第3章電感式傳感器及其應(yīng)用

2023/2/51

本章學(xué)習(xí)自感式傳感器、差動(dòng)變壓器式傳感器和電渦流式傳感器的結(jié)構(gòu)、工作原理、測(cè)量電路以及它們的應(yīng)用。第3章電感式傳感器及其應(yīng)用

2023/2/52定義：利用電磁感應(yīng)原理，將被測(cè)的非電量轉(zhuǎn)換成電磁線圈的自感或互感量變化的一種裝置。分類：按照轉(zhuǎn)換方式分類：自感式；互感式；渦流式。按照結(jié)構(gòu)方式分類：變氣隙式；變截面式；螺線管式。2023/2/53§3.1自感式傳感器

先看一個(gè)實(shí)驗(yàn)：

將一只接觸器線圈與交流毫安表串聯(lián)后，接到控制變壓器的36V交流電壓源上。這時(shí)毫安表的示值約為幾十毫安。用手慢慢將接觸器的活動(dòng)鐵心(稱為銜鐵)往下按，我們會(huì)發(fā)現(xiàn)毫安表的讀數(shù)逐漸減小。當(dāng)銜鐵與固定鐵心之間的氣隙等于零時(shí)，毫安表的讀數(shù)只剩下十幾毫安。2023/2/54電感傳感器的基本工作原理演示F220V接觸器線圈交流毫安表控制變壓器2023/2/55電感傳感器的基本工作原理演示氣隙變小，電感變大，電流變小。F2023/2/56

自感式傳感器是利用自感量隨氣隙而改變的原理制成的，用來(lái)測(cè)量位移。

它主要由線圈、鐵心、銜鐵及測(cè)桿等組成。2023/2/57自感式電感傳感器常見的形式

變隙式變截面式螺線管式

2023/2/58一、工作原理

根據(jù)磁路的基本知識(shí)，線圈自感可按下式計(jì)算：mRNL2=

當(dāng)不考慮磁路的鐵損且當(dāng)氣隙δ較小時(shí)，則該磁路的總磁阻：上式的第一項(xiàng)為常數(shù)，且氣隙的磁阻遠(yuǎn)大于鐵芯和銜鐵的磁阻：2023/2/59電感量計(jì)算公式：

請(qǐng)分析電感量L與氣隙厚度及氣隙的有效截面積A之間的關(guān)系。N：線圈匝數(shù)；A：氣隙的有效截面積；

0

：真空磁導(dǎo)率；

：氣隙厚度。

Ｌ＝f（，A

）A不變

變氣隙型傳感器

不變變截面型傳感器線圈中放入圓形銜鐵可變自感螺管型傳感器2023/2/510１、變隙式電感傳感器

傳感器截面積A保持不變，令磁路氣隙厚度隨被測(cè)非電量而變，從而電感量Ｌ發(fā)生變化。

電感量L與氣隙厚度成反比，線性度不好；越小，靈敏度越高。變隙式自感式傳感器適用于測(cè)量微小位移場(chǎng)合。Ｌ－特性曲線2023/2/511２、變截面式電感傳感器

傳感器氣隙厚度保持不變，令磁通截面積A隨被測(cè)非電量而變，從而電感量Ｌ發(fā)生變化。

變面積式自感傳感器在理想狀態(tài)的條件下，輸入與輸出呈線性關(guān)系，但由于有漏感等原因，其特性并非是線性的，而且它的線性區(qū)較小。電感量L與A在一定范圍內(nèi)具有良好的線性關(guān)系。但是與變氣隙式自感傳感器相比，其靈敏度較低。2023/2/512３、螺線管式電感傳感器

工作原理：以線圈磁力線泄露路徑上的磁阻變化為基礎(chǔ)測(cè)量，電感量與銜鐵插入深度有關(guān)。鐵心在螺線管中移動(dòng)，使線圈的電感量發(fā)生變化。

這種傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作容易，但靈敏度較低，且銜鐵在螺線管中間時(shí)，才有可能呈線性關(guān)系。此傳感器適合于位移較大的場(chǎng)合。2023/2/513總結(jié)：自感傳感器的三個(gè)類型：

