第5章敏感陶瓷

1、第5章敏感陶瓷信息的獲取傳感器，或稱敏感元件。在各種類型的敏感元件中，陶瓷敏感元件占有十分重要的地位。 敏感陶瓷在某些傳感器中，是關(guān)鍵材料之一，用于制造敏感元件。2敏感陶瓷用于制造敏感元件，是根據(jù)某些陶瓷的電阻率、電動勢等物理量對熱、濕、光、電壓及某種氣體、某種離子的變化特別敏感的特性而制得的。按其相應(yīng)的特性，可把這些材料分別稱作熱敏、濕敏、光敏、壓敏、氣敏及離子敏感陶瓷。3此外，還有具有壓電效應(yīng)的壓力、位置、速度、聲波等敏感陶瓷，具有鐵氧體性質(zhì)的磁敏陶瓷及具有多種敏感特性的多功能敏感陶瓷等。這些敏感陶瓷已廣泛應(yīng)用于工業(yè)檢測、控制儀器、交通運(yùn)輸系統(tǒng)、汽車、機(jī)器人、防止公害、防災(zāi)、公安及家用電器

2、等領(lǐng)域。 41、敏感陶瓷分類物理敏感陶瓷：光敏陶瓷，如CdS、CdSe等；熱敏陶瓷，如PTC陶瓷、NTC和CTR熱敏陶瓷等；磁敏陶瓷，如InSb、InAs、GaAs等；5聲敏陶瓷，如羅息鹽、水晶、BaTiO3、PZT等；壓敏陶瓷，如ZnO、SiC等；力敏陶瓷，如PbTiO3、PZT等。6化學(xué)敏感陶瓷氧敏陶瓷，如SnO2、ZnO、ZrO2等；濕敏陶瓷，TiO2MgCr2O4、ZnO-Li2O-V2O5等。生物敏感陶瓷也在積極開發(fā)之中。 72. 敏感陶瓷的結(jié)構(gòu)與性能陶瓷是由晶粒、晶界、氣孔組成的多相系統(tǒng)，通過人為的摻雜，可以造成晶粒表面的組分偏離，在晶粒表層產(chǎn)生固溶、偏析及晶格缺陷等。 8另外，在

3、晶界 處也會產(chǎn)生異質(zhì)相的析出、雜質(zhì)的聚集、晶格缺陷及晶格各向異性等。這些晶粒邊界層的組成、結(jié)構(gòu)變化，顯著改變了晶界的電性能，從而導(dǎo)致整個陶瓷電學(xué)性能的顯著變化。93. 熱敏陶瓷熱敏陶瓷是一類電阻率、磁性、介電性等性質(zhì)隨溫度發(fā)生明顯變化的材料，主要用于制造溫度傳感器、線路溫度補(bǔ)償及穩(wěn)頻的元件-熱敏電阻(thermistor)。熱敏陶瓷具有靈敏度高、穩(wěn)定性好、制造工藝簡單及價(jià)格便宜等特點(diǎn)。10 熱敏陶瓷的特性分類電阻隨溫度升高而增大的熱敏電阻稱為正溫度系數(shù)熱敏電阻，簡稱PTC熱敏電阻( positive temperature coefficient )；11電阻隨溫度的升高而減小的熱敏電阻稱為負(fù)

4、溫度系數(shù)熱敏電阻，簡稱NTC熱敏電阻( negative temperature coefficient )；電阻在某特定溫度范圍內(nèi)急劇變化的熱敏電阻，簡稱為CTR臨界溫度熱敏電阻( critical temperature resistor )。 12 陶瓷熱敏電阻材料BaTiO3 PTC陶瓷BaTiO3陶瓷是否具有PTC效應(yīng)，完全由其晶粒和晶界的電性能所決定。13純BaTiO3具有較寬的禁帶，常溫下電子激發(fā)很少，其室溫下的電阻率為1012cm，已接近絕緣體，不具有PTC電阻特性。14將BaTiO3的電阻率降到104cm以下，使其成為半導(dǎo)體的過程稱為半導(dǎo)化。即在其禁帶中引入一些淺的附加能級：

