多晶硅殘液廢氣處理教義

二期殘液培訓(xùn)講義星盛煜一、廢氣廢液中成份及處理原理1.廢液、廢氣組織成分廢液主要是氯硅烷（二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅）廢液中主要是氯硅烷（二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅）還有H2、N2、HCL。2.處理原理利用含氯硅烷廢氣廢液的物理及化學(xué)特性，與水發(fā)生激烈的水解反應(yīng)，生成SiO2，HCL氣及H2并放出一定熱量，HCL氣又極易溶于水中成鹽酸。3.水解反應(yīng)式SiCL4＋3H2O＝SiO2·H2O＋4HCLSiHCL3＋3H2O＝SiO2·H2O＋3HCL＋H2↑SiH2CL2＋3H2O＝SiO2·H2O＋2HCL＋H2↑二、工藝流程闡述

1.噴淋水解：各車間來廢氣、廢液分別進(jìn)入廢氣（V1203AB、V1204AB)、廢液（V1201AB）緩沖罐，用N2壓送廢氣、廢液進(jìn)入廢氣淋洗首塔（T1204A-T1220A），廢液淋洗塔（T1201A-T1203A)，經(jīng)淋洗塔三層噴淋水順流噴淋（共45m3/h），使首塔未水解的氯硅烷進(jìn)一步水解生成SiO2和HCL溶于水，隨噴淋水從末塔底排入噴淋池（V1205AB），H2、N2及極微量的HCL氣淋洗末塔塔頂排風(fēng)管進(jìn)入安全液封罐（V1208A-T)由其排風(fēng)管升至15米高空排入大氣。

2.SiO2泡沫處理

廢氣、廢液淋洗水解后產(chǎn)生SiO2泡沫及HCL溶液隨噴淋水由塔底流入噴淋池，溢流至吸泥刮沫池（V1206AB）池上設(shè)置的吸泥刮板機(jī)（J1101AB），將浮在池中液面上的SiO2泡沫刮至沫子攪拌槽及池底的SiO2吸入三溜槽流入沫子攪拌槽（V1207AB），經(jīng)攪拌均勻后經(jīng)污泥泵（P1201AB、P1202AB）打至污泥濃縮池（V1211A-E），濃縮后用氣動(dòng)隔膜泵（P1216A~P1220A-C)打至箱式壓濾機(jī)（T1211A-C~J1215A-C)過濾，渣成含水70%的SiO2并卸到皮帶輸送機(jī)（J1216A-E和J1217AB），送入10m3自動(dòng)卸泥斗（V1214A-C)，定期用汽車?yán)炼逊艌?chǎng)或外運(yùn)。

3.HCL酸性液處理

為改善噴淋水的質(zhì)量，本處理裝置設(shè)HCL酸性液處理：HCL酸性液由吸泥刮沫池（V1206AB)底部流入中和池（V1208AB），攪拌后溢流入槽流至沉淀掛沫池（V1221AB）視狀況可向溢流流槽中加適量的石灰乳中和（目的是減少SiO2泡沫），沉淀掛沫池液面上的SiO2泡沫及池底的沉淀物由設(shè)置在地上的吸泥刮板機(jī)（J1221AB),送入污泥濃縮池（V1211A-E），歸入SiO2渣過濾系統(tǒng)一并處理。沉淀掛沫池中液體流入二個(gè)沉淀清水（V1212AB），池中設(shè)二道過濾網(wǎng)5~10目（濾去溶液中＞3mm的粒子）經(jīng)過濾網(wǎng)后流入清水回用池（V1214）。4.噴淋水淋洗塔的噴淋水由噴淋水泵（P1211A-C~P1215A-C)抽取清水回用池（V1214）的水打至淋洗首末塔中上部三個(gè)不同高度進(jìn)入塔內(nèi)，進(jìn)行噴淋。5.為使系統(tǒng)溶液中HCL濃度小于2%，則需每小時(shí)外排400m3，外排方式a噴淋池底部預(yù)埋管通過一期的廢水池流入污水管網(wǎng)到廢水站，可能量不夠，還需用外派泵（P1203AB）打至管廊污水管送至污水站。三、裝置調(diào)試啟動(dòng)步驟1.打掃整個(gè)系統(tǒng)的池內(nèi)雜物。2.向清水回用池內(nèi)注入（上水回用水、脫鹽水等）。3.用噴淋水泵抽清水回用池內(nèi)水打至淋洗塔，逐臺(tái)塔泵進(jìn)行。目的：1）、看泵帶負(fù)荷運(yùn)行是否正常；2）、檢查輸液管道、閥門是否有漏點(diǎn)，若有及時(shí)處理，泵及管道逐并逐條進(jìn)行；3）、看塔內(nèi)噴淋狀況，直至整個(gè)系統(tǒng)池內(nèi)水位達(dá)到正常位置。4.廢氣、廢液系統(tǒng)的緩沖罐、管道安裝完畢后，經(jīng)系統(tǒng)安裝檢查與壓力試驗(yàn)，吹掃試驗(yàn)及氣密試驗(yàn)，確保整個(gè)系統(tǒng)無漏線，方可投入試生產(chǎn)。5.淋洗塔進(jìn)廢氣廢液前先打淋洗水進(jìn)口閥，再打廢氣或廢液進(jìn)口閥，使淋洗塔開始正常工作。完謝謝四、設(shè)備操作規(guī)程