靈敏度線性行程制造變氣隙高差小難變面積較低好大較易螺管式低較好大易2023/2/514４、差動(dòng)電感傳感器在實(shí)際工作中常采用差動(dòng)式，這樣既可以提高傳感器的靈敏度，又可以減小測(cè)量誤差。組成：由兩個(gè)具有公共銜鐵的完全相同的自感傳感器組成，銜鐵處于中間位置時(shí)，UO=0。特點(diǎn)：靈敏度提高一倍，線性好，抗干擾能力強(qiáng)，電磁吸力對(duì)測(cè)量力的影響相互抵消。2023/2/515差動(dòng)電感傳感器

請(qǐng)分析：靈敏度、線性度有何變化曲線1、2為L(zhǎng)1、L2

的特性，3為差動(dòng)特性

在差動(dòng)電感傳感器中，當(dāng)銜鐵隨被測(cè)量移動(dòng)而偏離中間位置時(shí)，兩個(gè)線圈的電感量一個(gè)增加，一個(gè)減小，形成差動(dòng)形式。1-差動(dòng)線圈2-鐵心3-銜鐵4-測(cè)桿5-工件

2023/2/516

結(jié)論：

從曲線圖可以看出，差動(dòng)式電感傳感器的線性較好，且輸出曲線較陡，靈敏度約為非差動(dòng)式電感傳感器的兩倍。

假設(shè)當(dāng)銜鐵往上移動(dòng)Δδ時(shí)，則兩個(gè)線圈的總的電感變化量為從上式知，輸出電感的變化約為非差動(dòng)式的兩倍。而從結(jié)構(gòu)圖可以看出，差動(dòng)式電感傳感器對(duì)外界影響，如溫度的變化、電源頻率的變化等基本上可以互相抵消，從而減小了測(cè)量誤差。2023/2/517二、測(cè)量轉(zhuǎn)換電路

測(cè)量轉(zhuǎn)換電路的作用是將電感量的變化轉(zhuǎn)換成電壓或電流的變化，以便用儀表指示出來(lái)，或者送入下級(jí)電路進(jìn)行處理和放大。測(cè)量轉(zhuǎn)換電路：

L的變化→I/U

的幅值、頻率、相位的變化轉(zhuǎn)換電路有調(diào)幅、調(diào)頻、調(diào)相電路?；緶y(cè)量電路通常都采用交流橋路。2023/2/518變壓器式電橋電路

變壓器式交流電橋測(cè)量電路如圖所示,電橋兩臂Z1、Z2為傳感器線圈阻抗,另外兩橋臂為交流變壓器次級(jí)線圈的1/2阻抗。假定D為參考電位，則橋路輸出電壓為：1）當(dāng)傳感器的銜鐵處于中間位置,即Z1=Z2=Z時(shí)有=0,電橋平衡。

1.調(diào)幅電路2023/2/519

2）當(dāng)傳感器銜鐵上移時(shí),即Z1=Z+ΔZ,Z2=Z-ΔZ,此時(shí)

3）當(dāng)傳感器銜鐵下移時(shí),則Z1=Z-ΔZ,Z2=Z+ΔZ此時(shí)

從以上兩式可知,銜鐵上下移動(dòng)相同距離時(shí),輸出電壓的大小相等,但方向相反,由于是交流電壓,輸出指示無(wú)法判斷位移方向,必須配合相敏檢波電路來(lái)解決。2023/2/520零點(diǎn)殘余誤差概念在變壓器式電橋電路中，當(dāng)銜鐵處于差動(dòng)電感的中間位置附近時(shí)，無(wú)論怎樣調(diào)節(jié)銜鐵的位置，均無(wú)法使測(cè)量轉(zhuǎn)換電路輸出為零，總有一個(gè)很小的輸出電壓存在，此電壓稱為零點(diǎn)殘余電壓。產(chǎn)生原因消除方法2023/2/521相敏整流電路：既反映輸入的大小，又能辯向

圖中：Z1、Z2為電感傳感器的兩個(gè)線圈，作為交流電橋相鄰的兩個(gè)橋臂；R1、R2兩個(gè)相同的電阻作為電橋的另兩個(gè)相鄰橋臂。

VD1、VD2、VD3、VD4四只二極管構(gòu)成了相敏整流器。指示電表V則為零刻度居中的直流電壓表或數(shù)字電壓表。CD請(qǐng)思考：為什么該電路能夠辯向？AB2023/2/5221）銜鐵在中間位置時(shí)：