5、施主能級或受主能級。15通常情況下，施主能級多數(shù)是靠近導(dǎo)帶底的；而受主能級多數(shù)是靠近價(jià)帶頂?shù)?。施主能級或受主能級的電離能一般比較小，因此，在室溫下就可受到熱激發(fā)產(chǎn)生導(dǎo)電載流子，從而形成半導(dǎo)體。16形成附加能級主要通過兩種途徑：化學(xué)計(jì)量比偏離和摻雜，使得晶粒具有優(yōu)良的導(dǎo)電性，而晶界具有高的勢壘層，形成絕緣體。 17BaTiO3的化學(xué)計(jì)量比偏離半導(dǎo)化采用在真空、惰性氣體或還原性氣體中加熱BaTiO3。由于失氧，BaTiO3內(nèi)產(chǎn)生氧缺位，為了保持電中性，部分Ti4+將俘獲電子成為Ti3+。在強(qiáng)制還原以后，需要在氧化氣氛下重新熱處理，才能得到較好的PTC特性，電阻率為1-103cm。 18采用摻雜使B

6、aTiO3半導(dǎo)化的方法之一是施主摻雜法，該法也稱原子價(jià)控制法。如果用離子半徑與Ba2+相近的三價(jià)離子(如La3+、Ce3+、Nd3+、Ga3+、Sm3+、Dy3+、Y3+、Bi3+、Sb3+等)置換Ba2+，或者用離子半徑與Ti4+相近的五價(jià)離子(如Ta5+、Nb5+、Sb5+等)置換Ti4+，采用普通陶瓷工藝，即能獲得電阻率為103-105cm的n型BaTiO3半導(dǎo)體。19五價(jià)離子摻雜濃度對BaTiO3的電阻率影響很大。一般情況下，電阻率隨摻雜濃度的增加而降低，達(dá)到某一濃度時(shí)，電阻率降至最低值，繼續(xù)增加濃度，電阻率則迅速提高，甚至變成絕緣體。20 BaTiO3的電阻率降至最低點(diǎn)的摻雜濃度(質(zhì)

7、量分?jǐn)?shù))為：Nd 0.05，Ce、La、Nb 0.20.3，Y 0.35 21采用摻雜使BaTiO3半導(dǎo)化的方法之二是AST摻雜法，以SiO2或AST ( 1/3A12O3 3/4SiO21/4TiO2 )對BaTiO3進(jìn)行摻雜，AST加入量3(摩爾分?jǐn)?shù))于1260 -1380燒成后，電阻率為40-100cm。22典型的PTC熱敏電阻的配方如下： 主成分：( Ba0.93Pb0.03Ca0.04 )TiO3 + 0.0011Nb2O5 + 0.01TiO2(先預(yù)燒)； 輔助成分摩爾分?jǐn)?shù)：Sb2O3 0.06，MnO2 0.04，SiO2 0.5，A12O3 0.167，Li2CO3 0.1。

8、23 NTC電阻材料一般陶瓷材料都有負(fù)的電阻溫度系數(shù)，但溫度系數(shù)的絕對值小，穩(wěn)定性差，不能應(yīng)用于高溫和低溫場合。NTC熱敏電阻材料是用特定組分合成，其電阻率隨溫度升高按指數(shù)關(guān)系減小的一類材料，分低溫型、中溫型和高溫型三大類。24NTC熱敏電阻材料絕大多數(shù)是具有尖晶石型結(jié)構(gòu)的過渡金屬固熔體。其中，二元系主要有：Cu-Mn、Co-Mn、Ni-Mn等系。25其中，最有實(shí)用意義的為Co-Mn系材料。它在20時(shí)的電阻率為103cm，主晶相為立方尖晶石MnCo2O4。隨著Mn含量的增大，則形成MnCo2O4立方尖晶和MnCo2O4四方尖晶的固溶體，電阻率逐漸增大。26三元系有：Mn-Co-Ni、Mn-Cu

9、-Ni、Mn-Cu-Co等Mn系和Cu-Fe-Ni、Cu-Fe-Co等非Mn系。在含Mn的三元系中，隨著Mn含量的增大，電阻率增大。此外，還有Cu-Fe-Ni，CO四元系等。 27工作溫度在300以上的熱敏電阻(NTC)常稱為高溫?zé)崦綦娮?。高溫?zé)崦綦娮栌袕V泛的應(yīng)用前景，尤其在汽車空氣燃料比傳感器方面，有很大的實(shí)用價(jià)值。28其中，主要使用的兩種較典型材料為： (1)稀土氧化物材料 Pr、Er、Tb、Nd、Sm等氧化物，加入適量其他過渡金屬氧化物，在1600 1700 燒結(jié)后，可在300-1500 工作。29(2)MgAl2O4-MgCr2O4-LaCrO3或(LaSr)CrO3 三元系材料 該系

