GB∕T 25915.2-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

?ICS13.040.35

CCSC70

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T25915.2—2021/ISO14644-2：2015

代替GB/T25915.2—2010

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第2部分:潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part2:Monitoringto

provideevidenceofcleanroomperformancerelatedtoair

cleanlinessbyparticleconcentration

(ISO14644-2：2O15,IDT)

2021-08-20發(fā)布

2022-03-01實(shí)施

GB/T25915.2—2021/ISO14644-2：2015

目次

MW E

弓IW V

1范圍 1

2規(guī)范性引用文件 1

3術(shù)語和定義 1

4監(jiān)測計(jì)劃的制定、執(zhí)行及持續(xù)改進(jìn) 2

5按粒子濃度定期劃分空氣潔凈度 3

附錄A（資料性）制定監(jiān)測計(jì)劃考慮事項(xiàng) 4

附錄B（資料性）設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值的考慮事項(xiàng) 7

鈴嫌 11

GB/T25915.2—2021/ISO14644-2：2015

-IX, —1—

刖 目

本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。

本文件是GB/T25915《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》的第2部分。GB/T25915已經(jīng)發(fā)布了以下部分：——第1部分:按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級；

——第2部分:潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測；

——第3部分:檢測方法；

——第4部分:設(shè)計(jì)、建造、啟動；

——第5部分:運(yùn)行；

——第6部分:詞匯；

——第7部分:隔離裝置（潔凈風(fēng)罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境）；

——第8部分:按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度（ACC）等級；

第9部分:按粒子濃度劃分表面潔凈度等級；

——第10部分:按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級；

——第12部分:監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求。

本文件代替GB/T25915.2-2010《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：證明持續(xù)符合GB/T25915.1的檢測與監(jiān)測技術(shù)條件》，與GB/T25915.2—2010相比，主要技術(shù)變化如下：

a） 修改了范圍（見第1章,2010年版的第1章）；

b） 術(shù)語和定義中只保留了原來的檢測、監(jiān)測2個術(shù)語，刪除了其他6個（見2010年版的第3章），增加了干預(yù)值、預(yù)警值2個術(shù)語（見）；

c） 將“持續(xù)達(dá)到要求的證明”修改為“監(jiān)測計(jì)劃的制定、執(zhí)行及持續(xù)改進(jìn)”（見第4章,2010年版的第4章）；

d） 增加了“按粒子濃度定期劃分空氣潔凈度”（見第5章）。

本文件等同采用ISO14644-2：2015?潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分:潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。

本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC319）提出并歸口。

本文件起草單位:中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司、江蘇嘉合建設(shè)有限公司、天津泰達(dá)潔凈材料有限公司、深圳市麗風(fēng)凈化工程有限公司、蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司、中國電子工程設(shè)計(jì)院有限公司、陜西中電精泰電子工程有限公司、派歐尼爾環(huán)境凈化工程（北京）有限公司、北檢潤和（北京）技術(shù)服務(wù)有限公司、天俱時工程科技集團(tuán)有限公司、蘇州蘇凈儀器自控設(shè)備有限公司、天津大學(xué)、中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會、中國建筑科學(xué)研究院有限公司、上海市室內(nèi)環(huán)境凈化行業(yè)協(xié)會、廣東省潔凈技術(shù)行業(yè)協(xié)會、蘇州華泰空氣過濾器有限公司、深圳市朗奧潔凈科技股份有限公司、上海市食品藥品包裝材料測試所、廣東省實(shí)驗(yàn)動物監(jiān)測所、上海中增科教設(shè)備有限公司、深圳市君信達(dá)環(huán)境科技股份有限公司、上海譽(yù)凈環(huán)?？萍加邢薰?、廣州市微生物研究所有限公司、靈匯機(jī)電工程（杭州）有限公司、廣西華原過濾系統(tǒng)股份有限公司、佛山市順德區(qū)阿波羅環(huán)保器材有限公司、廣東富瑞?？諝鈨艋^濾制品有限公司。

本文件主要起草人:施紅平、王大千、劉俊杰、馮昕、龍軍、王苑、謝敬偉、車玉伶、夏薇佳、吳志堅(jiān)、吳巍、王芳、張仲杰、王輝、耿文韜、王蓉、周占磊、童廣才、邱濟(jì)夫、黃韌、魏佳鳴、姚增玉、廖志銘、詹煉、

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王華、張玉華、明飛平、程北川、于天、朱吉興、鄒再彬。本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為:—2010年首次發(fā)布為GB/T25915.2—2010； 本次為第一次修訂。

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GB/T25915.2—2021/ISO14644-2：2O15

GB/T25915是采用ISO14644系列國際標(biāo)準(zhǔn)，各部分設(shè)置與國際標(biāo)準(zhǔn)保持一致，擬由15個部分構(gòu)成。

——第1部分:按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級。目的是區(qū)分粒子污染程度。

——第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測。目的是指導(dǎo)監(jiān)測粒子污染，以避免可能產(chǎn)生的污染風(fēng)險。

