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文檔簡介

1、擴散間注意事項 生產(chǎn)注意事項 恒溫箱注意事項 工藝衛(wèi)生注意事項 違規(guī)作業(yè)生產(chǎn)注意事項生產(chǎn)注意事項1.按工藝要求調(diào)整原始硅片電阻率測量 電流。2.測量方塊電阻時按工藝要求校準電流。3.按工藝要求精確測量方塊電阻。 4.正常運行工藝時，舟不能自動進出。應(yīng)： 有可能是面板上的“急停”按紐處按 下去了。 限位開關(guān)未復(fù)位或損壞。 保險絲燒斷，由設(shè)備換保險。5.換POCL時，由于誤操作，將軟管接反源倒流，應(yīng)：立即關(guān)閉小2，把軟管卸下， 用帶有酒精的抹布擦拭。聯(lián)系工藝人員更換軟管。將2打開至工藝標準。 正確裝好再做鼓泡實驗。6換源時搬運源瓶，閥門有液體滴下，應(yīng)： 立即將出氣口開至最大，（進氣口也必須開），使

2、源瓶內(nèi)部壓力保持平衡。 如液面仍偏高，則可將源瓶微微傾斜，待源慢慢回流到瓶子里。 恒溫箱注意事項恒溫箱注意事項恒溫箱界面恒溫箱界面 恒溫箱采用水冷方式。擴散源溫控制在20度0.5度，使用時恒溫箱中需加入一定量的水，并要注意液位的變化，過高會溢出造成電器的短路，過低會造成源溫不受控，更換源瓶時需相應(yīng)加水或抽水。此外，還應(yīng)視水質(zhì)狀況進行定期換水。工藝衛(wèi)生注意事項工藝衛(wèi)生注意事項 進入擴散間時必須穿潔凈服、并穿戴一次性鞋套。 進入風(fēng)淋門前要按要求穿戴好，雙臂上舉，旋轉(zhuǎn)風(fēng)淋30秒。違規(guī)作業(yè)嚴禁生產(chǎn)中出現(xiàn)此類行為工序安全嚴禁作業(yè) 更換過源瓶后必須對源瓶軟管進行檢查，以防止軟管老化，導(dǎo)致源外泄！ 以下是更換源瓶時沒有穿防護服! 以下是更換源瓶時沒有戴好防毒面具穿防護服! 禁止一只手拿兩個盒子！工序6S嚴禁作業(yè) 禁止用舟叉點擊界面！ 禁止兩個傳遞窗同時打開！ 禁止用手直接與石英

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