PCBIDF工序質(zhì)量分析

1、IDF工序缺陷判斷及質(zhì)量數(shù)據(jù)分析SYE QE 08.02.25培訓(xùn)目的的了解IDF工序現(xiàn)階段質(zhì)質(zhì)量監(jiān)控控點(diǎn)、主主要質(zhì)量量問(wèn)題、缺陷形形態(tài)、可可能產(chǎn)生生原因了解IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量數(shù)據(jù)據(jù)和指標(biāo)標(biāo)了解IDF工序序質(zhì)量數(shù)數(shù)據(jù)分析析、改善善及效果果評(píng)估一、IDF工序主要質(zhì)量量問(wèn)題、缺陷形形態(tài)、可可能產(chǎn)生生原因、現(xiàn)階段段質(zhì)量監(jiān)監(jiān)控點(diǎn)綱要：1、IDF工序序現(xiàn)階段段主要質(zhì)質(zhì)量監(jiān)控控點(diǎn)及監(jiān)監(jiān)控參數(shù)數(shù)；2、流程程查核；一、IDF工序主要質(zhì)量量問(wèn)題、缺陷形形態(tài)、可可能產(chǎn)生生原因、現(xiàn)階段段質(zhì)量監(jiān)監(jiān)控點(diǎn)1、IDF工序序現(xiàn)階段段主要質(zhì)質(zhì)量監(jiān)控控點(diǎn)：具體見(jiàn)附附件一、IDF工序主要質(zhì)量量問(wèn)題、缺陷形形態(tài)、可可能產(chǎn)生生原因

2、、現(xiàn)階段段質(zhì)量監(jiān)監(jiān)控點(diǎn)2、主要參參數(shù)及質(zhì)質(zhì)量監(jiān)控控點(diǎn)：前處理：1、速度（2.0-2.7m/min）2、烘干干溫度（45-55）3、微蝕蝕量：0.8-1.6um貼膜：1、貼膜溫溫度/壓力（11010、kg/cm2）2、預(yù)熱溫溫度（805）、貼膜膜速度：電鍍板板（2.0-2.m/min），其它它 （3.0-3.m/min）3、貼膜后后靜止時(shí)時(shí)間（15-1440min）曝光：1、曝光級(jí)級(jí)數(shù)（干干膜：7-8、濕膜：6.5-7.5、MASK2:4-5） 、能量均勻勻性（10%）、真空空度（25-30inHg）2、曝光時(shí)時(shí)間（15s） 、溫溫濕度（201、46-54%RH）、曝光后靜靜止時(shí)間間（15-14

3、40min）一、IDF工序主要質(zhì)量量問(wèn)題、缺陷形形態(tài)、可可能產(chǎn)生生原因、現(xiàn)階段段質(zhì)量監(jiān)監(jiān)控點(diǎn)濕油：1、速度（2.0-3.5m/min）2、油墨墨粘度（40-62sec）3、膜厚厚：9-13um4、潔凈凈度：涂涂膜室1000 grade菲林制作作及使用用：1、菲林剖剖出至使使用最小小時(shí)間：4H2、保護(hù)護(hù)膜貼膜膜速度：1.5-2刻刻度3、存放放條件：溫濕度（201、46-54%RH）一、IDF工序主要質(zhì)量量問(wèn)題、缺陷形形態(tài)、可可能產(chǎn)生生原因、現(xiàn)階段段質(zhì)量監(jiān)監(jiān)控點(diǎn)3、工序序查核（1）日日常查核核（2）專(zhuān)專(zhuān)項(xiàng)查核核二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)綱要：1、報(bào)廢廢率2、PONC3、一次次合格率率4、RT

4、V5、重點(diǎn)點(diǎn)客戶(hù)/型號(hào)二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)工序主要要質(zhì)量數(shù)數(shù)據(jù)：質(zhì)量控制項(xiàng)目目標(biāo)數(shù)據(jù)來(lái)源頻率主要影響缺陷一次合格率65%、77%、80%、85%ERPERP日?qǐng)?bào)、周報(bào)、月報(bào)開(kāi)路缺口、曝光不良、殘銅、凸起報(bào)廢率普通板4.3MRBERP日?qǐng)?bào)、周報(bào)、月報(bào)AOI開(kāi)路缺口、短路、擦花HDI板4.3PONC185萬(wàn)/月QEPONC月報(bào)膜碎開(kāi)路缺口、短路、擦花ET合格率內(nèi)短1.1%ETERP日?qǐng)?bào)、月報(bào)開(kāi)路缺口、短路、殘銅內(nèi)開(kāi)0.3大點(diǎn)0.3客戶(hù)投訴DPPM內(nèi)層開(kāi)路20QSQS月報(bào)表內(nèi)層開(kāi)路缺口、短路內(nèi)層短路10二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)1、普通通板及HDI板板報(bào)廢率率：A、曝光光房每周周普