10、材料適用于1000以下溫區(qū)。30工作溫度在60以下的熱敏電阻材料(NTC)稱為低溫?zé)崦綦娮璨牧?。低溫?zé)崦綦娮璨牧弦赃^渡金屬氧化物為主，加入La、Nd、Pd等的氧化物。主要材料有Mn-Ni-Fe-Cu、Mn-Cu-Co、Mn-Ni-Cu等。 31 CTR材料CTR熱敏電阻主要是指以VO2為基本成分的半導(dǎo)體陶瓷，在68附近電阻值突變達(dá)到3-4個數(shù)量級，具有很大的負(fù)溫度系數(shù), 因此稱為巨變溫度熱敏電阻或臨界(溫度)熱敏電阻材料。32這種巨變溫度熱敏電阻變化具有再現(xiàn)性和可逆性，故可作電氣開關(guān)或溫度探測器。這一特定溫度稱臨界溫度。電阻值的急劇變化，通常是隨溫度的升高，在臨界溫度附近，電阻值急劇減小。33

11、V是易變價(jià)元素，它有5價(jià)、4價(jià)等多種價(jià)態(tài)，因此，V系有多種氧化物，如V2O5、VO2、V2O3、VO等。這些氧化物各有不同的臨界溫度。每種V系氧化物與B、Si、P、Mg、Ca、Sr、Ba、Pb、La、Ag等氧化物形成多元系化合物，可上、下移動其臨界溫度。 34 熱敏電阻的應(yīng)用熱敏電阻在溫度傳感器中的應(yīng)用最廣，它雖不適于高精度的測量，但其價(jià)格低廉，多用于家用電器、汽車等。35PTC熱敏電阻有兩種用途：一是用于恒溫電熱器，PTC熱敏電阻通過自身發(fā)熱而工作，達(dá)到設(shè)定溫度后，便自動恒溫，因此不需另加控制電路，如用于電熱驅(qū)蚊器、恒溫電熨斗、暖風(fēng)機(jī)、電暖器等。36二是用作限流元件，如彩電消磁器、節(jié)能燈用電

12、子鎮(zhèn)流器、程控 保安器、冰箱電機(jī)啟動器等。374. 氣敏陶瓷在現(xiàn)代社會，人們在生活和工作中使用和接觸的氣體越來越多，其中某些易燃、易爆、有毒氣體及其混合物一旦泄露到大氣中，會造成大氣污染，甚至引起爆炸和火災(zāi)。38氣敏陶瓷是一種對氣體敏感的陶瓷材料，陶瓷氣敏元件(或稱陶瓷氣敏傳感器)由于其具有靈敏度高、性能穩(wěn)定、結(jié)構(gòu)簡單、體積小、價(jià)格低廉、使用方便等優(yōu)點(diǎn)，得到迅速發(fā)展。 39 氣敏陶瓷的分類及結(jié)構(gòu)氣敏陶瓷大致可分為半導(dǎo)體式、固體電解質(zhì)式及接觸燃燒式三種：40半導(dǎo)體式氣敏陶瓷 按照主要原料成分來分類，如SnO2型、ZnO型、-Fe2O3型、-Fe2O3型、鈣鈦礦化合物型、TiO2型等。41固體電解

13、質(zhì)是一類介于固體和液體之間的奇特固體材料，其主要特征是它的離子具有類似于液體電解質(zhì)的快速遷移特性，如ZrO2氧敏陶瓷，K2SO4、Na2SO4等堿金屬硫酸鹽等。42接觸燃燒式氣敏陶瓷元件系用鉑金絲作母線，表面用陶瓷涂層、觸媒材料、防晶粒生長材料以及防觸媒中毒材料等涂層所制成。 43 氣敏陶瓷的性能半導(dǎo)體表面吸附氣體分子時(shí)，半導(dǎo)體的電導(dǎo)率將隨半導(dǎo)體類型和氣體分子種類的不同而變化。44吸附氣體一般分為物理吸附和化學(xué)吸附兩大類。被吸附的氣體一般也可分為兩類。具有陰離子吸附性質(zhì)的氣體稱為氧化性(或電子受容性)氣體，如O2、NOx等。具有陽離子吸附性質(zhì)的氣體稱為還原性(或電子供出性)氣體，如H2、CO、

