潔凈技術基礎培訓教材

1、潔凈技術基礎培訓教材PAGE PAGE - 64 -潔凈技術基礎培訓教材張利群二OO六年十月 目 錄空氣調節(jié)和空氣凈化的基礎知識（一）空氣調節(jié)的基本概念 1. 空氣調節(jié)及其分類2. 濕空氣的焓濕圖及其應用 = 1 * GB2 濕空氣的焓濕圖 = 2 * GB2 焓濕圖中的名詞定義 = 3 * GB2 焓濕圖的應用 = 4 * GB2 焓濕圖應用的舉例 3. 空調送回風的氣流組織（二）空氣凈化的基礎知識1. 潔凈室及其四大要素2. 潔凈室的應用及其分類3. 潔凈室與一般空調的差別4. 工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別5. 潔凈室潔凈度的等級標準二潔凈室的建造特點建造的潔凈室必須保證生產工藝所要求的各

2、項參數建造的潔凈室要具有一定的靈活性建造潔凈室需要較大的投資潔凈室運行耗電量大運行費用高三潔凈室的竣工驗收調試，性能測試和潔凈室的綜合評價（一）調試前的準備工作（二）單機試車（三）聯(lián)動調試（四）潔凈室的性能測試和綜合評價四潔凈室的性能測試（一）潔凈室性能測試的目的（二）潔凈室性能測試的內容（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表（四）潔凈室性能測試的方法五潔凈室維護管理的一問題過濾器的基本知識及其維護管理潔凈室的發(fā)塵源和潔凈室的清埽潔凈室的空氣品質潔凈工作服及其清洗潔凈區(qū)廁所的設置值班風機的設置吹淋室的設置及吹淋效果潔凈室的正壓維持潔凈室的消毒和滅菌潔凈室的顏色處理（十一）潔凈室的靜電和靜電的消除

3、（十二）潔凈室的防火和防爆（十三）潔凈室的能耗和節(jié)能（十四）潔凈室的竣工驗收調試和在線測試（十五）凈化空調系統(tǒng)的家濕問題（十六）凈化空調系統(tǒng)的管道保溫和防結露問題（十七）凈化空調系統(tǒng)的加熱問題潔凈室工程師培訓教材一. 空氣調節(jié)和空氣凈化的基礎知識（一）空氣調節(jié)的基本概念1、空氣調節(jié)及其分類 空氣調節(jié)就是使房間或封閉空間的溫度，相對濕度，潔凈度，和氣流速度等參數均達到給定要求的技術。也就是說，在人們的生活和工作以及生產和科研的某一個特定的空間內其環(huán)境空氣的溫度，濕度，潔凈度，和氣流速度等構成了該空間的空氣環(huán)境。采取必要的技術手段來創(chuàng)造和保持該空間內要求的空氣環(huán)境就是空氣調節(jié)的任務。在空氣調節(jié)系統(tǒng)

4、中，空氣處理設備即空調器是實現(xiàn)空氣熱，濕交換和空氣過濾凈化的核心部分。一個房間或一個空間，在一般情況下除了有來自該房間內部的圍護結構，人員，照明燈具及設備產生的熱，濕，粒子，微生物或其他有害物的干擾外，同時還有來自房間外部的大氣，太陽輻射等的干擾。為了消除上述來自室內外的干擾，就必須采取必要的技術手段，用在空氣處理設備中經熱，濕和過濾處理過的空氣來轉移，置換，稀釋和沖淡來自方方面面對房間空氣的干擾，來保證房間內一定要求的空氣環(huán)境?？諝庹{節(jié)的原例圖見圖一和圖二。圖一 空氣調節(jié)原理圖圖二 凈化空調原理圖空氣調節(jié)按使用對象的不同又可劃分為舒適性空氣調節(jié)和工藝性空氣調節(jié)。 舒適性空氣調節(jié)就是為了滿足人

5、們的舒適要求而設置的空氣調節(jié)。 工藝性空氣調節(jié)就是為了滿足生產工藝對環(huán)境空氣參數的要求而設置的空氣調節(jié)。環(huán)境空氣的溫濕度等參數均由生產工藝來決定。不同的生產工藝對環(huán)境空氣參數的要求也不相同。2、濕空氣焓濕圖及其應用濕空氣的焓濕濕空氣就是我們生活和工作的環(huán)境空氣，就是生產和科學研究的環(huán)境空氣。其主要成份是干空氣和水蒸汽。所謂干空氣就是不含水蒸汽的空氣，其中有78%的氮氣，21%的氧氣和不足1%的氬氣，氖氣等惰性氣體和少量的二氧化碳。在濕空氣中雖然水蒸汽的含量非常少，但是它的作用卻非常大。從某種意義上說調節(jié)濕空氣中水蒸汽的含量就是空氣調節(jié)的重要任務之一。濕空氣的焓濕圖是用來表示濕空氣的溫度、相對濕

6、度、含濕量和焓值等空氣狀態(tài)參數及其相互關系的線算圖。是在一定的大氣壓力的條件下，以焓值為縱坐標含濕量為橫坐標，其夾角為1350的線算圖。圖中有等溫度線、等相對濕度線、等含濕量線和等焓值線。利用焓濕圖可以表示空氣調節(jié)處理過程中所發(fā)生的混合、加熱、冷卻、加濕、去濕等所有空氣處理過程，并且利用焓濕圖可以計算出空氣處理過程中所需要的冷量、加熱量、加濕量等各種用量。焓濕圖見圖三。圖三 濕空氣的焓濕圖 焓濕圖中的名詞定義：a. 干球溫度：就是用干球溫度計測出的空氣溫度。b. 濕球溫度：就是用濕球溫度計測出的空氣溫度。也就是說將溫度計的水銀球用浸水的紗布包裹起來，所測得的穩(wěn)定的空氣溫度。從理論來說，濕球溫度

7、就是室內放置一盆水，水吸收空氣中的熱量后部分水蒸發(fā)成水蒸汽釋放到空氣中，增加空氣的潛熱，而空氣失去了熱量，溫度降低失去了空氣的顯熱。當這一熱濕交換達到平衡以后，空氣所得的潛熱（水蒸汽）和所失的顯熱（溫度降低）達到平衡后，其空氣的總熱量（焓值）不變時，此時的水面空氣的溫度就是空氣的濕球溫度。濕球溫度也就是相對濕度100%時的飽和溫度。c. 相對濕度：空氣中實際的水蒸汽的分壓力與同溫度下飽和狀態(tài)空氣的水蒸汽的分壓力之比。飽和水蒸汽的分壓力為100%。d. 飽和水蒸汽的分壓力：空氣中的水蒸汽不斷增加達到飽和時，空氣中的水蒸汽就會凝結成水由空氣中分離出來，此時的溫度為飽和溫度，其相對濕度達到100%。