Z=Z1=Z2

輸出為零2）如銜鐵往線圈１方向移：

Z1=Z+ΔZZ2=Z-ΔZ當(dāng)電源上正下負(fù)時(shí)，VC＞VD

輸出為正當(dāng)電源上負(fù)下正時(shí)，VC＞VD

輸出仍為正所以：當(dāng)銜鐵往線圈1方向移動(dòng)時(shí)，輸出為正（直流電壓表正向偏轉(zhuǎn)），其大小與位移相關(guān)；2023/2/5233）同理：如銜鐵往線圈２方向移：

Z1=Z-ΔZZ2=Z+ΔZ

當(dāng)電源上正下負(fù)時(shí)，VC＜VD

輸出為負(fù)當(dāng)電源上負(fù)下正時(shí)，VC＜VD輸出仍為負(fù)所以：當(dāng)銜鐵往線圈2方向移動(dòng)時(shí)，輸出為負(fù)（直流電壓表反向偏轉(zhuǎn)），其大小與位移相關(guān)。2023/2/524非相敏整流和相敏整流電路輸出電壓比較(a)非相敏整流電路；（b）相敏整流電路

使用相敏整流，輸出電壓U0不僅能反映銜鐵位移的大小和方向，而且還消除零點(diǎn)殘余電壓的影響。2023/2/5252.調(diào)頻電路傳感器自感L變化將引起輸出電壓頻率f的變化。GCLf靈敏度很高，但線性差，適用于線性要求不高的場(chǎng)合。Lf0當(dāng)Ｌ有微小變化△Ｌ時(shí)，頻率變化△

f為：振蕩回路2023/2/5263.調(diào)相電路

傳感電感Ｌ變化將引起輸出電壓相位變化。

2023/2/527三、應(yīng)用

常用來(lái)測(cè)量位移、尺寸、震動(dòng)、力、壓力、流量等非電量。

１．自感式位移傳感器２．自感式壓力傳感器2023/2/528軸向式電感測(cè)微器

1—引線電纜2—固定磁筒3—銜鐵4—線圈

5—測(cè)力彈簧6—防轉(zhuǎn)銷

7—鋼球?qū)к墸ㄖ本€軸承）

8—測(cè)桿9—密封套

10—測(cè)端11—被測(cè)工件12—基準(zhǔn)面1.自感式位移傳感器2023/2/529電感式滾柱直徑分選裝置

圖3-14滾柱直徑分選裝置

1—?dú)飧?—活塞3—推桿4—被測(cè)滾柱5—落料管6—電感測(cè)微器7—鎢鋼測(cè)頭8—限位擋板9—電磁翻板10—容器（料斗）2023/2/530電感式滾柱直徑分選裝置（外形）

滑道分選倉(cāng)位軸承滾子外形（參考中原量?jī)x股份有限公司資料）2023/2/5312.自感式壓力傳感器變隙式自感壓力傳感器結(jié)構(gòu)圖變隙差動(dòng)式電感壓力傳感器2023/2/532課堂練習(xí)1、欲測(cè)量極微小的位移，應(yīng)選擇()自感傳感器；

A.變隙式B.變面積式C.螺線管式2、自感傳感器或差動(dòng)變壓器采用相敏檢波電路最重要的目的是為了()A.提高靈敏度B.將輸出的交流信號(hào)轉(zhuǎn)換成直流信號(hào)

C.使檢波后的直流電壓能反映檢波前交流信號(hào)的相位和幅度2023/2/533休息一下2023/2/534

§3.2差動(dòng)變壓器式傳感器概念

把被測(cè)的非電量變化轉(zhuǎn)換為線圈互感量變化的傳感器稱為互感式傳感器。這種傳感器是根據(jù)變壓器的基本原理制成的,并且次級(jí)繞組都用差動(dòng)形式連接，故稱差動(dòng)變壓器式傳感器，簡(jiǎn)稱差動(dòng)變壓器。2023/2/535結(jié)構(gòu)