14、乙醇等。45 典型的氣敏半導(dǎo)體陶瓷 SnO2系氣敏陶瓷 ZnO系氣敏陶瓷 Fe2O3系氣敏陶瓷46 SnO2系氣敏陶瓷SnO2系氣敏陶瓷是最常用的氣敏半導(dǎo)體陶瓷，是以SnO2為基材，加入催化劑、黏結(jié)劑等，按照常規(guī)的陶瓷工藝方法制成的。 47 SnO2氣敏陶瓷以超細(xì)SnO2粉料為基本原料，粉料越細(xì)，比表面積越大，對被測氣體越敏感。48制造高分散的SnO2超細(xì)粉料的方法有錫酸鹽分解法、金屬錫燃燒法、等離子體反應(yīng)法及化學(xué)共沉淀物熱分解法等。49用SnCl4或SnCl2制備SnO2，這兩種方法最后均需煅燒，其煅燒條件對于SnO2粉料的晶粒大小、比表面積大小影響很大。50二氧化錫氣敏陶瓷所用添加劑多為半

15、導(dǎo)體添加劑，它們有不同的作用，主要是Sb2O3、V2O5、MgO、PbO、CaO等。51SnO2系氣敏陶瓷制造的氣敏元件有如下特點(diǎn)：靈敏度高，出現(xiàn)最高靈敏度的溫度較低，約在300；元件阻值變化與氣體濃度成指數(shù)關(guān)系，在低濃度范圍，這種變化十分明顯，非常適用于對低濃度氣體的檢測；52對氣體的檢測是可逆的，而且吸附、解吸時(shí)間短；氣體檢測不需復(fù)雜設(shè)備，待測氣體可通過氣敏元件電阻值的變化直接轉(zhuǎn)化為信號，且阻值變化大，可用簡單電路實(shí)現(xiàn)自動測量；53物理化學(xué)穩(wěn)定性好，耐腐蝕，壽命長；結(jié)構(gòu)簡單，成本低，可靠性高，耐振動和抗沖擊性能好。 54SnO2系氣敏陶瓷的應(yīng)用：利用SnO2燒結(jié)體吸附還原氣體時(shí)電阻減少的特

16、性來檢測還原氣體，已廣泛應(yīng)用于家用石油液化氣的漏氣報(bào)警、生產(chǎn)用探測報(bào)警器和自動排風(fēng)扇等。55SnO2系氣敏元件對酒精和CO特別敏感，廣泛用于CO報(bào)警和工作環(huán)境的空氣監(jiān)測等。56已進(jìn)入實(shí)用的SnO2系氣敏元件對于可燃性氣體，例如H2、CO、甲烷、丙烷、乙醇、酮或芳香族氣體等，具有同樣程度的靈敏度，因而SnO2氣敏元件對不同氣體的選擇性就較差。 57 ZnO系氣敏陶瓷氧化鋅系氣敏陶瓷元件最突出的優(yōu)點(diǎn)是氣體選擇性強(qiáng)，一般加入適量的貴金屬催化劑來提高陶瓷元件的靈敏度。58氧化鋅氣敏元件對異丁烷、丙烷、乙烷等碳?xì)浠衔镉休^高靈敏度，碳?xì)浠衔镏刑荚財(cái)?shù)目越大靈敏度越高。59摻Pd的氧化鋅氣敏陶瓷元件對H

17、2、CO靈敏度較高，對碳?xì)浠衔镬`敏度較差。摻Ag的氧化鋅氣敏陶瓷元件對乙醇、苯和煤氣較靈敏，且成本也較低。60氧化鋅氣敏陶瓷元件的結(jié)構(gòu)與二氧化錫的不同，可以把它做成雙層，將半導(dǎo)體元件與催化物分離，這樣可以更換催化劑來提高元件的氣體選擇性，其缺點(diǎn)是元件的使用工作溫度較高。 61 Fe2O3系氣敏陶瓷常見的鐵的氧化物有三種基本形式：FeO、Fe2O3和Fe3O4；62其中，F(xiàn)e2O3有兩種陶瓷制品：Fe2O3和Fe2O3均被發(fā)現(xiàn)具有氣敏特性。Fe2O3具有剛玉型晶體結(jié)構(gòu)。從熱穩(wěn)定性來看Fe2O3較優(yōu)，但從靈敏度而言則比Fe2O3差。63Fe2O3系氣敏陶瓷最大的特點(diǎn)是不用貴金屬做催化劑也能得到較