8、e. 露點溫度：是在一定大氣壓力的條件下，某含濕量下的未飽和空氣因溫度不斷地降低，相對濕度不斷增加，達到飽和狀態(tài)空氣中的水蒸汽凝結成水珠，從空氣中分離出來時的溫度叫露點溫度。也就是空氣中的水蒸汽分壓力隨空氣溫度降低不斷升高，達到飽和狀態(tài)（100%）時的溫度叫露點溫度。f.含濕量：即環(huán)境空氣中1公斤干空氣所含有水蒸汽的質量（g）。g. 熱濕比線：空調房間內的全熱負荷與全濕負荷之比。在電子工業(yè)產熱量大、產濕量小的潔凈廠房一般的熱濕比800010000大卡/kg趨近正無窮大。對于醫(yī)院的潔凈手術部的潔凈手術室的熱濕比大約在18002400大卡/kg。因為人多，人的產濕量大，但熱負荷較小。焓濕圖的應用在

9、焓濕圖上可以劃出空氣調節(jié)系統(tǒng)中各種空氣處理的過程線，并且可以在線算圖上查出各種空氣處理過程的空氣參數和各種所需用量。a. 等濕加熱：空氣含濕量不變條件下的加熱。環(huán)境空氣的干球溫度升高，相對濕度降低。如：空氣處理中用熱水和蒸汽為熱源的熱交換器加熱、電加熱器的加熱。為正的無窮大過程圖線。見圖四。b. 等濕降溫：空氣含濕量不變條件下的降溫。環(huán)境空氣的干球溫度降低，相對濕度增加但并未到露點，沒有水凝結出來。如：空氣處理中的干表冷。即送入表冷器中的冷凍水的初溫高于空氣露點。此時為負無窮大的過程線。見圖五。圖四 等濕加熱過程 圖五 等濕降溫過程c. 等焓加濕：空氣的焓值不變條件下的加濕。即空氣和水直接并充

10、分地進行熱交換的過程。水吸收空氣中的熱量后部分水被蒸發(fā)成水蒸汽進入空氣，空氣失去熱量溫度下降。最終達到空氣失去的熱量等于空氣中增加的水蒸汽的含熱量。其空氣的總熱量（焓值）不變。過程線是135線，= 0，過程線見圖六?？諝馓幚磉^程中淋水室（淋循環(huán)水）濕膜加濕、高壓噴霧加濕、超聲波加濕等加濕的過程線。d. 生溫去濕：空氣的溫度不斷升高含濕量不斷降低的過程。固體化學去濕的過程就是生溫去濕的過程。即：固體吸濕劑吸收空氣中的水分發(fā)生化學反應放熱使空氣溫度升高，絕對含濕量降低，相對濕度也降低。過程線近似等焓線。常見的分子篩、氯化鋰、硅膠等固體吸濕就是生溫去濕過程。過程線見圖七。 圖六 等焓加濕過程 圖七

11、升溫去濕過程e. 等溫加濕：空氣干球溫度不變條件下的加濕。向空氣中噴入水蒸汽的過程就是等溫加濕過程?？諝獾臏囟染S持不變，直接將水蒸汽噴入空氣變成空氣中的水蒸汽?？諝馓幚碇谐Ｓ玫膰娬羝?、噴干蒸汽電極式、電熱式的加濕器。過程線見圖八。f. 降溫去濕（降溫干燥）：空氣的溫度降低同時含濕量也減低的空氣處理過程。向空氣中噴淋低于空氣露點的冷凍水，或將低于空氣露點的冷凍水（冷媒）通入表面冷卻器，與空氣接觸后，使空氣溫度降低而且還使空氣中的水蒸汽遇冷凝結成水滴從空氣中分離出來，使空氣的溫度降低,絕對含濕量減少。這是空氣處理中最常用的降溫去濕的方法，也是冷凍去濕的方法。過程線見圖九。向空氣中噴淋液體吸濕劑的處

12、理過程也是降溫去濕減焓過程，但工程中很少應用。圖八 等溫加濕過程 圖九 降溫去濕過程g. 升溫加濕：向空氣中噴熱水的處理過程，是升溫加濕的過程。在工程中很少應用。過程線見圖十。h.空氣的混合過程：兩種不同狀態(tài)的空氣混合時，其空氣的混合狀態(tài)點在兩種空氣狀態(tài)點的連線上。線段長度之比則為兩空氣質量之比。其過程線見圖十一。圖十 升溫加濕過程 圖十一 混合過程焓濕圖上幾種典型的空氣處理過程見圖十二。濕空氣狀態(tài)的各種參數，如：干球溫度，濕球溫度，露點溫度，相對濕度，含濕量和焓值等之間都是相互關連的，只要知道其中的兩，三個參數在焓濕圖上就可以確定濕空氣的狀態(tài)點。見圖十三。圖十二 典型的空氣處理過程 圖十三

13、空氣狀態(tài)點參數的確定焓濕圖的應用舉例一個潔凈室的室內參數為N，送風參數為S，熱濕比為，送風溫差為。全新風系統(tǒng)。夏季室外計算參數為Ws，冬季室外計算參數為Wd。現(xiàn)需將室外空氣處理到送風參數點S后，用風管送到潔凈室內就能滿足潔凈室的溫、濕度要求。可以采取下面多種方法，對空氣進行熱，濕處理都能達到同一個目的。見圖十四。 圖十四 焓濕圖上的空氣處理過程如：夏季空調空氣處理過程可以有如下途徑來實現(xiàn)：a. WSLS 用表冷器或淋水室將室外空氣降溫去濕減焓處理后再等濕再熱。b. WSaS 用固體化學去濕將室外空氣生溫去濕再干冷降溫。c. WSS 用噴淋液體吸濕劑做降溫、去濕、減焓處理。又如：冬季空調空氣處理