——第3部分:檢測方法。目的是指導(dǎo)對潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測。

——第4部分:設(shè)計(jì)、建造、啟動。目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計(jì)、建造、啟動。

——第5部分:運(yùn)行。目的是指導(dǎo)潔凈室的運(yùn)行。

——第6部分:詞匯。目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語。

第7部分:隔離裝置(潔凈風(fēng)罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境)。目的是提出潔凈室用隔離裝置的基本要求。

——第8部分:按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度(ACC)等級。目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度?！?部分:按粒子濃度劃分表面潔凈度等級。目的是區(qū)分表面粒子污染程度。

——第10部分:按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級。目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度。

一第12部分:監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求。目的是提出納米級別的粒子污染的檢測要求。

一第13部分:達(dá)到粒子和化合潔凈度要求的表面清潔。目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險。

一第14部分:按粒子污染濃度評定設(shè)備適用性。目的是通過對相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子污染的測試，確定設(shè)備的適合性。

一第15部分:按化學(xué)污染物濃度評定設(shè)備及材料的適合性。目的是通過對相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生化學(xué)污染的測試，確定設(shè)備的適合性。

——第16部分:提高潔凈室和空氣凈化裝置能效。目的是節(jié)約潔凈室運(yùn)行的能源消耗。

還要注意GB/T25916《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境生物污染控制》：

——第1部分:一般原理和方法；

——第2部分:生物污染報告的評估與分析。

除了首次或者定期按照GB/T25915.1—2021進(jìn)行潔凈室或者潔凈區(qū)分級之外，本文件強(qiáng)調(diào)需要考慮監(jiān)測策略。監(jiān)測將提供一個涵蓋所有時間的持續(xù)數(shù)據(jù)流程，從而提供該裝置性能更詳細(xì)的視圖。通過監(jiān)測獲得的潛在好處包括：

——對不良事件和狀況的反應(yīng)更快；

——能夠根據(jù)不同時間的數(shù)據(jù)確定趨勢；

——對從多臺儀器獲得數(shù)據(jù)進(jìn)行整合；

——增強(qiáng)安裝和過程知識，從而進(jìn)行更有效的風(fēng)險評估；

一提高對運(yùn)營成本和產(chǎn)品損耗的控制。

本文件根據(jù)預(yù)定用途的風(fēng)險評估確定監(jiān)測計(jì)劃的要求。獲得的數(shù)據(jù)提供了潔凈室或潔凈區(qū)的性能V

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（與根據(jù)粒子濃度確定的空氣潔凈度相關(guān)）證據(jù)。

在某些情況下，相關(guān)監(jiān)管機(jī)構(gòu)可以提出增補(bǔ)政策、要求或者限制條件。在這些情況下，監(jiān)測程序可能需要適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。在最初的監(jiān)測計(jì)劃得以確定并實(shí)施之后，當(dāng)安裝或者工藝要求發(fā)生顯著變更時，可能需要修改監(jiān)測計(jì)劃。同時，基于獲得的數(shù)據(jù)和使用經(jīng)驗(yàn)，謹(jǐn)慎地定期審核監(jiān)測計(jì)劃。

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潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第2部分:潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

1范圍

本文件規(guī)定了監(jiān)測計(jì)劃的基本要求。這個監(jiān)測計(jì)劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或?qū)ζ溆杏绊懙钠渌麉?shù)，監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。

本文件適用于粒徑0.1 ?5Mm粒子濃度的監(jiān)測。

本文件不適用于振動或工程系統(tǒng)一般維護(hù)等監(jiān)測。超細(xì)粒子（小于0.1|^111的粒子）濃度的監(jiān)測，將在另一個標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

GB/T25915.1-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級（ISO14644-1：2015,MOD）

注：GB/T25915.1—2021被引用的內(nèi)容與ISO14644-1：2015被引用的內(nèi)容沒有技術(shù)上的差異。

3術(shù)語和定義

GB/T25915.1-2021界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

檢測test

為確定設(shè)施或其某個組成部分的性能，按規(guī)定方法實(shí)施的程序。

3.2

監(jiān)測monitoring

為證明設(shè)施性能，按規(guī)定的方法和計(jì)劃進(jìn)行的測量。

注1:監(jiān)測可以是連續(xù)的、間歇的或定期的，如是定期的，要規(guī)定頻度。

注2:監(jiān)測信息可用于動態(tài)趨勢的觀察，提供過程支撐。

3.3

干預(yù)值actionlevel

用戶設(shè)定的參數(shù)值，當(dāng)超過該值時，需要立即干預(yù)，查明原因并采取糾正措施。

3.4

預(yù)曹值alertlevel

用戶設(shè)定的參數(shù)值，偏離正常條件時可給出早期預(yù)警。當(dāng)超過該值時，宜加強(qiáng)關(guān)注或采取糾正措施。

4監(jiān)測計(jì)劃的制定、執(zhí)行及持續(xù)改進(jìn)

