòu)材料的形貌及尺寸觀察、組成的定性測(cè)量。生物樣品、環(huán)境樣品、催化劑、吸附劑、陶瓷材料、金屬材料、合金材料等的形貌觀察、微區(qū)分析和組成定性測(cè)量。3 技術(shù)規(guī)格3. 1 組成：主機(jī)（包括真空系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng)、檢測(cè)器），自動(dòng)變壓器，冷卻循環(huán)水系統(tǒng)，能譜儀，計(jì)算機(jī)，標(biāo)準(zhǔn)工具及附件。*3. 2 分辨率：1.0nm （15kV） 1.3nm （1kV，減速模式）3. 3 加速電壓：0

2、.5 30kV，0.1kV/步*3. 4 放大倍率： 20 to 800, 0003. 5電子光學(xué)系統(tǒng) *電子槍：冷場(chǎng)發(fā)射電子槍最大電子束流度：不低于2nA透鏡系統(tǒng)：3級(jí)電磁式*透鏡工作多種模式：高分辨、大束流強(qiáng)度、磁性樣品工作模式、樣品低損傷模式 *物鏡光闌： 4孔可調(diào)式（直徑30、50、50、100m）內(nèi)置加熱自清潔裝置*3. 6 樣品室和樣品臺(tái)：樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)：3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)范圍：X：050mm；Y：050mm；Z：1.530mm； T：-570；R：360最大樣品尺寸：100mm 3. 7探測(cè)器: 二次電子探測(cè)器：高位和低位 *高位探頭可選擇接受二次電子像或背散射像，并有100多種混合方

3、式。*可控信號(hào)混合：允許操作者控制圖像信號(hào)。操作者可以選擇純的二次電子像或者純的背散射電子像或者兩者信號(hào)的任意比例混合像*3. 8 掃描模式：TV掃描（掃描速度不低于0.033楨/秒），慢掃描，用于觀察和記錄。圖像捕捉：慢掃描成像和快掃描積分成像掃描速度：快掃描 等于或優(yōu)于25楨/秒慢掃描 全屏模式下1、4、20、40、80楨/秒，可選3. 9 操作/顯示：PC/AT兼容，Windows 操作系統(tǒng)3. 10 圖像儲(chǔ)存：640480，1280960，25601920像素圖像文件格式：BMP，JPEG，TIFF3. 11 數(shù)據(jù)記錄：膠卷號(hào)，加速電壓，微米標(biāo)尺，放大倍率，日期，時(shí)間，工作距離 *3.

4、 12電子圖像移動(dòng)：12m (WD=8mm)3. 13真空系統(tǒng)：真空度：10-7Pa (電子槍)；10-4Pa (樣品室)真空泵：分子泵 1臺(tái)，機(jī)械泵1臺(tái)， 離子泵 2臺(tái)保護(hù)：斷電、漏電、真空保護(hù) 帶有冷阱以減小樣品污染3. 14 能譜儀*配置電制冷能譜儀 有效晶體活區(qū)面積：30mm2硅漂移(SDD)型SEM探測(cè)器內(nèi)含珀耳帖（Peltier）無(wú)液氮制冷系統(tǒng)對(duì)Mn-Ka在100,000CPS計(jì)數(shù)率下測(cè)量的分辨率優(yōu)于128eV3.14.4SUTW 超薄窗口,傳感器: 30mm3.14.5可以定量分析包括B5以上的所有元素3.14.6可處理輸入計(jì)數(shù)率1,000kCPS ，輸出計(jì)數(shù)率350kCPS 3

5、.14.7包括前置放大器，放大器和電纜3.15離子濺射儀，電鏡同品牌，帶噴碳附件濺射電壓：0.4KV（直流電）*濺射電流：040mA*壓力控制范圍：720Pa鍍膜速率：15nm/min （Pt靶）（濺射條件：濺射腔壓力：7Pa；濺射電流：40mA；濺射距離：20mm）*3.15.5最大樣品直徑：60mm3.15.6最大樣品高度：20mm*3.15.7機(jī)械泵抽氣速率：135升/分鐘4 標(biāo)準(zhǔn)附件及工具按標(biāo)準(zhǔn)配置，由廠家提供二年以上備品備件、專用工具和消耗品1套。5產(chǎn)品配置要求5. 1 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡主機(jī) 1套5. 2 自動(dòng)變壓器1套5. 3 冷卻循環(huán)水系統(tǒng)1套5. 4 電子減速功能 1套5. 5 電制冷能譜儀30mm2 1套5. 6通訊接口 1套5. 7 標(biāo)準(zhǔn)隨機(jī)附件及工具 1套5. 8 標(biāo)準(zhǔn)隨機(jī)文件PC安裝手冊(cè)（帶文檔CD） 1件操作系統(tǒng)恢復(fù)盤CD-ROM 1件測(cè)試報(bào)告 1件軟件 CD-ROM 1件安裝手冊(cè) 1件5. 9 備用燈絲 1個(gè)5. 10 導(dǎo)電雙面膠帶 2盒5.11 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡用離子濺射儀 1臺(tái)5.12 數(shù)據(jù)工作站， 24 寸寬屏6 技術(shù)服務(wù)*6.1要求供貨廠家在西北地區(qū)設(shè)立固定維修站，并配備專業(yè)維修工程師，能提供及時(shí)有效的售后服務(wù)。6.2 安裝、