半導(dǎo)體器件 機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法 第28部分：靜電放電（ESD）敏感度測(cè)試 充電模型（CDM） 器件級(jí) 編制說(shuō)明

《半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法第28部分：靜電放電（ESD）敏感度測(cè)試充電模型（CDM）器件級(jí)》（征求意見(jiàn)稿）編制說(shuō)明《半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法第28部分：靜電放電（ESD）敏感度測(cè)試充電模型（CDM）器件級(jí)》標(biāo)準(zhǔn)制定是2023年12月28日下達(dá)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃全國(guó)半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC78）歸口，主要承辦單位為中電國(guó)基北方有限公司,副主編單位為河北北芯半導(dǎo)體科技有限公司、工業(yè)和信息化部的損傷90%屬于隱性損傷，很難通過(guò)技術(shù)手段發(fā)現(xiàn)。且隨著電子產(chǎn)品的廣泛使最初半導(dǎo)體器件的靜電放電（ESD）采用人體放電模型（HBM），隨著自動(dòng)本標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)半導(dǎo)體器件的帶電模型（CDM）靜電放電（ESD）所造成損傷或的標(biāo)準(zhǔn)程序。這將對(duì)評(píng)價(jià)和考核半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和可靠性有重要作用，促進(jìn)3.12024.01～2024.02牽頭單位廣泛征集參編單位，成立了編制組。編制組成員包括檢驗(yàn)試驗(yàn)管理人員、長(zhǎng)期從事靜電放電敏感度測(cè)試的技術(shù)研究人員和試驗(yàn)成員，以及具有多年國(guó)標(biāo)編制經(jīng)驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)化專(zhuān)家。編制組成員明確了3.22024.03～2024.04編制組對(duì)相關(guān)領(lǐng)域的論文、產(chǎn)品手冊(cè)等資料進(jìn)行本標(biāo)準(zhǔn)為半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法標(biāo)準(zhǔn)，屬于基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)編寫(xiě)為保證半導(dǎo)體器件試驗(yàn)方法與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)一致，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件檢驗(yàn)方法、本標(biāo)準(zhǔn)包含以下部分：“1范圍”、“2規(guī)范性引用文件”、“3術(shù)語(yǔ)和測(cè)試機(jī)場(chǎng)板介質(zhì)上驗(yàn)證模塊（金屬圓片）的小封裝集成電路和分立半導(dǎo)體（ICDS）的測(cè)試”、“附錄D（資料性）CDM通過(guò)對(duì)比與試驗(yàn)驗(yàn)證，未發(fā)現(xiàn)IEC60749-28:20224、編制過(guò)程中解決的主要問(wèn)題（做出的貢獻(xiàn)）確保標(biāo)準(zhǔn)的科學(xué)性和先進(jìn)性。在編制過(guò)程中，充分聽(tīng)取各方的意見(jiàn)與建議，保證標(biāo)準(zhǔn)的公正性與可行性。修正了原標(biāo)準(zhǔn)中的一些編輯性錯(cuò)誤，確保標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)三、試驗(yàn)驗(yàn)證的分析、綜述報(bào)告，技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證，預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效益、社會(huì)試平臺(tái)均通過(guò)計(jì)量，滿(mǎn)足測(cè)試方法對(duì)設(shè)備參數(shù)的要求。如圖1所示的為在ETP-2_HBM/ETP-2_MM/E下步驟進(jìn)行:a)將被測(cè)器件放置在靜電發(fā)生器操作平臺(tái)上，電場(chǎng)板頂部的電介質(zhì)直接d)每完成一個(gè)分組的靜電等級(jí)的測(cè)試，則使用參數(shù)測(cè)試機(jī)臺(tái)對(duì)樣品電參稱(chēng)片4.試驗(yàn)數(shù)據(jù)的制定基于A(yíng)NSI/ESDA/JEDECJS-002-2018。AN述了場(chǎng)致（FI）方法。而本標(biāo)準(zhǔn)附錄J中描述了另一種直接接觸（DC）方法（非五、以國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)為基礎(chǔ)的起草情況，以及是否合規(guī)引用或者采用國(guó)際國(guó)外器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法第28部分：靜電放電（ESD）敏感度測(cè)試充電模型c）修正了4.1.2節(jié)中的“1.0±10%”正負(fù)號(hào)下方的出現(xiàn)的下劃線(xiàn)編輯性錯(cuò)g）刪除了第3章中的“ISO和IEC在以下地址維護(hù)用于標(biāo)準(zhǔn)化的術(shù)語(yǔ)數(shù)據(jù)h）第7表3中的“分級(jí)測(cè)試條件”后面增加了電壓符號(hào)“U——第27部分:靜電放電(ESD)敏感度測(cè)試機(jī)）；九、實(shí)施國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的要求，以及組織措施、技術(shù)措施、過(guò)渡期和