4.1說明

為了確保潔凈室或潔凈區(qū)性能良好、粒子濃度達(dá)到控制要求并有良好的空氣潔凈度，應(yīng)制定、執(zhí)行并持續(xù)改進(jìn)監(jiān)測計(jì)劃。

監(jiān)測計(jì)劃應(yīng)考慮所要求的空氣潔凈度水平、關(guān)鍵位置以及對潔凈室和潔凈區(qū)設(shè)施性能有影響的因素。在制定、執(zhí)行并持續(xù)改進(jìn)監(jiān)測計(jì)劃時，應(yīng)包括下列步驟：

——使用適當(dāng)?shù)娘L(fēng)險評定方法來了解、評估、記錄不良污染事件的風(fēng)險；

——制定書面監(jiān)測計(jì)劃；

——審核并批準(zhǔn)監(jiān)測計(jì)劃；

——進(jìn)行監(jiān)測以執(zhí)行計(jì)劃；

一對監(jiān)測活動中獲取的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，需要時進(jìn)行趨勢分析并報告潔凈室和潔凈區(qū)的性能；~~一實(shí)施并記錄采取的措施或糾正措施；

——定期審核監(jiān)測計(jì)劃。

按監(jiān)測計(jì)劃測出的空氣中粒子濃度，可能高于靜態(tài)測試的濃度。受在場人員數(shù)量、風(fēng)量、通風(fēng)效果、儀器或機(jī)器運(yùn)行、相鄰空間活動等因素的影響，測得的數(shù)值可能起伏較大。

對工藝本身就產(chǎn)生粒子、且這些粒子對工藝或產(chǎn)品不形成威脅的，可不監(jiān)測動態(tài)的粒子濃度，而進(jìn)行定期靜態(tài)分級測試或模擬運(yùn)行情況的動態(tài)分級測試。其他影響性能和潔凈度的參數(shù)仍可進(jìn)行監(jiān)測。

4.2風(fēng)險評估

風(fēng)險評估是識別出危險并對接觸危險的風(fēng)險進(jìn)行分析和評估的系統(tǒng)性過程。

風(fēng)險評估應(yīng)實(shí)現(xiàn)以下目標(biāo)：

一確定可能影響潔凈室或潔凈區(qū)保持其空氣潔凈度能力的因素（該潔凈度是按粒子濃度劃分的），從而制定出監(jiān)測計(jì)劃；

——確定可證明性能的監(jiān)測要求。

風(fēng)險評估考慮事項(xiàng)見附錄A。

4.3監(jiān)測計(jì)劃

4.3.1監(jiān)測計(jì)劃應(yīng)考慮風(fēng)險評估的結(jié)果。

制定監(jiān)測計(jì)劃時，應(yīng)至少包括4.3.2?4.3.13中所述的要素。

4.3.2列出所有要監(jiān)測的參數(shù)并證明其合理性，包括可能影響空氣中粒子濃度的參數(shù)。

4.3.3說明測量方法并證明其合理性，對制定監(jiān)測計(jì)劃需要考慮的事項(xiàng)見附錄A。

4.3.4監(jiān)測儀器的準(zhǔn)確度、維護(hù)、校準(zhǔn)。

4.3.5標(biāo)識所選監(jiān)測位置并說明合理性。監(jiān)測位置應(yīng)用三維坐標(biāo)描述。

4.3.6對監(jiān)測合格的標(biāo)準(zhǔn)或限值的識別與其合理性，包括設(shè)定單個報警值，或設(shè)定預(yù)警值、干預(yù)值兩個報警值，但至少要設(shè)定干預(yù)值。設(shè)定預(yù)警值可給出性能偏離的早期預(yù)警。預(yù)警值、干預(yù)值的設(shè)置見附錄B。

4.3.7數(shù)據(jù)超出規(guī)定限值的應(yīng)對措施的技術(shù)要求。

4.3.8按GB/T25915.1—2021中5.1的規(guī)定定期劃分潔凈室或潔凈區(qū)空氣潔凈度（按粒子濃度）的需要與頻度。

2

4.3.9數(shù)據(jù)記錄格式。

4.3.10數(shù)據(jù)趨勢分析或其他分析所用方法，包括統(tǒng)計(jì)方法。

4.3.11對報告的要求。

4.3.12對記錄留存的規(guī)定和所用介質(zhì)。

4.3.13審核監(jiān)測計(jì)劃的頻度。

注：對監(jiān)測計(jì)劃要定期審核，并依據(jù)從中獲取的潔凈室或潔凈區(qū)的情況，修改監(jiān)測計(jì)劃。

4.4校準(zhǔn)

監(jiān)測所用儀器應(yīng)滿足監(jiān)測工作要求，應(yīng)具備有效的校準(zhǔn)證書，校準(zhǔn)頻度和方法應(yīng)滿足現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)要求。