14、過程可以有如下途徑來實現(xiàn)：a. WdbLS 先用加熱器對室外空氣預熱再等溫加濕（噴蒸汽）然后用加熱器再熱。b. WdcLS 先用加熱器對室外空氣預熱再等焓加濕（濕膜等）然后用加熱器再熱。c. WddS 先用加熱器對室外空氣加熱再等溫加濕（噴蒸汽）。d. WdLS 先用噴熱水對室外空氣升溫加濕然后再熱。S 用加熱器加熱+部分空氣進行等焓加濕（用濕膜等方法）+再與未加濕部分空氣混合WdeL1 e3、空氣調節(jié)的氣流組織空氣調節(jié)氣流組織設計的任務就是要合理地組織室內空氣的氣流流動，使工作區(qū)的溫度，濕度，氣流速度和潔凈度能很好地滿足生產和科學研究以及人們舒適感的要求。氣流組織不合理不僅直接影響空調房間的

15、空調參數和空調效果，而且還要空調系統(tǒng)的能耗。空調系統(tǒng)送風口射出空氣射流是影響室內氣流組織的主要因素，而空調回風口，從流體力學角度是空氣的匯流，起回風速度衰減很快，與其距離的平方成反比。因此回風口的位置對室內氣流組織的影響比較小?？諝庹{節(jié)系統(tǒng)的氣流組織形式主要有：上送下回，上送下側回，上送上回，側上送側下回等形式。見圖十五。圖十五 空氣調節(jié)的氣流組織（二） 空氣凈化的基礎知識1潔凈室及其四大技術要素根據生產和科研的要求對室內空氣環(huán)境的潔凈度、溫度、相對濕度以及壓力、噪聲、振動、靜電等參數都進行控制的房間叫潔凈室或潔凈廠房。潔凈室的四大技術要素就是：粗效，中效和高效三級過濾，足夠的凈化送風量，室內

16、正壓的建立和維持，以及終端高效或超高效過濾器的設置。2潔凈室的應用和分類當今潔凈室已廣泛地應用在電子、航天、機械、化工、制藥、食品、醫(yī)療、生物工程各行各業(yè)。而且，隨著國民經濟和科研事業(yè)的飛速發(fā)展，潔凈室的應用將越來越廣泛，越來越重要，潔凈室可按氣流流型和使用用途以及控制的主要對象來分類。 = 1 * GB2 、潔凈室按氣流流型來劃分單向流（層流）潔凈室，其中又分垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。圖十六 單向流氣流流型非單向流（亂流）潔凈室圖十七 非單向流氣流流型混合流潔凈室圖十八 混合流氣流流型矢流（對角流）潔凈室圖十九 矢流氣流流型各種氣流的特點、創(chuàng)造的潔凈度、應用范圍和投資運行費。 單向

17、流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓出去，用潔凈氣流置換污染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流。 垂直單向流是氣流以一定的速度（0.25m/s0.5m/s）從頂棚流向地坪的氣流流型。這種氣流能創(chuàng)造100級、10級、1級或更高潔凈級別。但其初投資很高、運行費很高，工程中盡量將其面積壓縮到最小，用到必須用的部位。水平單向流是氣流以一定的速度（0.3m/s0.5m/s）從一面墻流向對面的墻的氣流流型。該氣流可創(chuàng)造100級的凈化級別。其初投資和運行費低于垂直單向流流型。 非單向流氣流的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風口頂部送風；回風的型式有下部回風、側下部回風和頂部回

18、風等。依不同送風換氣次數，實現(xiàn)不同的凈化級別，其初投資和運行費用也不同。 混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構成的氣流流型。這種氣流的特點是將垂直單向流面積壓縮到最小，用大面積非單向流替代大面積單向流以利節(jié)省初投資和運行費。 舉例給出不同氣流流型的送風量、耗冷量、初投資和運行耗電的具體指標見表一，此指標是以電子工業(yè)潔凈廠房為代表，具體數據有參考價值，但不能隨便套用。表一 不同潔凈級別潔凈廠房的送風量、冷量投資耗電的指標氣流流型潔凈級別（級）送風量（m/s）（次/h）耗冷指標（W/m2）投資指標（元/ m2）耗電指標（W/m2）單向流垂直101000.25m/s13001500

19、10000130001.251.35水平1000.3m/s8001000500060000.91.0非單向流10005060次/h 600700280030000.250.33100002530次/h500600200022000.220.261000001520次/h350400140016000.130.16注：表中的送風量、單向流以斷面風速表示，非單向流以換氣次數表示。表中冷量指標一般指電子工業(yè)潔凈廠房。表中的初投資包括潔凈廠房的圍護、冷凍供應系統(tǒng)、空調凈化系統(tǒng)，不含土建結構和自動控制的投資。表中的耗電量系指制冷系統(tǒng)和空調送風系統(tǒng)耗電，不含電加熱和電加濕的耗電量。 = 2 * GB2 、

20、按使用的用途或控制的主要對象劃分 工業(yè)用潔凈室：以控制灰塵為主要對象。用于電子、航天、機械、化工、化學制藥。 生物潔凈室：以控制細菌（微生物）為主要對象。用于生物制藥、醫(yī)療、食品、生物工程、動物飼養(yǎng)、生物安全等。3潔凈室與一般空調的差別見表二表二 潔凈室與一般空調的差別比較項目一般空調凈化空調原理送風和室內空氣充分混合以達到室內溫濕度均勻亂流為稀釋原理，層流為活塞原理，送出的潔凈室空氣先達工作區(qū)，罩籠潔凈工作區(qū)目的為了控制溫度、濕度、風速和空氣成份的目的除了一般空調的目的之外，更重要的是控制粒子的濃度手段粗、中效過濾加熱濕交換除空調手段外還要加高效、超高效過濾器，對微生物還要有滅菌措施送風量（

21、次/h）一般降溫空調810次/h一般恒溫空調1015次/h單向流400600次/h非單向流1560次/h初投資（元/m2）一般降溫500元/m2一般恒溫800元1000元/m2單向流500015000元/m2非單向流15003000元/m2運行耗電（Kw/m2）一般降溫0.040.06 Kw/m2一般恒溫0.080.10 Kw/m2單向流0.91.35 Kw/m2非單向流0.130.33 Kw/m2冷量指標（W/m2）一般降溫150200 W/m2一般恒溫200250 W/m2單向流8001500 W/m2非單向流350700 W/m24工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別見表三表三 工業(yè)潔凈室與生物