差動(dòng)變壓器結(jié)構(gòu)形式較多,有變隙式、變面積式和螺線管式等,但其工作原理基本一樣。非電量測(cè)量中,應(yīng)用最多的是螺線管式差動(dòng)變壓器。特點(diǎn)它可以測(cè)量1～100mm范圍內(nèi)的機(jī)械位移,并具有測(cè)量精度高,靈敏度高,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,性能可靠等優(yōu)點(diǎn)。2023/2/536

它主要由線圈組合、活動(dòng)銜鐵和導(dǎo)磁外殼等組成。線圈包括一、二次線圈和骨架等部分。理想的螺線管式差動(dòng)變壓器的原理圖

被測(cè)位移量轉(zhuǎn)換為一次線圈與二次線圈間的互感量M的變化。一、工作原理2023/2/537

理想條件下，當(dāng)一次線圈加上交流激磁電壓Ui后，將在二次線圈中產(chǎn)生感應(yīng)電壓UO。如果將兩個(gè)二次線圈串聯(lián)起來(lái)，總電壓等于兩個(gè)二次線圈的電壓之和。改變銜鐵的位置，則一次線圈與二次線圈之間的互感變化，從而輸出的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)發(fā)生變化。2023/2/538差動(dòng)變壓器的等效電路原理圖結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：兩個(gè)二次線圈同名端反向串聯(lián)，組成差動(dòng)輸出形式。

請(qǐng)問(wèn)：如何正確連線？指出哪兩個(gè)為輸出端點(diǎn)。ACBD2023/2/539基本特性分析：

（1）當(dāng)活動(dòng)銜鐵處于中間位置時(shí)

M1=M2=M

則：U0=0

（2）當(dāng)活動(dòng)銜鐵向N21方向（向上）移動(dòng)時(shí)

M1=M+ΔM，M2=M-ΔM

故：UO=U21－U22=2jωΔMI1

（3）當(dāng)活動(dòng)銜鐵向N22方向(向下)移動(dòng)時(shí)

M1=M-ΔM，M2=M+ΔM

故：UO=U21－U22=－2jωΔMI1

2023/2/540總結(jié)：當(dāng)銜鐵處于中間位置時(shí)：UO=0；當(dāng)銜鐵偏移中間位置時(shí)：UO就隨著銜鐵的位移X的變大而增加?；ジ惺絺鞲衅鲗?shí)質(zhì)上就是一個(gè)變壓器，其初級(jí)線圈接入穩(wěn)定的交流激勵(lì)電源，次級(jí)線圈被感應(yīng)而產(chǎn)生對(duì)應(yīng)輸出電壓。由于次級(jí)常采用兩個(gè)線圈接成差動(dòng)型，故這種傳感器又稱差動(dòng)變壓器式傳感器。實(shí)際中應(yīng)用較多的是螺線管式差動(dòng)變壓器。2023/2/541二、靈敏度與線性度

1、靈敏度

差動(dòng)變壓器在單位電壓激勵(lì)下，銜鐵移動(dòng)一個(gè)單位距離時(shí)的輸出電壓，用ＫE表示。ＫE＝U2/ΔX單位：V/mm

影響靈敏度的主要因素有：激勵(lì)電源電壓和頻率。KE與f關(guān)系曲線2023/2/542提高輸入激勵(lì)電壓，將使傳感器靈敏度按線性增加。

另外，提高線圈品質(zhì)因數(shù)Q值，增大銜鐵直徑，選擇導(dǎo)磁性能好，鐵損小以及渦流損耗小的導(dǎo)磁材料制作銜鐵和導(dǎo)磁外殼等可以提高靈敏度。2023/2/5432、線性度

線性度:傳感器實(shí)際特性曲線與理論直線之間的最大偏差除以測(cè)量范圍（滿量程），并用百分?jǐn)?shù)來(lái)表示。

影響差動(dòng)變壓器線性度的因素:兩個(gè)二次繞組的結(jié)構(gòu)，骨架形狀和尺寸的精確性，鐵芯的尺寸和材質(zhì)，激勵(lì)頻率和負(fù)載狀態(tài)等。

改善差動(dòng)變壓器的線性度:

取測(cè)量范圍為線圈骨架長(zhǎng)度的1/10-1/4，激勵(lì)頻率采用中頻，配用相敏檢波式測(cè)量電路。2023/2/544三、測(cè)量轉(zhuǎn)換電路反串聯(lián)電路直接把兩個(gè)二次線圈反向串接