粒子計(jì)數(shù)器的校準(zhǔn)頻度和方法如ISO21501-4的規(guī)定。

注：粒子計(jì)數(shù)器無法全部按ISO21501-4的要求進(jìn)行校準(zhǔn)時，在監(jiān)測計(jì)劃中記錄將該計(jì)數(shù)器用于監(jiān)測的決定。4.5審核與批準(zhǔn)

監(jiān)測計(jì)劃應(yīng)經(jīng)審核與批準(zhǔn)。

4.6監(jiān)測過程中出現(xiàn)偏差的應(yīng)對措施

如監(jiān)測結(jié)果超過規(guī)定限值，應(yīng)進(jìn)行調(diào)查以找出原因。需要時采取補(bǔ)救措施。

如補(bǔ)救措施對設(shè)施和（或）其運(yùn)行有較大改動，應(yīng)按GB/T25915.1—2021進(jìn)行分級測試。且監(jiān)測計(jì)劃也應(yīng)根據(jù)設(shè)施和（或）其運(yùn)行的改動而重新進(jìn)行審核。

當(dāng)分級級別達(dá)到要求時，可恢復(fù)監(jiān)測。

5按粒子濃度定期劃分空氣潔凈度

每年應(yīng)按GB/T25915.1-2021進(jìn)行級別檢測。但這個頻度可根據(jù)風(fēng)險分析、監(jiān)測情況、數(shù)據(jù)一直符合監(jiān)測計(jì)劃中規(guī)定的合格限值或水平等予以延長。

注：GB/T25915.3規(guī)定了壓差、氣流等潔凈室其他性能參數(shù)的測試要求。

附錄A

(資料性)

制定監(jiān)測計(jì)劃考慮事項(xiàng)

A.1風(fēng)瞼評估

A.1.1選擇合適的風(fēng)險評估方法

可采用一系列工具(單獨(dú)或組合使用)進(jìn)行風(fēng)險評估，包括但不限于:——危害分析臨界控制點(diǎn)(HACCP);

——故障模式與影響分析(FMEA/FMECA)；

——風(fēng)險預(yù)分析(PHA)；

——事故樹分析法(ETA);

——危險與可操作性分析(HAZOP)。

A.1.2要監(jiān)測的性能與運(yùn)行條件的定義

相關(guān)因素可能有：

一了解潔凈室或潔凈區(qū)關(guān)鍵位置上，或在潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)對總的空氣潔凈度有代表性的位置上，污染源及其對工作的影響；

——諸如壓差、氣流均勻性、風(fēng)量、通風(fēng)效果、溫度、相對濕度等可能影響潔凈度水平的設(shè)施指標(biāo)； 正常運(yùn)行模式與節(jié)能運(yùn)行模式；

——靜態(tài)與動態(tài)；

——如換班等占用狀態(tài)和活動強(qiáng)度。

A.2一般事項(xiàng)

A.2.1 A.2.2?A.2.21中說明的一般事項(xiàng)，宜在制定計(jì)劃時考慮。

A.2.2包括人工測試和(或)自動監(jiān)測在內(nèi)的測試技術(shù)。

A.2.3測量系統(tǒng)的分辨率、準(zhǔn)確度、校準(zhǔn)要求，其中包括使用空氣粒子計(jì)數(shù)器時采集系統(tǒng)的效率和限制條件。

A.2.4監(jiān)測系統(tǒng)組成部分的位置，其中包括維護(hù)和校準(zhǔn)通道的要求。

A.2.5儀器或采樣探頭的位置、形式、朝向。

A.2.6為探測偏離事件進(jìn)行測量或采樣的頻度。

A.2.7對可能影響監(jiān)測系統(tǒng)或所得結(jié)果方面的考慮，其中至少包括溫度、濕度、清潔步驟和清潔劑、熏蒸劑、產(chǎn)品材料或工藝危險、熱表面可能產(chǎn)生的對流空氣的來源等。

A.2.8采樣系統(tǒng)對工藝或工藝環(huán)境可能產(chǎn)生的不利影響方面的考慮(例如，在小型密閉環(huán)境中粒子計(jì)數(shù)器抽取采樣空氣的流量可能產(chǎn)生的效果)。

A.2.9“發(fā)煙測試”、計(jì)算機(jī)氣流模擬等氣流可視化研究的結(jié)果。

A.2.10了解潔凈室或潔凈區(qū)中通風(fēng)的效果，因其可能受到如換氣次數(shù)、對自凈時間或清潔時間的研究或?qū)諝庵辛Ｗ尤コ实难芯康鹊挠绊憽?/p>

A.2.11在清潔工作進(jìn)行過程中及在清潔工作剛剛完成后，清潔工作或維護(hù)工作的范圍及(或)頻度對4

3

庫七七標(biāo)準(zhǔn)下載

GB/T25915.2—2021/ISO14644-2：2015

空氣中粒子水平的影響。

A.2.12與工藝有關(guān)的、可能在監(jiān)測位置處影響環(huán)境條件的事件。這類事件至少包括生產(chǎn)過程或維護(hù)工作對設(shè)備的拆卸、清潔和組裝。