22、潔凈室的差別表比較項目工業(yè)潔凈室生物潔凈室研究對象（主要）灰塵、粒子只有一次污染。微生物、病菌等活的粒子不斷生長繁殖，會誘發(fā)二次污染（代謝物、糞便）?？刂品椒▋艋胧┲饕遣扇∵^濾方法。粗、中、高三級過濾，粗、中、高、超高四級過濾和化學過濾器等。主要是采取：鏟除微生物生長的條件，控制微生物的孳生、繁殖和切斷微生物的傳播途徑。過濾和滅菌等。控制目標控制有害粒徑粒子濃度。控制微生物的產生、繁殖和傳播，同時控制其代謝物。對生產工藝的危害關鍵部位只要一顆灰塵就能造成產品的極大危害。有害的微生物達到一定的濃度以后才能夠成危害。對潔凈室建筑材料的要求所有材料（墻、頂、地等）不產塵、不積塵、耐磨擦所有材料應

23、耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖條件。對人和物進入的控制人進入要換鞋、更衣、吹淋。物進入要清洗、擦拭。人和物要分流，潔污要分流。人進入要換鞋、更衣、淋浴、滅菌；物進入要擦拭、清洗、滅菌；空氣送入要過濾、滅菌，人物分流，潔污分流。檢測灰塵粒子可用粒子計數器檢測瞬時粒子濃度并顯示和打印。微生物檢測不能測瞬時值，須經48小時培養(yǎng)才能讀出菌落數量。5潔凈度的等級標準ISO-14644ISO-14644是國際標準，現(xiàn)在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標準，美國原來應用的是美國聯(lián)邦標準209A、B、C、D、E，現(xiàn)在美國也不用了。原來我們熟悉的100級、1000級、10000級和100000級都是源

24、自美國聯(lián)邦標準FS 209B，現(xiàn)在它們分別被國際標準ISO-14644標準中的5級、6級、7級和8級所替代。ISO-14644的潔凈度等級標準列表四如下。表四 潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級ISO-14644空氣潔凈度等級（N）表中粒徑的最大濃度限值（個/m3）0.1m0.2m0.3m0.5m1m5m1102/210024104/31000237102358/4100002370102035283/51000002370010200352083229610000002370001020003520083202937/3520008320029308/352000083200029300

25、9/352000008320000293000注： 每點應至少采樣3次。 本標準不適用于表征懸浮粒子的物理、化學、放射及生命性。 根據工藝要求可確定12粒徑。 根據要求粒徑D的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑0.1m5m） （個/m3） 式中N為潔凈度等級在19級中間可以0.1為最小單位遞增量插入。國標潔凈等級標準ISO- 14644與各國潔凈度等級標準的比較見表五。表五 國際標準ISO-14644與各國標準的比較表國際標準ISO-14644中國標準GB 50073美國標準FS 209E俄國標準TOCT 50766日本標準TIS 9920德國標準/P0/11/P11122/P22233M1.5

26、P33344M2.5P44455M3.5P55566M4.5P66677M5.5P77788M6.5P88899/P9/9 二潔凈室的建造特點（一）建造投資費用高 高級別潔凈室的建造費用很高，一般來說，100級垂直單向流的潔凈室，其室內裝修（墻、頂、地、門、窗等）和空調凈化系統(tǒng)（包括制冷空調設備和管道配件、凈化設備和配件等）的初投資大約為10000元人民幣/m2；如果加上純水制備設備和系統(tǒng)管道，純氣發(fā)生和系統(tǒng)管道，廢水治理設備和管道，消防系統(tǒng)，供配電和自控系統(tǒng)，真空清掃系統(tǒng)等等，其單位面積的建造投資費用要高達2500030000元人民幣/ m2。就拿已投產的上海華虹NEC超大規(guī)模集成電路芯片生

27、產線潔凈室舉例來說，華虹NEC為月投片30000片8硅片集成電路前工序生產線，有潔凈室面積約12000m2，其中10000 m2是在中心部位，另2000 m2在邊跨上。在中心部位的10000 m2潔凈室中有4000 m2的1級、10級和100級的垂直單向流潔凈室，另外6000 m2分別為1000級和10000級的非單向流潔凈室，總送風量約6,400,000 m3/h。于1998年底建成投產。該項目總投資約100億人民幣，其中動力設備和土建投資為20億人民幣，占總投資的五分之一。單核心部分的10000 m2的潔凈室的建造費用就高達6000萬美元（約5億人民幣）（日本三機株式會社施工），折合每平方

28、米建造費用約50000元人民幣/ m2。（二）運行管理費用大因為高級別潔凈室凈化風量大，新風量也大，溫濕度要求嚴格，所以空氣熱濕處理和空氣輸配的能量消耗大，耗電多，運行費用貴。還拿上述華虹NEC為例，其核心部分10000 m2潔凈室總的送風量為6,400,000 m3/h，輸送凈化空氣的風機耗電量為3840 Kw/h，全年電費為1659萬元（每度電按0.6元/設計），空氣熱濕處理的耗電量約10000 Kw/h，全年電費為6000萬人民幣。全年空調凈化系統(tǒng)本身的運行費用就高達7659萬元人民幣。折合每年單位面積的運行費用為7659元/m2年。（三）靈活適應性強因為，科學技術的發(fā)展很快，高科技的產

29、品不斷出現(xiàn)，尤其是電子工業(yè)的發(fā)展更是日新月異，像集成電路的發(fā)展23年就更新一代，TFT-LCD的發(fā)展速度更快12年就上一個臺階。這就要求為其服務的高級別的潔凈室必須能適應其發(fā)展速度，有極好的靈活性和適應性。因為建造一個潔凈廠房是百年大計，不是一、二年就會拆掉重建。因此，在設計和建造潔凈廠房時，就要考慮到工藝的發(fā)展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應性。從一個潔凈廠房的靈活適應角度，可將其分為三個層次，第一是不可變的部分。無論怎樣改都不能改變的部分。如基礎、梁、柱等結構部分；第二是可變但不容易變的部分。如潔凈室的圍護、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。如動力、空氣、水、氣體溶劑的供給部分

30、和廢氣、廢水、廢料等排放部分。（四）安全、可靠性好從前面（一）、（二）兩條特點可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價。但是為了生產出高可靠、高質量的高科技產品也必須具備這樣的生產環(huán)境。因為，建造潔凈室的目的是為使用，是為了得到高成品率合格產品。為了達此目的，設計和建造潔凈室必須把安全可靠放在第一位。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風速、壓力等所有參數必須滿足生產工藝的要求，保證安全、可靠、不出事故。這一點絕不能馬虎，更不能打折扣，要萬無一失，只有這樣才能有效益，才能達到建造潔凈室的目的。三潔凈室的竣工驗收調試，性能測試和潔凈室的綜合評價竣工驗收的調試工作要分以下四個步驟進行。調試前

