印刷電子設(shè)備 接觸式印刷剛性母版 第一部分：印版外形尺寸的測量方法 征求意見稿

1印刷電子設(shè)備接觸式剛性印版第一部分：印版外形尺寸測量方法3.13.2印版的幾何定義geometricaldefiniti3.33.423.53.63.73.83.93.103.113.123.133.14印版基材的平面度flatnessofplate3平面度截止波長flatnesscut-off3.15az3.1643.17粗糙度截止波長roughnesscut-offwave4印版幾何尺寸的測量方法4.2.1測量儀器54.2.2邊緣長度測量f)使用公式（1）計算橫向（CD）邊長和縱向（MD注：W和L分別是標(biāo)準(zhǔn)試樣的寬度和長度，分別代表橫向（CD4.2.2.2報告64.2.3邊緣垂直度b)如圖4所示，將兩個比較儀（例如千分表）4.2.3.2報告——以0.1°為單位展示結(jié)果。4.2.4邊緣直線度測量4.2.4.1總則7b)將直線度標(biāo)準(zhǔn)試樣與直線導(dǎo)軌臺系統(tǒng)的運動方向平e)將印版的待測邊緣與比較儀靠緊，使f)在直線導(dǎo)軌臺的每個xi位置處測量比較儀的數(shù)值(g)根據(jù)數(shù)據(jù)集{(x1,y1,2?y1,1),…,(xi,yi,2?yi,1),…,(xn,yn,2?yn,1)}計算該邊緣的近似直線（采 h)獲取邊緣點偏差數(shù)據(jù)集{Δy1,Δy2, Δyi=(yi,2?yi,1)?mxi?b( 4.2.4.3報告84.2.5厚度a)將厚度標(biāo)準(zhǔn)試樣放置在平面上并夾緊：厚度標(biāo)準(zhǔn)試樣的邊長無需與印版的邊長相等。4.2.5.2報告4.3.1測量儀器a)測量儀器的精度c)通過最小二乘法擬合計算坐標(biāo)測量機（CMM）坐標(biāo)系中四條邊緣的直線g)根據(jù)三個頂點來計算橫向（CD）邊長（LCD）以9j)通過用Hp減去HF來計算印版的厚度。4.3.3報告——以0.1°為單位提供測得的邊緣垂直度?！⒚鳒y量儀器的精度?！⒚鳒y量溫度以及測量過程中的溫度變化情況。5.1.1方法——觸針尖端形狀：球形?！獍咧睆剑河捎脩艉凸?yīng)商商定。5.1.4校準(zhǔn)應(yīng)根據(jù)需要提供溫度控制和隔音/隔振措施，以獲得無——測量長度：由用戶和供應(yīng)商商定。——采樣間隔：由用戶和供應(yīng)商商定?！吮荛_有圖案的區(qū)域。c)利用平面度截止波長對實際輪廓應(yīng)用濾波器，通過去g)針對每條輪廓計算輪廓參數(shù)（Ra，Rz，Rmax）。Pi是輪廓長度范圍內(nèi)的第it?個最高峰；5.3報告RaRmaxRzMD掃描#*b)以微米(μm）為單位展示平面度測量結(jié)果，并將結(jié)果四舍五入至0.5的倍數(shù)（見表2）。RaRmaxRz——測量儀器：儀器類型、制造商名稱和型號、觸針半徑和測量力?！獪y量條件：輪廓濾波器、平面度截止波長、測量位置、測量長度、采樣間隔、測量溫度和測——觸針尖端形狀：球體?！獍咧睆剑河捎脩艉凸?yīng)商商定。應(yīng)根據(jù)需要提供溫度控制和隔音/隔振措施，以獲得無——掃描區(qū)域：由用戶和供應(yīng)商商定?！蓸娱g隔：由用戶和供應(yīng)商商定?！獦颖镜闹行奈恢??！挥诙ㄏ蚪莾蛇厓?nèi)側(cè)20mm處的點。c)對實際輪廓應(yīng)用二維高通截止波長濾波器，以獲取表面粗糙度輪廓。d)計算表面粗糙度參數(shù)（zrms,Rmax,Rz）。zrms=1/2··························································Rmax=P1?V1··································································································Vi