注：將上述設(shè)備重新裝配完成后、尚未恢復(fù)正常運(yùn)行時對自凈時間的監(jiān)測包含在監(jiān)測計(jì)劃中，可能是有益的。A.2.13關(guān)鍵運(yùn)行期間人員通常的位置與活動。

A.2.14對潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)活動的人員數(shù)量的預(yù)期，對他們工作特性與活動時長的預(yù)期。

A.2.15評估設(shè)備使氣流模式發(fā)生變化所造成的影響。

A.2.16評估由設(shè)備形成的粒子源的可能。例如運(yùn)動傳輸系統(tǒng)表面磨損產(chǎn)生的粒子，還有安瓿瓶密封與射頻管道焊接等工藝產(chǎn)生的粒子。

A.2.17包括數(shù)據(jù)完整性、數(shù)據(jù)存儲和數(shù)據(jù)檢索在內(nèi)的數(shù)據(jù)記錄和數(shù)據(jù)管理。

注：有些工業(yè)數(shù)據(jù)的存儲和完整性是專門管制的。

A.2.18為原始數(shù)據(jù)評估、趨勢評定、生產(chǎn)報告等制定合適的方法。

A.2.19驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)的定義以及設(shè)定單一報警值，還是既設(shè)定預(yù)警值也設(shè)定干預(yù)值。

A.2.20監(jiān)測系統(tǒng)調(diào)試與測試要求。

A.2.21監(jiān)測系統(tǒng)的維護(hù)要求。

A.3壓差監(jiān)測

A.3.1規(guī)定潔凈室或潔凈區(qū)壓差監(jiān)測系統(tǒng)時，A.3.2?A.3.5中所述的各個方面宜予以考慮。

A.3.2開門或局部排風(fēng)系統(tǒng)間歇運(yùn)行等形成了波動，使這些波動降至盡可能低或使之受控的方法。通常的方法是使用延時報警。

A.3.3選擇壓力測量基準(zhǔn)值（測量房間或空間之間的壓差，或測量與共用基準(zhǔn)壓力的壓差）。

A.3.4設(shè)定對正常壓力波動反應(yīng)靈敏的預(yù)警值和干預(yù)值，這類波動來自建筑風(fēng)壓、門的開關(guān)等。

A.3.5進(jìn)行壓差監(jiān)測既可采用定期觀測，也可采用自動化儀表。

A.4空氣粒子監(jiān)測系統(tǒng)

A.4.1規(guī)定實(shí)時空氣粒子計(jì)數(shù)系統(tǒng)時，宜考慮A.4.2?A.4.6中所述的各個方面。

A.4.2依據(jù)對下列系統(tǒng)因素的評估決定系統(tǒng)配置：

——空氣粒子采集效率；

——所選監(jiān)測粒徑的適用性；

——維護(hù)、校準(zhǔn)、修理的難易度。

注1:上述因素將影響計(jì)數(shù)器布置，是在多個“采樣點(diǎn)”分別布置粒子計(jì)數(shù)器，還是使用單臺粒子計(jì)數(shù)器配以長采樣管的多管采集系統(tǒng)。

注2：長采樣管不適于監(jiān)測粒徑＞5 的粒子。

A.4.3采樣流量和空氣量。

A.4.4每個空氣樣本的采集頻度和時長（由采樣量決定）。

A.4.5采樣探頭形式與朝向（如等動力或非等動力采樣）。

注：將采樣探頭直接置于非單流潔凈室的末端髙效過濾器送風(fēng)之下，可能是不合適的。因?yàn)檫@樣的位置對潔凈室或潔凈區(qū)可能沒有代表性，并可能無法探測到動態(tài)的污染事件。

A.4.6采樣系統(tǒng)對工藝或工藝環(huán)境可能的不利影響（例如：在小體積環(huán)境中，采樣量可能帶來的影響）。

A.5風(fēng)速與風(fēng)量監(jiān)測

A.5.1規(guī)定風(fēng)速或風(fēng)量的監(jiān)測系統(tǒng)，宜考慮A.5.2和A.5.3所述內(nèi)容。

A.5.2所選定的風(fēng)速或風(fēng)量的測量方法。

A.5.3測量裝置的位置，測量值對被測系統(tǒng)要有代表性。

注：可能有必要對位置進(jìn)行評估，以證明測量值具有代表性，沒有受到紊流、風(fēng)管中不均勻流或其他因素等的不良影響。

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附錄B

（資料性）

設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值的考慮事項(xiàng)

B.1設(shè)定預(yù)瞀值和干預(yù)值基本知識

設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值需慎重考慮，以確保它們能作為啟動應(yīng)對措施的有效依據(jù)。這類應(yīng)對措施包括更深人的調(diào)查或加強(qiáng)觀測（被稱為“預(yù)警值”），以及觸發(fā)補(bǔ)救措施（被稱為“干預(yù)值”）等。下列事項(xiàng)宜予以考慮：