31、的準備工作。單機試車。聯(lián)動調試。潔凈室的性能測試和綜合評價。（一）調試前的準備工作1、調試的組織準備：成立以建設單位（業(yè)主）為組長的有設計單位、施工單位、監(jiān)理單位人員參加的調試小組。調試小組領導調試的全面工作，調試小組協(xié)調各方面的關系，調試小組為調試工作提供各種軟硬條件。2、編制調試大綱在調試小組領導和組織下，編制調試大綱。調試大綱是調試工作的指導性文件。調試大綱的內容包括：組織分工、人員安排、物資調動；調試項目、調試方法、調試儀表；調試程序、調試進度、調試計劃安排等。調試大綱的編制使調試人員思想明確、認識統(tǒng)一、步調一致、行動整齊，使調試工作順利進行。3、施工現(xiàn)場質量的會檢。在調試小組的領導組

32、織下，有建設單位、設計單位、施工單位、監(jiān)理單位的有關領導和技術人員參加，對施工現(xiàn)場、施工質量進行全面會檢。從冷凍站、換熱站、鍋爐房、變配電站、空調機房到供冷、供熱、供電系統(tǒng)、空調凈化系統(tǒng)和自動控制系統(tǒng)。從設備（冷凍機、鍋爐、水泵、冷卻塔、空調器等）、配件（閥門、風口、消聲器等）、管道和管線到保溫、設備基礎、管道支吊架等的工程施工質量進行全面會檢?？词欠癜磮D施工、查與設計圖不符之處，找施工質量不合格項目并查其原因。并對施工、加工、安裝等質量問題逐一填寫“缺陷明細表”，提出整改意見，限期（正式調試之前）整改完畢。4、空調設備、空調系統(tǒng)的清掃：調試之前對潔凈室進行全面、徹底的清掃是十分必要的。對潔凈

33、室的地面、墻面、吊頂、門窗進行認真、全面、徹底的大掃除（最好請專業(yè)的清潔公司）；對空調設備、空調管道（送風管、回風管、新風管），空調配件（清聲器、閥門、風口等）進行檢查、檢漏和擦試。達到潔凈要求為止。安裝粗效、中效過濾器進行第一次空吹。在徹底清掃的基礎上，安裝空調器內的粗效和中效過濾器。對整個凈化空調系統(tǒng)進行空吹，空吹時間為2436小時，使整個系統(tǒng)得到初步的凈化。安裝高效過濾器。系統(tǒng)空吹后可以安裝高效過濾器。高效過濾器在安裝之前，要求對其逐一進行檢漏，對有泄漏者進行堵漏。檢漏在臨時檢漏臺上進行，塵源利用大氣塵。被檢合格的高效過濾器方能進行安裝，安裝完畢后對高效過濾器的安裝密封再進行檢漏（利用塵

34、埃粒子計數器掃描），達到安裝合格。高效過濾器安裝檢漏合格后再對凈化空調系統(tǒng)進行第二次空吹?？沾禃r間24小時，然后方可進行入調試程序。5、測試儀器、儀表、工具的準備調試前要對調試中所用的儀器儀表進行調試和標定（超過使用時間還需重新進行標定）。所用的儀表包括測量風速、風量、溫度、相對濕度、壓差、噪聲、振動、轉數、時間、大氣壓力和潔凈度的儀器儀表等。調試所用的器材、工具的準備。如：電工工具、管工工具、扳金工工具、鉗工工具以及爬高上下的梯子等。并且請施工單位配合電工、管工、扳金工和鉗工。調試和測試工作所用的圖紙和記錄表格的準備。（二）單機試車單機試車是對工程中的所有的設備、配件等單體進行試車。單機試車

35、的目的是對這些設備、配件的安裝質量和產品出廠質量的檢查和考核。單機試車的主要內容有：水、電先行。即首先對供水供電的設備和系統(tǒng)進行檢查和考核。如水泵、變壓器、配電箱、開關等。要保證供水、供電的正常、可靠。進而，對供冷設備（冷凍機、冷卻塔、冷凍水泵、冷卻水等）、供熱設備（鍋爐、換熱器、熱水泵等）、空調設備（表面冷卻器、加熱器、加濕器、過濾器、風機等）、自動控制設備、儀表、閥門以及各系統(tǒng)的配件進行單體考核。看是否能滿足設計要求和正常運行。尤其對轉動設備如風機、水泵要試轉看是否運轉平穩(wěn)，有無雜音和碰撞和反轉現(xiàn)象；用電設備接線是否正確；冷凍機和鍋爐是否能達到設計要求；空調器中表冷器的降溫去濕能力、加濕器

36、的加濕能力等等進行單體檢查、考核。如果出現(xiàn)故障和發(fā)現(xiàn)問題，應立即排除。對于大型設備如冷凍機、鍋爐、空調器等（尤其是進口設備）在單機試車時最好有生產廠家的調試人員現(xiàn)場指導或由生產廠家負責試車，待運轉正常后再移交給使用單位。單機試車為聯(lián)動調試做好各個單體設備的準備工作。（三）聯(lián)動調試聯(lián)動調試一般情況下分為兩個階段進行，即風量分配階段和聯(lián)動調試階段。1、風量分配：風量分配即將各個潔凈室的送風量、回風量、新風量、排風量全部按設計要求調整到設計風量。因為一個潔凈廠房可能有多個空調送風系統(tǒng)和排風系統(tǒng)，或一個空調送風系統(tǒng)要負擔多個潔凈室的送風。因此，風量分配調試工作是一項工作量大、時間長、耐心細致的工作。風

37、量分配調試工作也是整個調試工作的重點工作。常用的風量分配調試方法采用標準風口法。標準風口法：一個潔凈室可能有幾個、幾十個空調送風口、回風口。因為它們之間都是相通的，當調整某一個風口送風的風量時其他送風口的風量也會跟其變化。因此，采用標準風口法。所謂標準風口法，就是在風量分配之前，將所有閥門都開到最大的情況下，在所有的送風口這中找到最不利的送風口（送風量最小的送風口），將此風口作為標準風口。在標準風口上設一監(jiān)測儀表，隨時測試標準風口的風量變化。然后調整其它所有風口風量。因為調整任何一個風口風量時，都會影響已調整過的風口的風量的變化；因此，在調整任何一個風口風量時，都要以標準風口當時風量為參照風量