5、通板板報(bào)廢率率趨勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05合格面積ft2 37684.56377048.3401362.3406714.9382405.7開(kāi)路缺口報(bào)廢面積 ft2 5223.566705.946520.665816.787362.13開(kāi)路缺口報(bào)廢率 % 1.751.421.781.621.431.93曝光不良報(bào)廢面積 ft2 684.9916.85522.93341.94713.31曝光不良報(bào)廢率 % 0.150.190.240.130.080.19重合度報(bào)廢面積 ft2 66.0285.0548.77196.2475.51重合

6、度報(bào)廢率 % 0.050.020.020.010.050.02二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)曝光房每每周普通通板報(bào)廢廢率趨勢(shì)勢(shì)：報(bào)廢率率是工序序最重要要的質(zhì)量量指標(biāo)！二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)B、DES每每周普通通板報(bào)廢廢率趨勢(shì)勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05合格面積ft2 37684.56377048.3401362.3406714.9382405.7AOI殘銅報(bào)廢面積 ft2 294.16182.65141.14163.61180.49AOI殘銅報(bào)廢率 % 0.050.080.050.040.040.05蝕刻過(guò)度報(bào)廢面積

7、ft2 68.87126.8893.86209.3372.55蝕刻過(guò)度報(bào)廢率 % 0.030.020.030.020.050.02蝕刻不凈報(bào)廢面積 ft2 93.1675.1593.75195.02213.32蝕刻不凈報(bào)廢率 % 0.050.030.020.020.050.06疊/卡板報(bào)廢面積 ft2 153.77204.91104.76176.51150.5疊/卡板報(bào)廢率 % 0.050.040.050.030.040.04阻值超標(biāo)報(bào)廢面積 ft2 25.224.319.167.2111.99阻值超標(biāo)報(bào)廢率 % 0.020.020.0030.010.010.01特阻抗不合格報(bào)廢面積 ft2

8、1.262.1511.286.126.12特性阻抗不合格報(bào)廢率 % 0.01000.010.010.01二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)DES每每周普通通板報(bào)廢廢率趨勢(shì)勢(shì)：報(bào)廢率率是工序序最重要要的質(zhì)量量指標(biāo)！二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)C、AOI每周普通通板報(bào)廢廢率趨勢(shì)勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05內(nèi)層余數(shù)合格面積 ft2 37684.56377048.3401362.3406714.9382405.7內(nèi)層余數(shù)報(bào)廢面積 ft2 947.11684.4893.32630.24826.98內(nèi)層余數(shù)報(bào)廢率 % 0.20.260.17

9、0.220.150.22普通板RTV合格面積 ft2109664.75118578.1106612.66111578.1991139.66內(nèi)層短路報(bào)廢面積 ft2 1151.161182.961039.431043.58845.45內(nèi)層短路報(bào)廢率 % 1.11.030.980.960.920.91內(nèi)層開(kāi)路報(bào)廢面積 ft2 315.58342.75259.11355.33253.01內(nèi)層開(kāi)路報(bào)廢率 % 0.30.280.280.240.310.27大點(diǎn)內(nèi)短報(bào)廢面積 ft2 470.68464.88355.18351.66285.59大點(diǎn)內(nèi)短報(bào)廢率 % 0.30.420.380.330.310.3

10、1二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)AOI每周普通通板報(bào)廢率趨勢(shì)勢(shì)：報(bào)廢率率是工序序最重要要的質(zhì)量量指標(biāo)！二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)D、曝光光房每周周HDI報(bào)廢率率趨勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05T/C合格面面ft2 23976.216460.1318264.8816928.613068.4T/C開(kāi)路缺口報(bào)廢面積 ft2 96.75100.552.3369.8455.65T/C開(kāi)路缺口報(bào)廢率 % 0.20.40.60.280.410.42T/C曝光不良報(bào)廢面積 ft2 56.8829.0835.3814.120.85T/C曝光不