——監(jiān)測的意圖和目的；

——監(jiān)測參數(shù)的重要性和（或）關(guān)鍵度；

——^^設(shè)干預(yù)值，還是既設(shè)預(yù)警值也設(shè)干預(yù)值；

一因報警頻度高而對“預(yù)警”或“干預(yù)”沒有反應(yīng)的風(fēng)險，報警值設(shè)定不當(dāng)就可能發(fā)生這樣的事情，并使人員不采取行動或忽視報警；

——對監(jiān)測參數(shù)合理的正常波動如何管控？例如，時延的合理性及換氣次數(shù)預(yù)估系統(tǒng)的算法；——采樣或測量的頻度，從而能夠評定下個數(shù)據(jù)點(diǎn)獲取數(shù)據(jù)的速率；

——對“預(yù)警”作出反應(yīng)時，反應(yīng)的能力，反應(yīng)性質(zhì)，將反應(yīng)提升至“干預(yù)”前所允許的反應(yīng)時間。

B.2設(shè)定壓差監(jiān)測預(yù)警值和干預(yù)值

B.2.1設(shè)定壓差的正常范圍

為了設(shè)定壓差的預(yù)警值和干預(yù)值，應(yīng)設(shè)定其正常工作范圍，包括開門和設(shè)備相互作用等引起的波動。脫離正常工作范圍的偏離設(shè)置，既可單設(shè)數(shù)值上的偏離，也可設(shè)定數(shù)值上及時間上的偏離。

因設(shè)施性能的變化及設(shè)施部件的老化，最初所做的檢測宜定期重檢，在潔凈室或潔凈區(qū)的維護(hù)或改造后也進(jìn)行重檢。

宜采用B.2.1.1和B.2.1.2所給出的方法探測壓力波動并將其記錄在案。

B.2.1.1氣閘室門開關(guān)的影響

設(shè)計(jì)氣閘室是為了幫助人員或材料從某潔凈室或潔凈區(qū)運(yùn)行至另一個潔凈室或潔凈區(qū)過程中維持壓差。氣閘室的設(shè)計(jì)或運(yùn)行使門不能同時開啟。當(dāng)門有一扇開著時，氣閘室的泄漏一般比兩扇門都關(guān)閉時要大，除非門配有充氣裝置或密封裝置。

對這些正常變化應(yīng)進(jìn)行測試并記錄在案，以便合理地設(shè)定壓力預(yù)警值和壓力干預(yù)值，并遵循這些步驟。

——關(guān)閉所有的房門和傳遞窗，規(guī)定所有設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，觀測所選房間或區(qū)域之間的穩(wěn)態(tài)壓差，注意風(fēng)及其他動態(tài)效應(yīng)會導(dǎo)致的正常小波動。

-一次將氣閘室、傳遞窗、緩沖室同一側(cè)所有的門同時開啟，并注意室壓或區(qū)域壓力的變化。關(guān)閉各扇門，確認(rèn)壓差回歸原位。

——潔凈室的設(shè)計(jì)宜考慮門周邊等泄漏途徑，以確保風(fēng)量平衡對這些泄漏留有充分的容差。

B.2.1.2工藝設(shè)備的影響

有些工藝設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)不同時，空氣損耗也會不同，從而對房間潔凈室或潔凈區(qū)產(chǎn)生小的、可接受的影響。遵循下列步驟。

將所有的門及傳遞窗關(guān)閉，將設(shè)備置于規(guī)定的運(yùn)行狀態(tài)，觀測所選房間或區(qū)域之間的穩(wěn)態(tài)壓差。注意因風(fēng)及其他動態(tài)效應(yīng)會導(dǎo)致的正常小波動。

一按設(shè)備每種不同的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行重復(fù)測試。觀測每種狀態(tài)下所選房間或區(qū)域之間穩(wěn)態(tài)時的壓差，注意因風(fēng)或其他動態(tài)效應(yīng)會導(dǎo)致的正常小波動。

B.2.2設(shè)定預(yù)曹值和干預(yù)值

B.2.2.1建議在觀測并記錄下正常運(yùn)行范圍后，將正壓室的壓力報警裝置設(shè)置為比實(shí)測最低壓力值低幾帕，將負(fù)壓室設(shè)置為比最低壓力值高幾帕（指導(dǎo)數(shù)值2Pa?3Pa）。

B.2.2.2為了不影響潔凈室內(nèi)的正常工作，宜常將預(yù)警或干預(yù)延后，以應(yīng)對人員出人的開門等情況。為確定合適的延遲時間宜認(rèn)真觀測普通的或預(yù)期的偏離正常狀態(tài)持續(xù)的時間長度。超出正常時長的延遲宜激活報警器。