38、，使所有被調風口的風量均隨標準風口的風量變化而同步變化。當一個凈化空調系統(tǒng)負責多個潔凈室空調時，調試要以潔凈室為單位由末端向總干管方向進行，對各潔凈室首先調整其送風量的相對關系量，然后，再用系統(tǒng)的總閥門來將每個送風口，每個潔凈室的送風量都調整為真實的設計送風量。2、聯(lián)動調試聯(lián)動調試在風量調整和單機試車后進行。聯(lián)動調試就將凈化空調系統(tǒng)和為凈化空調系統(tǒng)服務的所有系統(tǒng)即：供冷系統(tǒng)（冷凍機、冷卻塔、水泵以及供冷系統(tǒng)上所有的配件）、供熱系統(tǒng)（鍋爐、水泵以及供熱系統(tǒng)上所有配件）、供電系統(tǒng)（配電箱、變頻器）和自動控制系統(tǒng)全部投入運行，考核各系統(tǒng)的綜合性能和聯(lián)動性能。必要時，在潔凈室內人為的設置一定量的負荷，

39、考核溫、濕度探頭、中間儀表和執(zhí)行機構的聯(lián)動是否敏感、協(xié)調；考核溫、濕度探頭是否準確，精度是否合格。（四）潔凈室的性能測試和綜合評價在風量調整和聯(lián)動調試的基礎上，潔凈室空調凈化系統(tǒng)以及為其服務的所有系統(tǒng)，均處于正常運行狀態(tài)。接著進行潔凈室的性能測試和綜合評價。1、潔凈室的性能測試：潔凈室性能測試內容包括：潔凈度測試、風量測試、正壓測試、風速測試（單向流潔凈室 ）溫度、相對濕度測試、噪聲測試等。潔凈度測試：采樣點布置在工作面上（0.81.0m），采樣點數量N=A1/2（A是潔凈室面積m2）。塵埃粒子計數器的采樣量要大于1升/分；每個采樣點連續(xù)有效采樣三次。取其平均值做該點的測量值。全部測點的測量值

40、的平均值作為潔凈室的潔凈度。風量或風速測試：單向流潔室測量斷面風速、非單向流潔凈室測其風量。斷面風速的測量：距吊頂上送風高效過濾器（HEPA）300mm處布置測點，測點間距為600mm，用熱球風速儀測其各點風速。風量測試：在送風管或送風口上測送風風量。方法是用比托管和微壓差計，測風管內各點的動壓，測點間距為100mm。再計算送風量。正壓測試：在關門的狀態(tài)下，測潔凈室的正壓。采用補償式微壓計測量。2、潔凈室的綜合評價。在對潔凈室性能測試的基礎上，根據對潔凈室潔凈度、溫、濕度、正壓、風量、噪聲等測試結果，對潔凈室的建設和性能進行竣工驗收的綜合評價。四潔凈室的性能測試 (一) 潔凈室性能測試的目的

41、潔凈室性能測試的目的主要有兩項：其一是為了潔凈室的竣工驗收，其二是為了檢查潔凈室的運行是否正常。凈室竣工驗收的性能測試根據（潔凈室施工及驗收規(guī)范）和（潔凈廠房設計規(guī)范）的要求，潔凈室竣工驗收分兩步進行，第一步是竣工調試和性能測試，第二步是潔凈室性能的綜合評價。潔凈室性能的綜合評價是潔凈室工程竣工驗收的重要環(huán)節(jié)，而潔凈室性能測試又是潔凈室性能綜合評價的基礎。潔凈室性能測試所需要測試的項目以下：通風機的風量和轉數；風量及其平衡；室內靜壓及其調整； = 4 * GB3 自控系統(tǒng)的聯(lián)動； = 5 * GB3 高效過濾器的檢漏； = 6 * GB3 室內的潔凈度；等六項。其中主要三項是，潔凈度，風量和室

42、內靜壓。2、潔凈室運行狀態(tài)下的定期性能測試根據（潔凈廠房設計規(guī)范）的要求，因生產的復雜性和維護管理工作的主，客觀原因造成潔凈室性能的下降，必須對潔凈室進行定期的性能測試，檢測的頻數見下表。 表十四 潔凈室性能測試的內容和頻數 潔凈度等級項目134、5、678、9溫度循環(huán)監(jiān)測每班二次濕度循環(huán)監(jiān)測每班二次壓差值循環(huán)監(jiān)測每周一次每月一次潔凈度循環(huán)監(jiān)測每周一次每3個月一次每6個月一次風量循環(huán)監(jiān)測不得超過12個月（二）潔凈室性能測試的內容表十五 潔凈室檢測內容序號測試項目JGJ71-90規(guī)定GB50073-2001規(guī)定低于100級100級1000級及以下1室內送風量，系統(tǒng)總風量，室內排風量，檢測檢測2靜

43、壓差檢測檢測3風速和風量檢測不測檢測4斷面風速不均勻度檢測必要時測不測未規(guī)定5潔凈度級別檢測檢測6浮游菌和沉降菌必要時測選測7室內溫度和室內相對濕度檢測選測8溫濕度波動范圍和區(qū)域溫差必要時測未規(guī)定9室內噪聲級檢測選測10室內倍頻程聲壓級必要時測選測11室內照度及其均勻度檢測選測12室內微振必要時測必要時測13表面導靜電性必要時測必要時測14室內氣流流型不測必要時測選測15流線平行度檢測必要時測不測必要時測16自凈時間不測必要時測必要時測選測17過濾器安裝檢漏未規(guī)定選測18污染泄漏未規(guī)定選測（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表1、風壓測試儀器：主要用于測定潔凈

44、室之間和潔凈與非潔凈區(qū)之間微壓差，也可利用壓差法測量風速，計算風量。液體壓力計：液體壓力計具有使用方便、價格低廉、精確度較高、制造安裝方便等優(yōu)點，但有測量范圍受限制、玻璃管易碎等缺點。常用的工作液體有：酒精、水、水銀等，在潔凈室測量中主要是酒精和水。液體壓力計主要有：U型管壓力計、斜管壓力計、補償式壓力計。彈簧壓力計：彈簧壓力計是根據彈簧元件在所測壓力作用下發(fā)生變形，其變形量與所測壓力成函數關系這一原理制成的，其優(yōu)點是構造簡單、便于攜帶、安裝方便、價格低廉。常用的彈簧壓力計主要有：彈簧管壓力計、膜片管壓力計和膜核壓力計。 = 3 * GB3 電學壓力計：電學壓力計是利用壓電原理或高壓下電阻變化