11、良報(bào)廢率 % 0.030.240.170.190.080.16電鍍子板合格面面ft2 21183.7916371.2117937.4017177.9112757.86電鍍子開(kāi)路缺口報(bào)廢面積 ft2 218.09307.01382.89527.93258.14電鍍子開(kāi)路缺口報(bào)廢率 % 1.41.031.882.133.072.02電鍍子曝光不良報(bào)廢面積 ft2 13.9840.7442.5421.039.97電鍍子曝光不良報(bào)廢率 % 0.150.070.250.240.120.08電鍍子崩孔報(bào)廢面積 ft2 39.269.0952.7550.6926.6電鍍子崩孔報(bào)廢率 % 0.10.190.4

12、20.290.300.21二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)曝光房每每周HDI報(bào)廢廢率趨勢(shì)勢(shì)：報(bào)廢率率是工序序最重要要的質(zhì)量量指標(biāo)！二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)E、DES每周周HDI板報(bào)廢廢率趨勢(shì)勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05T/C合格面積ft2 23976.216460.1318264.8816928.613068.4T/CAOI殘銅報(bào)廢面積 ft2 9.76.990.221.030.96T/C AOI殘銅報(bào)廢率 % 0.030.040.0400.010.01T/C蝕刻過(guò)度報(bào)廢面積 ft2 8.712.2420.222.212.

13、35T/C蝕刻過(guò)度報(bào)廢率 % 0.010.040.010.110.010.02T/C蝕刻不凈報(bào)廢面積 ft2 0.632.372.710.910.89T/C蝕刻不凈報(bào)廢率 % 0.0200.010.010.010.01電鍍子板合格面積ft2 21183.7916371.2117937.4017177.9112757.86電鍍子板AOI殘銅報(bào)廢面積 ft2 19.0210.3815.9719.5816.45電鍍子板AOI殘銅報(bào)廢率 % 0.10.0600.030.110.13電鍍子板蝕刻過(guò)度報(bào)廢面積 ft2 12.530.615.026.570電鍍子板蝕刻過(guò)度報(bào)廢率 % 0.050.0600.0

14、30.040電鍍子板蝕刻不凈報(bào)廢面積 ft2 6.248.694.997.9223.10電鍍子板蝕刻不凈報(bào)廢率 % 0.200.030.050.030.050.18二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)DES每每周HDI報(bào)廢廢率趨勢(shì)勢(shì)：報(bào)廢率率是工序序最重要要的質(zhì)量量指標(biāo)！二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)F、AOI每周HDI板報(bào)報(bào)廢率趨趨勢(shì)：缺陷目標(biāo)04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05HDI板RTV合格面積 ft2109664.75118578.1106612.66111578.1991139.66內(nèi)層短路報(bào)廢面積 ft2 1151.161182.9610

15、39.431043.58845.45內(nèi)層短路報(bào)廢率 % 1.11.030.980.960.920.91內(nèi)層開(kāi)路報(bào)廢面積 ft2 315.58342.75259.11355.33253.01內(nèi)層開(kāi)路報(bào)廢率 % 0.30.280.280.240.310.27大點(diǎn)內(nèi)短報(bào)廢面積 ft2 470.68464.88355.18351.66285.59大點(diǎn)內(nèi)短報(bào)廢率 % 0.30.420.380.330.310.31二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)AOI每每周HDI報(bào)廢廢率趨勢(shì)勢(shì)：報(bào)廢率率是工序序最重要要的質(zhì)量量指標(biāo)！4/01-074/08-4/144/15-214/22-4/284/29-5/05MRB報(bào)

16、廢率MRB報(bào)廢率MRB報(bào)廢率MRB報(bào)廢率MRB報(bào)廢率開(kāi)路缺口5223.51.426706.541.786520.661.625816.781.437362.131.93曝光不良684.90.19916.850.24522.930.13341.940.08713.310.1966.020.03885.050.0248.770.01196.240.0575.710.02重合度殘銅疊卡板294.160.08182.650.05141.140.04163.610.04180.490.05153.770.04204.910.05104.760.03176.510.04150.50.04二、IDF工序序主