B.2.2.3不宜用增加壓差的簡單方式處理過大的壓力波動或泄漏，因?yàn)榭照{(diào)或通風(fēng)系統(tǒng)的性能在效率上的下降，將進(jìn)一步增加空氣泄漏。

B.2.2.4在受監(jiān)管的產(chǎn)業(yè)中，對問題的根源要進(jìn)行識別并找到原因，而不能用改變運(yùn)行限值來包蓋這些問題。未識別出根源就可能導(dǎo)致嚴(yán)厲的監(jiān)管行動。

B.2.3壓差測量儀

B.2.3.1使用壓差開關(guān)時，確保壓差開關(guān)的動作是可重復(fù)的，并且任何開關(guān)轉(zhuǎn)換都源自于所設(shè)置的預(yù)警值或干預(yù)值，且包含在預(yù)警值和干預(yù)值中。

B.2.3.2為簡化校準(zhǔn)工作，無需將儀器從設(shè)施上移除，特別是那些安裝在不易接近區(qū)域中的儀器。宜在儀器上配置測試口，制定將儀器與壓力源隔絕的方法，從而能夠測定其零位及量程。

B.3設(shè)定空氣中粒子計(jì)數(shù)的預(yù)管值與干預(yù)值

B.3.1通用指南

B.3.1.1對運(yùn)行中潔凈室或潔凈區(qū)粒子濃度進(jìn)行監(jiān)測計(jì)數(shù)的目的是，為各關(guān)鍵控制點(diǎn)達(dá)到所需的潔凈度水平提供證據(jù)。宜進(jìn)行風(fēng)險評估并按GB/T25915.1-2021對潔凈室或潔凈區(qū)進(jìn)行正常分級的數(shù)據(jù)進(jìn)行評估，以確定監(jiān)測位置（關(guān)鍵控制點(diǎn)）。設(shè)定的預(yù)警值和干預(yù)值，宜能提供有效信息用于管控性能上的變化，并識別出與規(guī)定的合格標(biāo)準(zhǔn)值的偏離。

注：可根據(jù)對歷史數(shù)據(jù)的分析，使用統(tǒng)計(jì)過程控制原理來設(shè)置預(yù)警值和干預(yù)值。

B.3.1.2宜制定合適的方法，當(dāng)粒子計(jì)數(shù)值達(dá)到預(yù)警值或干預(yù)值時給出通知或指示。

B.3.1.3設(shè)定預(yù)警值或干預(yù)值時，重要的是對不同位置上的空氣粒子濃度以及空氣中粒子濃度隨時間的變化度具有靈敏性。對于粒子濃度低的ISO5級及更好的潔凈度，考慮預(yù)警值和干預(yù)值時要特別小心。在這樣的環(huán)境中，更有可能發(fā)生由于粒子濃度的虛假計(jì)數(shù)和（或）自然變動產(chǎn)生“騷擾報警”。宜小心謹(jǐn)慎地選擇預(yù)警值和干預(yù)值以避免這種情況。宜防止頻繁發(fā)生“騷擾報警”，因?yàn)檫@可使用戶對報警熟視無睹。

B.3.1.4具體采樣位置及采樣探頭朝向的前后一致性，可對所測得的粒子濃度有顯著影響。當(dāng)要對某8

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個采樣時間段的值與下個時間段的值進(jìn)行比較時，尤其如此。重要的是，在沒有及時考慮以往趨勢及預(yù)警值和干預(yù)值的情況下，不使采樣位置有顯著改變。

B.3.2設(shè)定粒子計(jì)數(shù)的正常范圍

B.3.2.1在一段不算短的時間段中，在靜態(tài)和動態(tài)兩種狀態(tài)下，在指定的關(guān)鍵控制點(diǎn)，對粒子濃度進(jìn)行初始測量并記錄。宜使用規(guī)定的采樣時間和采樣量。以這組數(shù)據(jù)就可確定所預(yù)期的潔凈室或潔凈區(qū)的正常性能，并將其作為設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值的依據(jù)。預(yù)計(jì)這些正常值將低于ISO潔凈度級別限值或低于干預(yù)值。

B.3.2.2當(dāng)設(shè)施在設(shè)計(jì)或運(yùn)行上有重大改變時，后續(xù)時間段的觀測可能是必需的。

B.3.2.3粒子計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)有些獨(dú)特特性宜予理解。下列各點(diǎn)具有重要性：

a） 一個空間粒子的基準(zhǔn)濃度，與潔凈室或潔凈區(qū)的活動水平、容積以及通風(fēng)機(jī)理和有效性，有很高的關(guān)聯(lián)性；

b） 對一直低于預(yù)期值的粒子計(jì)數(shù)讀數(shù)進(jìn)行檢查是種好的作法，因?yàn)檫@可能說明粒子計(jì)數(shù)器、空氣采樣系統(tǒng)、數(shù)據(jù)錄入儀器等有故障；