1.淋洗塔1.1淋洗塔啟動(dòng)1.1.1檢查需啟動(dòng)的塔及安全液封罐設(shè)備及進(jìn)出口管道是否完好、暢通。1.1.2開啟N2氣閥置換塔體的氣體。1.1.3打開噴淋水閥，啟動(dòng)噴淋水泵。1.1.4啟動(dòng)吸泥刮板機(jī)和污泥攪拌裝置及泵。1.1.5開啟廢氣、廢液進(jìn)口閥，同時(shí)關(guān)閉N2閥，塔正常工作。

1.2淋洗塔正常運(yùn)行

1.2.1定期檢查氣液進(jìn)口閥門是否完好，是否開啟在正常位置。1.2.2定期檢查管道是否有淺漏點(diǎn)并及時(shí)處理。1.2.3根據(jù)運(yùn)行時(shí)塔排出的氣體狀況及塔底排出SiO2泡沫的量，判斷噴頭工作狀況，定期檢查噴頭阻塞狀況，定期清理。1.2.4保持塔周圍的環(huán)境清潔。

1.3淋洗塔停行1.3.1關(guān)閉廢氣、廢液進(jìn)口閥并開啟N2閥。1.3.2停噴淋泵，關(guān)閉噴淋水進(jìn)口閥。1.3.3如全線行車大修，則停吸泥刮板機(jī)和污泥攪拌機(jī)。2、吸泥刮板機(jī)

3、各類攪拌裝置3.1啟動(dòng)3.1.1啟動(dòng)前檢查變速箱油位是否正常，聯(lián)軸器是否松動(dòng)。3.2啟動(dòng)運(yùn)行與停車3.2.1池槽內(nèi)的液位達(dá)到池槽內(nèi)2/3高度時(shí)才能啟動(dòng)攪拌。3.2.2啟動(dòng)時(shí)先點(diǎn)動(dòng)正常再正常啟動(dòng)。3.2.3運(yùn)行時(shí)經(jīng)常注意檢查攪拌軸轉(zhuǎn)動(dòng)是否穩(wěn)定，油位的變化、電機(jī)及變速箱溫度是否有異聲，如有異常聲音或有電機(jī)發(fā)熱等狀況出現(xiàn)時(shí)應(yīng)停機(jī)檢查。3.2.4停車只需按停止按鈕。

4、各類離心水泵4.1啟動(dòng)、運(yùn)行、維護(hù)4.1.1試運(yùn)行前應(yīng)先用手盤動(dòng)聯(lián)軸器或軸，檢查轉(zhuǎn)向是否正確，運(yùn)轉(zhuǎn)是否靈活，如盤不動(dòng)或有異常聲音，應(yīng)及時(shí)檢查，檢查時(shí)先從外部用手檢查聯(lián)軸器是否水平，從軸承座上的油鏡的中心線附近（太多應(yīng)放掉一些，太少應(yīng)加上一些），邊檢查邊盤動(dòng)，如果問題依然存在，就要拆泵檢