17、要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)普通板主主要缺陷陷柏拉圖圖：主要缺陷陷近期報(bào)報(bào)廢趨勢(shì)勢(shì)：二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)2）、PONC值：PONC（Price of Nonconformance）：不符合要要求的代代價(jià)-指當(dāng)質(zhì)量量不符合合要求時(shí)時(shí)產(chǎn)生的的額外的的費(fèi)用。包括返返工、返返修、趕趕工、報(bào)報(bào)廢、庫(kù)庫(kù)存過(guò)多多、客戶(hù)戶(hù)抱怨及及索賠等等。 工序序PONC=Internal MRBPonc+ ProcessPonc（內(nèi)部報(bào)報(bào)廢產(chǎn)生生的PONC）（返返工產(chǎn)生生的PONC）PONC是公司內(nèi)內(nèi)部除報(bào)報(bào)廢率、一次合合格率之之外衡量量質(zhì)量狀狀況的另另一重要要質(zhì)量數(shù)數(shù)據(jù)。PS：具體見(jiàn)見(jiàn)QA38-質(zhì)量成本本控制二、IDF工序

18、序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)各工序PONC的具體體計(jì)算方方法：各小組列列出影響響工序的的各項(xiàng)不不合格所所引起的的資源的的浪費(fèi)（包括人人數(shù)、時(shí)時(shí)間、返返工數(shù)量量、機(jī)器器水流量量、機(jī)器器功率、單位時(shí)時(shí)間平均均人工、單位物物料消耗耗代價(jià)、水單價(jià)價(jià)、電單單價(jià)、單單位時(shí)間間機(jī)器折折舊等）；根據(jù)公式式計(jì)算：1）人人工費(fèi)用用人數(shù)數(shù)時(shí)間間單位位時(shí)間平平均人工工2）物料料費(fèi)用實(shí)際返返工數(shù)量量/面積積單位位數(shù)量/面積消消耗物料料代價(jià)3）機(jī)器器費(fèi)用時(shí)間單位時(shí)時(shí)間機(jī)器器折舊4）水的的費(fèi)用時(shí)間機(jī)器平平均水流流量水水單價(jià)5）電的的費(fèi)用時(shí)間機(jī)器功功率電電單價(jià)工序PONCMRBPONCProcessPONCMRBPONC工工序報(bào)廢廢面

19、積單位面面積消耗耗所有資資源總和和Process PONC返工數(shù)數(shù)量返返工生產(chǎn)產(chǎn)單元面面積消耗耗的所有有資源總總和二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)07年各各月份IDF工工序PONC目目標(biāo)及實(shí)實(shí)際達(dá)成成情況：MRBPONC07/01 實(shí)際07/02 實(shí)際07/03 實(shí)際07年5月份目標(biāo)07年4月實(shí)際07/01 實(shí)際07/02 實(shí)際07/03 實(shí)際07/04 目標(biāo)07年4月實(shí)際07年5月目標(biāo)IDFT/C3.593.162.642.502.31167.697.7152.5185142.1185RTV2.151.921.881.801.75總計(jì)5.735.074.524.304.06T/C1.141.

20、230.570.500.82子板4.553.302.362.002.69RTV1.841.191.861.801.65總計(jì)7.525.734.794.305.16二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)07年各各月份IDF工工序PONC目目標(biāo)及實(shí)實(shí)際達(dá)成成情況：具體見(jiàn)附附件二、IDF工序序主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)3）、工工序一次次合格率率（線(xiàn)寬3.5mil） 日 期04/2204/2304/2404/2504/26一次合格率 86.2387.7391.4687.9087.59 主要缺陷缺陷率 開(kāi)路缺口針孔6.737.635.777.437.63 殘銅凸起間距小6.434.582.354.135.57 短路2.

21、051.360.691.321.2 曝光不良0.250.120.200.220.37二、IDF工工序主要要質(zhì)量指指標(biāo)4）、E-Test工工序內(nèi)層層開(kāi)短路路缺陷率率：說(shuō)明：E-T工工序外層層開(kāi)短路路數(shù)據(jù)的的分析更更適合于于型號(hào)分分析、而而且對(duì)數(shù)數(shù)據(jù)的分分析一定定要基于于對(duì)問(wèn)題題板缺陷陷原因的的分析判判斷上。 日 期05/0205/0305/0405/0505/06一次合格率 98.3698.597.9198.4398.56 主要缺陷缺陷率內(nèi)層開(kāi)路0.340.250.750.310.23內(nèi)層短路1.061.081.161.070.98大點(diǎn)內(nèi)短0.240.170.180.190.23二、IDF工序序

