GB/T 26068-2010硅片載流子復(fù)合壽命的無(wú)接觸微波反射光電導(dǎo)衰減測(cè)試方法

ICS29045

H80.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T26068—2010

硅片載流子復(fù)合壽命的無(wú)接觸微波反射

光電導(dǎo)衰減測(cè)試方法

Testmethodforcarrierrecombinationlifetimeinsiliconwafersbynon-contact

measurementofphotoconductivitydecaybymicrowavereflectance

2011-01-10發(fā)布2011-10-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T26068—2010

目次

前言…………………………

Ⅲ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語(yǔ)和定義………………

31

檢測(cè)方法概述……………

42

干擾因素…………………

53

設(shè)備………………………

64

試劑………………………

75

取樣及樣片制備…………………………

85

測(cè)試步驟…………………

97

報(bào)告………………………

108

精密度和偏差……………

118

附錄規(guī)范性附錄注入水平的修正…………………

A()9

附錄資料性附錄注入水平的相關(guān)探討……………

B()10

附錄資料性附錄載流子復(fù)合壽命與溫度的關(guān)系…………………

C()13

附錄資料性附錄少數(shù)載流子復(fù)合壽命……………

D()16

附錄資料性附錄測(cè)試方法目的和精密度…………

E()19

參考文獻(xiàn)……………………

20

Ⅰ

GB/T26068—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研半導(dǎo)體材料股份有限公司瑟米萊伯貿(mào)易上海有限公司中國(guó)計(jì)量科學(xué)研

:、()、

究院萬(wàn)向硅峰電子有限公司廣州昆德科技有限公司洛陽(yáng)單晶硅有限責(zé)任公司

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人曹孜孫燕黃黎高英石宇樓春蘭王世進(jìn)張靜雯

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T26068—2010

硅片載流子復(fù)合壽命的無(wú)接觸微波反射

光電導(dǎo)衰減測(cè)試方法

1范圍

11本方法適用于測(cè)量均勻摻雜經(jīng)過(guò)拋光處理的型或型硅片的載流子復(fù)合壽命本方法是非破

.、np。

壞性無(wú)接觸測(cè)量在電導(dǎo)率檢測(cè)系統(tǒng)的靈敏度足夠的條件下本方法也可應(yīng)用于測(cè)試切割或者經(jīng)過(guò)研

、。,

磨腐蝕硅片的載流子復(fù)合壽命

、。

12被測(cè)硅片的室溫電阻率下限由檢測(cè)系統(tǒng)靈敏度的極限確定通常在之間

.,0.05Ω·cm~1Ω·cm。

注本檢測(cè)方法適用于測(cè)量到范圍內(nèi)的載流子復(fù)合壽命最短可測(cè)壽命值取決于光源的關(guān)斷特性

:0.25μs>1ms。

及衰減信號(hào)測(cè)定器的采樣頻率最長(zhǎng)可測(cè)值取決于試樣的幾何條件以及樣片表面的鈍化程度配以適當(dāng)?shù)拟g

,。

化工藝如熱氧化或浸入適當(dāng)?shù)娜芤褐袑?duì)于硅單晶拋光片中規(guī)定厚度的拋光片長(zhǎng)到數(shù)十毫秒

,,GB/T12964《》,

的壽命值也可被測(cè)定

。

13分析工藝過(guò)程檢查沾污源以及對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行解釋以判別雜質(zhì)中心的形成機(jī)理和本質(zhì)不在本方

.、

法范圍內(nèi)本方法僅在非常有限的條件下例如通過(guò)比對(duì)某特定工藝前后載流子復(fù)合壽命測(cè)試值可以

。,,

識(shí)別引入沾污的工序識(shí)別某些個(gè)別的雜質(zhì)種類(lèi)

,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

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