18、高的催化性，高溫下熱穩(wěn)定性好。Fe2O3對丙烷氣體較靈敏，但對甲烷就不靈敏。64Fe2O3的化學(xué)穩(wěn)定性好，對甲烷乃至異丁烷都非常靈敏，對水蒸氣和乙醇等卻不靈敏。Fe2O3作家庭用可燃?xì)怏w報(bào)警器非常合適。因它對水蒸氣和乙醇等不靈敏，故不會因水蒸氣及酒精的存在而誤報(bào)。 655. 濕敏半導(dǎo)體陶瓷濕度，通常是指空氣中水蒸氣的含量。濕度與人類的日常生活和生產(chǎn)活動有著十分密切的關(guān)系，因此需要隨時(shí)監(jiān)測空氣濕度。新型濕度傳感器可將濕度的變化以電信號形式輸出，易于實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離監(jiān)測、記錄和反饋的自動控制。 66 濕敏半導(dǎo)體陶瓷的分類以濕敏材料制造的濕敏元件配以適當(dāng)?shù)碾娐芳闯蔀闈穸葌鞲衅?。根?jù)濕敏材料的性能及其使用功

19、能可分為以下四類：67無機(jī)鹽系，如LiCl電解質(zhì)型。有機(jī)高分子系，有電解質(zhì)型(離子交換樹脂)、膨潤型、電容型。半導(dǎo)體陶瓷系，有電容型、電阻型、阻抗型。半導(dǎo)體型，如半導(dǎo)體硅材料。其中，最常用的為半導(dǎo)體陶瓷系濕敏電阻型。68 濕敏陶瓷制造工藝及其特性濕敏陶瓷材料種類繁多，化學(xué)組成復(fù)雜。按工藝過程可將濕敏半導(dǎo)體陶瓷分為瓷粉膜型、燒結(jié)型和厚膜型。 69MgCr2O4-TiO2系濕敏陶瓷MgCr2O4-TiO2系濕敏陶瓷是典型的高溫?zé)Y(jié)型多孔濕敏陶瓷結(jié)構(gòu)，氣孔率高達(dá)30-40，具有良好的透濕性能。MgCr2O4-TiO2系濕敏陶瓷的制造工藝可采用傳統(tǒng)陶瓷的制造方法，但原料必須采用化學(xué)純或分析純級。70M

20、gCr2O4-TiO2系濕敏陶瓷的制造工藝流程如下：MgO、Cr2O3、TiO2 稱量 球磨 干燥 造粒 干壓燒結(jié) 切片 電極 引線 裝配 測試 71MgCr2O4-TiO2系多孔陶瓷具有很高的濕度活性，濕度響應(yīng)快，對溫度、時(shí)間、濕度和電負(fù)荷的穩(wěn)定性高，是很有應(yīng)用前途的濕敏傳感器陶瓷材料，已用于微波爐的自動控制。程序控制的微波爐，根據(jù)處于微波爐蒸汽排口處的濕敏傳感器的相對濕度反饋信息，調(diào)節(jié)烹調(diào)參數(shù)。 72此外，目前比較常見的高溫?zé)Y(jié)型濕敏陶瓷還有ZnCr2O4為主晶相系半導(dǎo)體陶瓷，以及新研究的羥基磷灰石 Ca10(PO4)6(OH)2 濕敏陶瓷。 73陶瓷濕度傳感器結(jié)構(gòu)74 Si-Na2O-V