橋路

R1、R2是橋臂電阻，RP是供調(diào)零用的電位器

該電路靈敏度為前一種的1/2，但可以利用RP進(jìn)行調(diào)零，無(wú)需另配置調(diào)零電路；但零點(diǎn)殘余電壓無(wú)法克服，也無(wú)辯向功能。E212023/2/545

電路是以兩個(gè)橋路整流后的直流電壓之差作為輸出的，所以稱為差動(dòng)整流電路。

UC3=Uab=Uao-Ubo以差動(dòng)整流為例2023/2/546差動(dòng)整流的特點(diǎn)

差動(dòng)整流電路可以克服零點(diǎn)殘余電壓的影響。它不但可以反映位移的大?。妷旱姆担?，還可以反映位移的方向。

上圖中：

RP是用來(lái)微調(diào)電路平衡的；

VD1～VD4、VD5~

VD8組成普通橋式整流電路；Ｃ3、Ｃ4、Ｒ3、Ｒ4組成低通濾波電路；Ａ1及Ｒ21、Ｒ22、Ｒf、Ｒ23組成差動(dòng)減法放大器，用于克服

a、b兩點(diǎn)的對(duì)地共模電壓。2023/2/547四、應(yīng)用

差動(dòng)變壓器式傳感器可以直接用于位移測(cè)量,也可以測(cè)量與位移有關(guān)的任何機(jī)械量，如振動(dòng)、加速度、應(yīng)變、比重、張力和厚度等。

1、測(cè)量振動(dòng)的應(yīng)用

2、壓力測(cè)量2023/2/548構(gòu)成：由懸臂梁1和差動(dòng)變壓器2構(gòu)成。測(cè)量時(shí),將懸臂梁底座及差動(dòng)變壓器的線圈骨架固定,而將銜鐵的A端與被測(cè)振動(dòng)體相連。當(dāng)被測(cè)體帶動(dòng)銜鐵以Δx(t)振動(dòng)時(shí),導(dǎo)致差動(dòng)變壓器的輸出電壓也按相同規(guī)律變化。1．測(cè)量振動(dòng)的應(yīng)用振動(dòng)測(cè)量原理圖2023/2/549２.壓力測(cè)量

當(dāng)被測(cè)壓力P輸入到膜盒中，膜盒2的自由端面便產(chǎn)生一個(gè)與壓力P成正比的位移。因此，差動(dòng)壓力變壓器有正比于被測(cè)壓力的電壓輸出。

下圖為差動(dòng)壓力變壓器的結(jié)構(gòu)圖，它適用于各種狀態(tài)的壓力測(cè)量。2023/2/550壓力測(cè)量用的膜盒

膜盒由兩片波紋膜片焊接而成。所謂波紋膜片是一種壓有同心波紋的圓形薄膜。當(dāng)膜片四周固定，兩側(cè)面存在壓差時(shí)，膜片將彎向壓力低的一側(cè)，因此能夠?qū)毫ψ儞Q為直線位移。2023/2/551休息一下2023/2/552電渦流的概念

渦流—成塊的金屬置于變化著的磁場(chǎng)中或者在磁場(chǎng)中作切割磁力線運(yùn)動(dòng)時(shí)，金屬體內(nèi)都要產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)形成電流，這種電流在金屬體內(nèi)是自己閉合的，此電流稱為電渦流。以上現(xiàn)象稱為電渦流效應(yīng)。電渦流式傳感器：

根據(jù)電渦流效應(yīng)制成的傳感器稱為電渦流式傳感器。第三節(jié)電渦流式傳感器2023/2/553一、工作原理

當(dāng)線圈中有交變高頻電流i１時(shí)，會(huì)引起一交變磁場(chǎng)H１

在靠近線圈的金屬表面內(nèi)部產(chǎn)生一感應(yīng)電流i２，該電流i２即為電渦流。根據(jù)楞次定律，由該電渦流產(chǎn)生的交變磁場(chǎng)H２將與線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)H１方向相反，亦即H２將抵抗H１的變化。由于該渦流磁場(chǎng)的作用，會(huì)使線圈的等效阻抗發(fā)生變化。電渦流式傳感器工作原理示意圖2023/2/554電渦流效應(yīng)演示