22、主要質(zhì)質(zhì)量指標(biāo)標(biāo)：5）、重重點(diǎn)客戶(hù)戶(hù)/型號(hào)號(hào)內(nèi)層AOI數(shù)數(shù)據(jù)：A、內(nèi)層層AOI數(shù)據(jù)包包括一次次合格率率、報(bào)廢廢率、以以及缺陷陷形態(tài)分分析；B、內(nèi)層層AOI數(shù)據(jù)可可以在第第一時(shí)間間真實(shí)的的反映出出生產(chǎn)型型號(hào)的缺缺陷及質(zhì)質(zhì)量問(wèn)題題，從而而根據(jù)這這些質(zhì)量量數(shù)據(jù)/信息第第一時(shí)間間對(duì)工序序問(wèn)題點(diǎn)點(diǎn)進(jìn)行查查找和改改善；C、內(nèi)層層常見(jiàn)缺陷陷圖片：三、IDF工序序質(zhì)量數(shù)數(shù)據(jù)分析析及改善善工序的的質(zhì)量數(shù)數(shù)據(jù)分析析和改善善分為兩兩個(gè)方面面：1、工序序常規(guī)缺缺陷質(zhì)量量數(shù)據(jù)分分析和改改善：常常規(guī)缺陷陷的數(shù)據(jù)據(jù)分析，根據(jù)工工序日常常質(zhì)量數(shù)數(shù)據(jù)的變變化來(lái)進(jìn)進(jìn)行判斷斷、分析析、改善善和評(píng)價(jià)價(jià)；此類(lèi)類(lèi)項(xiàng)目的的分析多多數(shù)是通通

23、過(guò)表觀觀確認(rèn)、切片確確認(rèn)等方方法來(lái)確確認(rèn)問(wèn)題題點(diǎn)和改改善思路路。2、工序序異常/重要缺缺陷質(zhì)量量問(wèn)題的的分析和和改善：主要是是對(duì)于工工序異常常批量問(wèn)問(wèn)題和與與板可靠靠性有關(guān)關(guān)的重要要項(xiàng)目進(jìn)進(jìn)行的系系統(tǒng)的專(zhuān)專(zhuān)項(xiàng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)分析和和跟進(jìn)；此類(lèi)項(xiàng)項(xiàng)目的分分析通常常要借助助特殊的的質(zhì)量監(jiān)監(jiān)控點(diǎn)和和物理/可靠性性測(cè)試方方法來(lái)對(duì)對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)結(jié)果進(jìn)行行確認(rèn)。 三、IDF工序序質(zhì)量數(shù)數(shù)據(jù)分析析及改善善故 障原 因解 決 方 法貼膜壓力不夠供氣有問(wèn)題;上下貼膜輪的空隙未調(diào)適當(dāng)。檢查供氣系統(tǒng);調(diào)校上下貼膜輪至適當(dāng)?shù)目障丁０暹M(jìn)入貼膜輪有困難氣壓太高;上下貼膜輪的空隙太窄。調(diào)校至適當(dāng)氣壓;調(diào)校上下貼膜輪至適當(dāng)空隙。貼膜時(shí)氣味濃

24、排氣扇未啟動(dòng);排氣管堵塞;排氣管與機(jī)身連接不良。啟動(dòng)排氣扇;檢查排氣管; 重新接牢排氣管。壓膜后起皺膜過(guò)寬；上下膜不對(duì)稱(chēng)。更換合適的干膜尺寸；上膜時(shí)注意上下卷位置一致。顯影后干膜面多砂孔干膜環(huán)境不清潔，塵埃多；曝光能量過(guò)低。注意保持干膜房清潔；重新調(diào)整曝光能量。 干膜跟板面附著力不夠板面粗化不足或不均勻；貼膜前預(yù)熱不足；貼膜溫度或速度不適當(dāng)；板面污染、氧化；壓膜后靜置時(shí)間不足；壓膜熱輥?zhàn)冃?。調(diào)節(jié)微蝕量；調(diào)節(jié)預(yù)熱溫度；調(diào)校至適當(dāng)?shù)臏囟群退俣?；作水裂點(diǎn)實(shí)驗(yàn)檢查；靜置15min以上；更換熱輥。有殘膠貼膜溫度過(guò)高產(chǎn)生聚合作用；壓膜后或曝光后靜置時(shí)間過(guò)長(zhǎng)；靜置時(shí)接近漏光區(qū)，產(chǎn)生光硬化；顯影段噴嘴堵塞；曝光過(guò)強(qiáng)；顯影液濃度低或顯影速度太快。檢查貼膜設(shè)定溫度和實(shí)際溫度；以不超過(guò)1日為限；遠(yuǎn)離漏光區(qū)；檢查并清潔噴嘴、濾芯；調(diào)至適當(dāng)?shù)钠毓饬?；檢查顯影液濃