多晶截斷機改善建議

多晶截斷機相關(guān)改善建議硅片設(shè)備部審核：方迪山提案人：王文海多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第1頁!目前，公司多晶截斷機存在諸多問題，嚴重影響了生產(chǎn)效率。要解決這些問題，則需要各部門相互配合。2011年12月8日，經(jīng)硅片設(shè)備部、生產(chǎn)部、技術(shù)部、品質(zhì)部就多晶截斷機一系列問題進行探討研究后，一致認為鋸條切割力下降引起的一連串問題。而鋸條切割力下降的原因，有主觀因素也有客觀因素。客觀存在的問題是不能改變的，

但我們可以根據(jù)客觀問題來從主觀上做改變，以適應(yīng)客觀問題。主觀上，部分操作人員違背目前品質(zhì)部、技術(shù)部制定的工藝參數(shù)標準。如進給速率的選擇超出了其參數(shù)可選范圍?？陀^上，主要是多晶錠內(nèi)含有高硬度的雜質(zhì)，而目前工藝參數(shù)是否科學(xué)合理的問題。如鋸條使用是否有規(guī)范指導(dǎo)書；進給速率是否合理等。實際上，鋸條的使用缺乏一個嚴格的管理制度（使用周期，使用記錄跟蹤）！

主觀與客觀的矛盾多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第2頁!現(xiàn)狀經(jīng)觀察和調(diào)查發(fā)現(xiàn)1～13號機切邊皮料、頭雜料（或回爐錠）14～24號機切正常晶料（或回爐錠）80%左右的6005RZ軸承用于1～13#機70%左右的帶輪（磨損、晃動）維修發(fā)生在1～13#機70%左右的主軸承（6310）損壞發(fā)生在1~13#機

95%以上的斷鋸條發(fā)生在1～13#機多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第3頁!通過技術(shù)部得知，多晶棒不同于單晶棒，多晶內(nèi)部含有一定量的雜質(zhì)，而有的雜質(zhì)硬度很高，這對鋸條的損害是不可避免的?？陀^上降低了鋸條切割能力使其向后游走，從而加劇6005軸承、帶輪的損壞等一系列問題。

實際對比，切單晶幾乎不用6005軸承切多晶實際用量超過150個/月（月計劃為50個）軸承緊缺6005軸承作用：當切割力不足鋸條向后走時，可以擋鋸條防止其向后跑出帶輪防止切到導(dǎo)向器鐵塊上，造成卡鋸條或崩斷鋸條所以，6005軸承作用是相當大的！多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第4頁!生產(chǎn)部：

1.嚴格按要求使用鋸條，并對鋸條使用情況進行跟蹤記錄相關(guān)數(shù)據(jù)。技術(shù)部、品質(zhì)部：1.制定鋸條使用規(guī)范2.制定鋸條使用跟蹤情況表，并突擊稽核設(shè)備部：

根據(jù)以上情況及生產(chǎn)部提出的問題做相應(yīng)的設(shè)備改善共同降低設(shè)備故障提高生產(chǎn)效益可行性建議多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第5頁!2.生產(chǎn)部反應(yīng)：帶輪背面污泥無法清除，會卡鋸輪。這是因為原裝帶輪是全實心面的（無開孔），機臺又沒有合理的空間用于清理作業(yè)。導(dǎo)致長期結(jié)垢卡死鋸輪。

改善方法：在實心面上開幾個孔（見圖二），以便于清除污垢。多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第6頁!3.帶輪軸承（6310）更換頻繁，除了切割力不足引起張力過高導(dǎo)致軸承疲勞損壞之外，還有就是端蓋密封方式有缺陷。其密封是采用密封膠密封，每次打膠可能沒打好導(dǎo)致進水或膠太多漏進去等情況，引起軸承磨損和走處圓?，F(xiàn)我設(shè)備準備在端蓋上開槽，采用O型密封圈密封，以提高其密封性能，降低故障率。槽、O型圈改善前改善后O型圈可重復(fù)使用，密封膠只有一次性，此項改善能夠節(jié)省一定費用。多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第7頁!改善前改善后加裝的引水盒回流水引出的水流多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第8頁!報廢的鋸條（調(diào)查）：95%是有裂紋的30%是完全斷裂的切正常晶棒進給速率：規(guī)定18～25mm/min實際有出現(xiàn)28～35mm/min鋸條使用周期：（正常錠）實際切割150～220刀，甚至更高（頭雜邊皮）實際是到切不動為止或是鋸條斷裂規(guī)定切割（正常錠）120～130刀（頭雜邊皮）20～30刀鋸條使用不規(guī)范報廢底線太低，存在巨大安全隱患主觀違背主觀違背調(diào)查發(fā)現(xiàn)多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第9頁!鋸條切割力不足引起的一系列問題新鋸條汰舊后切頭雜切割力下降鋸條受壓斷鋸條帶輪、軸承過載損壞客觀存在的主觀人為提高進給速度造成的切歪晶棒卡鋸條切裂6005RZ軸承帶斜度擠壓隱裂垂直擠壓張力上升張力計損壞變頻器報警或損壞變形因果關(guān)系圖多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第10頁!一、付帶輪的改善1.根據(jù)鋸條切割力不足引起的鋸條向后跑并且始終有一個向后的力F的情況，我設(shè)備部將對付帶輪進行改善，加裝四塊擋板或加工成臺階（見圖一圖二），其作用相當于6005RZ軸承，可以擋鋸條，防止鋸條跳出引起故障。主帶輪付帶輪鋸條床臺晶棒6005RZ軸承導(dǎo)向器F擋板床臺進給方向設(shè)備改善方案（圖一）多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第11頁!改善前改善后改善前后對比方案1方案2孔（φ80）臺階擋板（圖二）多晶截斷機改善建議共14頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第12頁!二.伸縮防護罩經(jīng)常性損壞主要原因是，切割過程中含硅粉的污水浸到防護罩上，生產(chǎn)人員未及時清理又在其上面堆放晶塊造成防護罩受力不平衡，左右行走不一致造成的損壞。另，機臺上有個小缺點：排水口在防護罩之上，大量污水直排到防護罩上。針對這一缺點，我設(shè)備部將對其進行必要的改善。

1.生產(chǎn)人員要經(jīng)常對防護罩進行清理

2.設(shè)備部將對排水道進行加長，防止水直接流到防護罩上。

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