45、等電學方法來測定壓力的壓力計，適用于測量變化極快、數值很高或近乎絕對真空時的壓力。2、風速和風量測試儀器： 風速測量儀的作用原理有：機械式、散熱率式和動力測壓式等。a機械式風速儀：如翼形風速儀，它是利用流動氣體的原動壓推動機械裝置來顯示其流速的儀表。b散熱率式風速儀：是根據流體中受熱物體的散熱率與流體流速成正比關系制成，測定傳感器的散熱率，即能測到流體的流速。常用的散熱率式風速儀有：熱線風速儀和熱球風速儀等。風量測量儀：在潔凈室中總風量的測試常用風管法，各房間送回風量多用風口法進行測量，其原理為平均風速乘以斷面面積。 = 3 * GB3 潔凈度測試儀：a塵埃粒子的檢測儀表：目前潔凈室潔凈度的檢

46、測主要用光散射塵埃粒子計數器，它又分為白只光塵埃粒子計數器和激光塵埃粒子計數器。它的原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現(xiàn)象，將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號轉換為相應的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數，利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關系來測量微粒粒徑的大小。b生物粒子的檢測儀表：目前生物粒子的檢測方法主要有采用培養(yǎng)基法和濾膜法，所用的儀器分浮游菌采樣器和沉降菌采樣器。浮游菌采樣器主要有：固體撞擊式采樣器、離心式空氣微生物采樣器、氣旋式微生物采樣器、液體沖擊式微生物采樣器、過濾式微生物采樣器和大容量靜電沉降采樣器等。沉降菌采樣器主要有：高壓消毒鍋、恒溫培養(yǎng)箱和培養(yǎng)皿等。 = 4 * GB

47、3 溫度測試儀：通稱溫度計，按其作用原理可分為膨脹式溫度計、壓力式溫度計、熱電偶溫度計和電阻溫度計。a膨脹式溫度計：分固體膨脹式溫度計和液體膨脹式溫度計。b壓力式溫度計：可分為充氣壓力計式溫度計和充蒸汽壓力計式溫度計。c熱電偶溫度計：是根據熱電效應原理制成的，當兩種不同金屬節(jié)點溫度不同時就會有電動勢，如已知一點溫度，測出電動勢就可推算另一點的溫度。d電阻溫度計：基于某種金屬及其合金或半導體的電阻會隨溫度變化而變化，精確地測定電阻就會測出溫度。電阻溫度計的優(yōu)點有：精確度靈敏度高、反應快；測溫范圍寬；不需冷節(jié)點補償；可用于遠距離溫度測量。 = 5 * GB3 濕度測試儀：濕度測試儀按其原理可分為干

48、濕球溫度計、毛發(fā)溫度計、電溫度計等。 = 6 * GB3 噪聲測試儀：噪聲測試儀它的原理是用電容式傳聲器將聲能變?yōu)殡娔?，再經放大器、檢波器等一系列處理，最后給出聲壓值。 = 7 * GB3 照度測試儀：常用的便攜式照度計它的原理是用一種光敏元件做探頭，當有光照時就會產生光電流，光線越強光電流越大，測量電流時就可測出照度。（四）潔凈室性能測試的方法1風量和風速的測量測試前的準備工作： 測試前首先檢查風機運行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門的開啟位置是否正確并且固定可靠。單向流潔凈室風量的測定：垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室的風量是采用斷面平均風速和斷面面積的乘積來計算的

49、，斷面的選取和斷面上的測點布置見下表。表十六 施工驗收規(guī)范JGJ71和設計規(guī)范GB50073的比較內 容施工驗收規(guī)范JGJ71設計規(guī)范GB50073垂直單向流垂直單向流垂直單向流水平單向流測定斷面的選取距地面0.8m距送風面0.5m距高效過濾器0.3m測點的布置間距不大于2m均勻布置間距不大于0.6m均勻布置最少測點數10點，算數平均5點，算數平均測定儀器熱球風速儀未作具體規(guī)定評定標準應大于設計風速,且不超過2014級0.30.5不均勻的均方根差不大于0.255級（100級）0.20.5 = 3 * GB3 非單向流潔凈室風量的測定：非單向流潔凈室風量的測定可采用風管法和風口法風管法測風量：風

50、管法測風量中風管測定斷面應選擇氣流比較均勻穩(wěn)定地方，且與局部阻力的距離，測定斷面在局部阻力前時不小于3倍風管管徑長度，測定斷面在局部阻力后時不小于5倍風管長邊長度。對于矩形風管將測定斷面分成若干個相等的小截面，盡可能接近方形，邊長應不大于200mm。測定點在小截面的中心。整個測定斷面的測點數不少于3個。對于圓形風管將測定斷面分成若干個面積相等的同心圓環(huán)，每個圓環(huán)上設4個測點，4個測點應在相互垂直的兩條直徑上。圖三十六 矩形風管的測點布置 圖三十七 圓形風管的測點布置b. 風口法測風量：在施工驗收規(guī)范JGJ71中規(guī)定了兩種方法：其一是對于有過濾器的風口，可根據風口形式選用與風口斷面相同的輔助風管

51、，其長度為兩倍風口的邊長，連接于被測風口外部，在輔助風管的出口面上，最少布置6個測點，用熱球風速儀測個點風速，再用斷面平均風速乘以風口凈面積來計算風量。其二是對于有同類擴散板的風口，可根據擴散板的風量阻力曲線和實測擴散板阻力來查出風口的風量。 = 4 * GB3 風量測定結果的判定：實測風量應大于設計風量，但不應超出20。b. 實測新風量與設計新風量之差不應超出10。c. 實測個風口風量與設計風量之差不應超出15。2潔凈度的測定：在施工驗收規(guī)范JGJ71中規(guī)定如下：最低采樣點數見下表，每個測點最少采樣機3次。表十七 最低采樣點數表面積（m2）潔 凈 度100級和高于100級1000級10000

52、級100000級小于102 322210432220862240161342100403210320080632064001601264013100040031610032200080063320063測定潔凈度的最小采樣量按下表：表十八 最小采樣量表(L)潔凈度級別（級）粒 徑（mm）0.10.20.30.55.011785198566102.838.519.856.61002.832.835.6610002.8385100002.838.51000002.832.83對于單向流潔凈室采樣口應朝著氣流方向。對于非單向流潔凈室采樣口宜朝上。采樣速度盡可能接近室內氣流速度。即（等速采樣）。測點的