當(dāng)電渦流線圈與金屬板的距離x減小時(shí)，電流表的讀數(shù)變大，說(shuō)明線圈的等效阻抗變小。2023/2/555當(dāng)距離x減小時(shí)，互感量M增大。由左式可知，等效電感L減小，等效電阻R增大。從理論和實(shí)測(cè)中都證明，此時(shí)流過(guò)線圈的電流i1是增大的。

線圈與金屬導(dǎo)體之間可以定義一個(gè)互感系數(shù)M，它將隨著間距x的減小而增大。若把導(dǎo)體形象地看作一個(gè)短路線圈你知道這是為什么嗎？2023/2/556

渦流磁場(chǎng)的作用，使線圈的等效阻抗發(fā)生變化的程度除了與兩者間的距離x有關(guān)外，還與金屬導(dǎo)體的電阻率ρ、磁導(dǎo)率μ以及線圈的勵(lì)磁電流角頻率ω等有關(guān)。若能保持其中大部分參數(shù)不變，只改變其中一個(gè)參數(shù)，這樣傳感器的線圈阻抗Ｚ就成為這個(gè)參數(shù)的單值函數(shù)，則可實(shí)現(xiàn)對(duì)該參數(shù)的非電量測(cè)量。這就是電渦流式傳感器的基本工作原理。注意：這種函數(shù)都是非線性函數(shù)，但在某一范圍內(nèi)，可近似為線性函數(shù)。2023/2/557二、電渦流傳感器的測(cè)量電路

電渦流傳感器測(cè)量的基本原理是當(dāng)傳感器的線圈與被測(cè)體之間的距離發(fā)生變化時(shí)，將引起線圈的等效阻抗變化，也就是等效阻抗Ｚ、等效電感Ｌ、傳感器線圈的品質(zhì)因數(shù)Q（Q=ωL/R）都是位移的單值函數(shù)。因此，測(cè)量電路的任務(wù)就是把這些參數(shù)轉(zhuǎn)換為有用的電壓或電流的變化。2023/2/558利用Z的轉(zhuǎn)換電路一般用橋路，它屬于調(diào)幅電路。利用L的轉(zhuǎn)換電路一般用諧振電路。1．橋路Z1和Z2是線圈阻抗，它們與電容C1、C2，電阻R1、R2組成電橋的四個(gè)臂。

電橋的輸出將反映線圈阻抗的變化，把線圈阻抗變化轉(zhuǎn)換成電壓幅值的變化。2023/2/5592．諧振幅值電路

在沒有金屬導(dǎo)體的情況下，使電路的LC諧振回路的諧振頻率等于激勵(lì)振蕩器的振蕩頻率，這時(shí)LC回路呈現(xiàn)阻抗最大，輸出電壓的幅值也是最大。當(dāng)傳感器線圈接近被測(cè)金屬體時(shí)，線圈的等效電感變化，諧振頻率也跟著發(fā)生變化，從而輸出電壓幅值變化。2023/2/5603．調(diào)頻電路

當(dāng)電渦流線圈與被測(cè)體的距離x改變時(shí)，電渦流線圈的電感量L也隨之改變，引起LC振蕩器輸出頻率改變。傳感器線圈接在LC振蕩器中作為電感使用，以振蕩器的頻率f作為輸出量。2023/2/561

調(diào)頻電路和調(diào)幅電路的不同：調(diào)幅電路的供電電源頻率是固定的，諧振回路里的振蕩是強(qiáng)迫振蕩，輸出的是電壓幅值；調(diào)頻電路的振蕩是自由振蕩，頻率隨著被測(cè)參數(shù)變化而變化，輸出的是電壓頻率。2023/2/562三、應(yīng)用特點(diǎn)為非接觸測(cè)量；線性度好,分辨率好;

大量程,體積小,重量輕,驅(qū)動(dòng)功率小;

靈敏度好,0.1-1V/mm.

利用

x：可測(cè)位移，派生量為厚度，振幅，轉(zhuǎn)速；

ρ：可進(jìn)行材質(zhì)判別，溫度測(cè)量；：可測(cè)量應(yīng)力，硬度；ρx綜合影響：可進(jìn)行金屬的探傷。2023/2/563１．厚度的測(cè)量差動(dòng)法測(cè)量厚度：h=