c） 靜態(tài)時的非單向流系統(tǒng)粒子濃度合格范圍可能顯著低于動態(tài)時的；

d） 在同一個房間或區(qū)域內(nèi)，不同采樣點(diǎn)的報警值可能要不同；

e） 房間里正常的活動可能使粒子計(jì)數(shù)產(chǎn)生瞬間但可接受的升高。

B.3.2.4為確保高質(zhì)量的粒子監(jiān)測數(shù)據(jù)，并有助于與后續(xù)空氣樣本數(shù)據(jù)的比較，有必要使采樣位置及探頭朝向保持一致。實(shí)際采樣位置以及采樣探頭朝向的一貫性，對數(shù)據(jù)質(zhì)量有顯著影響。采樣位置或朝向的改變，對以往趨勢、預(yù)警值和干預(yù)值，都有不利影響。當(dāng)潔凈室或潔凈區(qū)經(jīng)由相互毗鄰的高效或超高效過濾器送風(fēng)時，就會發(fā)生這樣的情況。在這種情況下，僅將采樣位置移動如0.5m這樣短的距離，就可能采集到來自另一個過濾器的空氣。兩個樣本的潔凈度數(shù)據(jù)就無法進(jìn)行比較。大多數(shù)情況下，當(dāng)設(shè)立新位置時，宜考慮采樣頭的重新定位，以及由此產(chǎn)生的新的系列觀測值來確定合適的預(yù)警值和干預(yù)值。

B.3.3設(shè)定粒子計(jì)數(shù)的預(yù)警值和干預(yù)值

B.3.3.1設(shè)定預(yù)警值、干預(yù)值時，B.3.3.2?B.3.3.8所述的原理是重要的。

B.3.3.2設(shè)定報警值時，僅設(shè)干預(yù)值，或是設(shè)置預(yù)警值和干預(yù)值兩個值。在有些產(chǎn)業(yè)或場合，采用兩個報警值（稱為預(yù)警和干預(yù)）作為質(zhì)量控制方法和應(yīng)對策略。

B.3.3.3將預(yù)警值或干預(yù)值設(shè)置在正常工作范圍與潔凈度等級限值之間。

B.3.3.4重要的是正確地設(shè)置報警值，以確保發(fā)生的報警事件，更可能促成糾正措施的采取，而不是產(chǎn)生虛假警示或“騷擾報警”，否則往往會使工作人員對報警熟視無睹。

B.3.3.5大多數(shù)情況下，設(shè)定新位置時宜考慮采樣探頭有明確的重新定位，由此會產(chǎn)生一系列新的觀測值，并由此確定新位置適當(dāng)?shù)恼９ぷ鞣秶?，預(yù)警值與干預(yù)值。

B.3.3.6如果確定某具體位置的數(shù)據(jù)組的趨勢是需要了解的重要事項(xiàng)，應(yīng)小心保證每個采樣具有近似的活動強(qiáng)度背景。房間或區(qū)域中活動度低或無活動的安靜時段獲取的數(shù)據(jù)，一般比有較多活動和（或）有更多人員的時間段，有不一樣的數(shù)值基準(zhǔn)線和數(shù)值范圍。

B.3.3.7采樣時長需要從所允許的風(fēng)險水平考慮。采樣時長設(shè)置得較長，雖可使數(shù)據(jù)平穩(wěn)，并能防止可能的“騷擾報警”，但這可能掩蓋不尋常產(chǎn)塵事件所造成的空氣粒子濃度短時間超標(biāo)升高。

B.3.3.8宜對監(jiān)測系統(tǒng)的性能、所采集的數(shù)據(jù)、設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值和趨勢等定期進(jìn)行分析。宜根據(jù)其性能

狀況，考慮對預(yù)警值和干預(yù)值的修改（放寬或收緊）。

B.3.4設(shè)定粒子計(jì)數(shù)報警值的其他方法

B.3.4.1如果同時監(jiān)測兩個粒徑，且采樣間隔時間為lmin，設(shè)置預(yù)警值和干預(yù)值就較為繁復(fù)。B.3.4.2和B.3.4.3給出了兩種方法。

B.3.4.2方法1:以一系列較高的連續(xù)讀數(shù)觸發(fā)閾值。較高讀數(shù)觸發(fā)報警所依據(jù)的是，在一段時間里讀數(shù)一直維持在較高的水平（例如，連續(xù)3個1min的讀數(shù)超過規(guī)定值）。

B.3.4.3方法2:由高頻度出現(xiàn)的高讀數(shù)觸發(fā)閾值，這一方法有時稱為“y中的X”。該方法是將高于規(guī)定閾值的讀數(shù)記錄下來，如果一系列數(shù)據(jù)中高于規(guī)定值的讀數(shù)較多時，則觸發(fā)預(yù)警或干預(yù)。例如，若最后10個讀數(shù)中有3個高于閾值，則會觸發(fā)預(yù)警或干預(yù)。

參考文獻(xiàn)

[1]GB/T25915.3潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法(GB/T25915.3—2010,ISO14644-3：2005,IDT)

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