53、布置原則：每層不少于5個測點，多于5點時可分層布置。測點布置在距地0.8m高的對 角線上。 潔凈度測定結果的判定：a. 如實測狀態(tài)（空態(tài)，靜態(tài)，動態(tài)）與事先約定的狀態(tài)相同，以其潔凈度級別上限作為評定標準。如實測狀態(tài)為空態(tài)或靜態(tài)，則動態(tài)時的粒子數肯定會高，有時可用空態(tài)粒子數的510倍來估算動態(tài)時的塵埃粒子數。3微生物粒子的測定：采樣點的布置和要求： 浮游菌測定時，其采樣點位置可以與懸浮粒子測定點的布置相同。測點距離地面0.81.5m,送風口測點位置距送風面30cm左右。根據需要可在關鍵部位增加測點。測點布置要均勻。見下表：表十九 浮游菌測定最少采樣點數表面積（m2）潔 凈 度100級10000級

54、100000級驗證監(jiān)測驗證監(jiān)測驗證監(jiān)測小于102 312121020422122040832124010016441210020040103200400802064001604013沉降菌測定時，其采樣點位置可以與懸浮粒子測定點的布置相同。測點距離地面0.81.5m。根據需要可在關鍵部位增加測點。測點布置要均勻。對于沉降菌法不僅僅滿足于最少采樣總數,還需滿足最少采樣培養(yǎng)皿總數。見下表：表二十 沉降菌測定最少采樣點數表面積（m2）潔 凈 度100級10000級100000級小于102 32210204222040822401001642100200401032004008020640010001

55、60401310002000400100322000以上80020063表二十一 沉降菌測定最少培養(yǎng)皿數表潔凈度等級（級）90培養(yǎng)皿數（以沉降0.5h計）高于1004410014100051000021000002浮游菌測定法最小采樣量應按不同潔凈度等級來確定。見下表表二十二 浮游菌測定法最小采樣量表潔凈度等級（級）采樣量/L次日常監(jiān)測環(huán)境驗證10060010001000040050010000050100 微生物粒子測定方法：浮游菌的測定法首先，要對測定儀器，培養(yǎng)皿，采樣器等進行消毒滅菌，采樣口和采樣管在使用前必須用高溫滅菌。第二，采樣者應穿與潔凈室等級相應的潔凈服，放入或調換培養(yǎng)皿前，雙手

56、要用消毒劑消毒。第三，儀器消毒后放入培養(yǎng)皿前，先開動真空泵抽氣，使儀器中的殘存消毒劑蒸發(fā)，時間不小于5min。第四，關閉真空泵，放入培養(yǎng)皿，蓋好蓋子后調節(jié)采樣器。第五，置采樣口于采樣點，依次開啟采樣器，真空泵，轉動定時器并根據采樣量選定采樣時間。第六，采樣結束后，將培養(yǎng)皿置于3050C恒溫培養(yǎng)箱中，時間不小于48小時。第七，用肉眼計數，然后用510倍的放大鏡檢查，是否有遺漏。 . b. 沉降菌的測定法首先，要對測定儀器，培養(yǎng)皿等進行嚴格的消毒滅菌，在37C恒溫培養(yǎng)箱中，進行不小于48小時的培養(yǎng)和觀察，確認無菌后方可使用。第二，一般采用90mm的沉降平皿，注入20mL培養(yǎng)基，放在測點處，開蓋暴露

57、30min,將培養(yǎng)皿蓋蓋上倒置，然后在3035C恒溫培養(yǎng)箱中，進行不小于48小時的培養(yǎng)并用肉眼計菌落數，并記錄生成的菌落數，然后用510倍的放大鏡檢查，是否有遺漏。4靜壓差的測定：靜壓差的測定要求：首先，靜壓差的測定是潔凈區(qū)內所有的門全關閉狀態(tài)下進行的。第二，應從潔凈度高到潔凈度低的房間順序進行，一直到直通室外的房間。第三，測管口設置在室內不受氣流干擾的地方。第四，所測數據應精確到1.0Pa。 靜壓差的測定步驟：首先，是將潔凈區(qū)內所有的門全處于關閉狀態(tài)下。第二，用微壓差計測量潔凈室之間，潔凈室和走廊之間，走廊與外界之間的壓差。第三，記錄在案 = 3 * GB3 靜壓差測定用的儀器：靜壓差測定一

58、般采用的儀器為YJB-150型補償式微壓計，傾斜式壓力計，精密指針式壓力計或靈敏度小于1.0Pa的其它壓力計。 = 4 * GB3 合格標準：首先，不同級別的潔凈室（區(qū)）與非潔凈室潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應不小于5Pa。第二，潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應不小于10Pa。第三，對于潔凈度等級嚴于5級的單相流潔凈室在開門時，門內0.6m處室內工作面的含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。5溫度和相對濕度的測定：溫濕度的測定要求首先，溫濕度測定前，凈化空調系統(tǒng)應連續(xù)運行48h以上。第二，應根據溫濕度的精度范圍，選擇有足夠精度的測定儀表，并經過校驗標定合格。溫濕度的測定方法：第一，溫濕度的測點應距離

59、地面0.8m，距離外墻0.5m。第二，應根據溫濕度的精度范圍的要求，測定宜連續(xù)運行848h，每次讀數間隔不大于30min。 第三，對于沒有恒溫要求的房間，其溫度只測房間中心一個點即可。第四，對于有恒濕要求的房間或區(qū)域，測點應放在送，回風口處或具有代表性的點。 = 3 * GB3 合格標準：有90%以上的測點其溫度的偏差值在室溫要求的范圍內，為符合設計要求，反之為不合格。6照度的測定：照度的測定要求室內照度的測定必須在室溫穩(wěn)定，光源光輸出穩(wěn)定后再進行測定。照度的測定方法：第一，照度的測點應距離地面0.85m，按間距12m布點，測點距離墻1m。第二，記錄實測值并計算總的平均照度。 第三，照度測定一

60、般是不含局部照明以外的一般照明。 = 3 * GB3 合格標準：應符合設計要求，根據（潔凈廠房設計規(guī)范）的要求，潔凈室內一般照明的均勻度不應小于0.7。7噪聲的測定： 噪聲的測定方法：當房間的面積不大于50m2時，僅測定房間中心一個點。當房間的面積較大時，每增加50m2增加一個測點。測點距離地面1.0m。當有條件時，宜測房間靜態(tài)工況的噪聲和本底噪聲。 合格標準：應符合設計要求，根據（潔凈廠房設計規(guī)范）的要求，潔凈室空態(tài)情況下非單向流潔凈室的噪聲不應大于60dB(A)。單向流和混合流潔凈室的噪聲不應大于65 dB(A)。8自凈時間的測定：自凈時間的測定方法：以大氣塵為基準測定時，潔凈房間必須停止