21、2O5系濕敏陶瓷Si-Na2O-V2O5系濕敏陶瓷是典型的低溫?zé)Y(jié)型濕敏陶瓷，其主晶相是具有半導(dǎo)性的硅粉。燒結(jié)溫度較低(一般低于900)，燒結(jié)時(shí)固相反應(yīng)不完全，燒結(jié)后收縮率很小。其阻值為102-107，隨相對濕度以指數(shù)規(guī)律變化，測量范圍為(25100)RH。75Si-Na-V系濕敏陶瓷的感濕機(jī)理是由于Na2O和V2O5吸附水分，使吸濕后硅粉粒間的電阻值顯著降低。這種元件的優(yōu)點(diǎn)是溫度穩(wěn)定性較好，可在100下工作，阻值范圍可調(diào)，工作壽命長。缺點(diǎn)是響應(yīng)速度慢，有明顯濕滯現(xiàn)象，不能用于濕度變化不劇烈的場合。76 濕敏半導(dǎo)體陶瓷的應(yīng)用濕敏陶瓷的應(yīng)用很廣泛，主要應(yīng)用于家電、汽車、醫(yī)療、工業(yè)設(shè)備、農(nóng)、林、畜

22、牧業(yè)等領(lǐng)域。 776. 壓敏半導(dǎo)體陶瓷一般電阻器的電阻值可以認(rèn)為是一個恒定值，即流過它的電流與施加電壓成線性關(guān)系。壓敏陶瓷是指電阻值隨著外加電壓變化有一顯著的非線性變化的半導(dǎo)體陶瓷，用這種材料制成的電阻稱為壓敏電阻器。78制造壓敏陶瓷的材料有SiC、ZnO、BaTiO3、Fe2O3、SnO2、SrTiO3等。其中BaTiO3、Fe2O3利用的是電極與燒結(jié)體界面的非歐姆特性，而SiC、ZnO、SrTiO3利用的是晶界非歐姆特性。目前，應(yīng)用最廣、性能最好的是氧化鋅壓敏半導(dǎo)體陶瓷。 79 壓敏陶瓷的基本特性壓敏電阻陶瓷具有非線性伏 - 安特性，對電壓變化非常敏感。在某一臨界電壓以下，壓敏電阻陶瓷電阻

23、值非常高，幾乎沒有電流；但當(dāng)超過這一臨界電壓時(shí)，電阻將急劇變化，并且有電流通過。隨著電壓的少許增加，電流會很快增大。壓敏電阻陶瓷的這種電流-電壓特性曲線如圖所示。 801.齊鈉二極管；2.SiC壓敏電阻；3.ZnO壓敏電阻；4.線性電阻；5.ZnO壓敏電阻。 壓敏電阻的I-U特性曲線81由圖可見，壓敏電阻陶瓷的I-U特性不是一條直線，其電阻值在一定電流范圍內(nèi)呈非線性變化。因此，壓敏電阻又稱非線性電阻，用這種陶瓷制造的器件叫非線性電阻器。 82 氧化鋅壓敏陶瓷ZnO系壓敏電阻陶瓷是壓敏電阻陶瓷中性能最優(yōu)的一種材料。成分是ZnO，并添加Bi2O3、CoO、MnO、Cr2O3、Sb2O3、TiO2、

24、SiO2、PbO等氧化物經(jīng)改性燒結(jié)而成。83氧化鋅壓敏電阻的應(yīng)用ZnO壓敏電阻器的應(yīng)用很廣，可歸結(jié)為如下兩方面： 過壓保護(hù) 穩(wěn)定電壓84 過壓保護(hù)各種大型整流設(shè)備、大型電磁鐵、大型電機(jī)、通訊電路、民用設(shè)備在開關(guān)時(shí)，會引起很高的過電壓，需要進(jìn)行保護(hù)，以延長使用壽命。故在電路中接入壓敏電阻可以抑制過電壓。此外，壓敏電阻還可作晶體管保護(hù)、變壓器次級電路的半導(dǎo)體器件的保護(hù)以及大氣過電壓保護(hù)等。 85穩(wěn)定電壓由于氧化鋅壓敏電阻具有優(yōu)異的非線性和短的響應(yīng)時(shí)間，且溫度系數(shù)小、壓敏電壓的穩(wěn)定度高，故在穩(wěn)壓方面得以應(yīng)用。壓敏電阻器可用于彩色電視接收機(jī)、衛(wèi)星地面站彩色監(jiān)視器及電子計(jì)算機(jī)末端數(shù)字顯示裝置中穩(wěn)定顯像管陽極高壓，以提高圖像質(zhì)量等。 867. 光敏半導(dǎo)體陶瓷光敏陶