CDS中央供酸系統(tǒng)

CDS(中央供酸系統(tǒng))CenterChemicalDispenseSystem

Preparedby：Date：CDS：系統(tǒng)目的

2供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗芯片上之雜質(zhì)、微粒子供應(yīng)高純度化學(xué)品以蝕刻芯片圖案供應(yīng)高純度化學(xué)品以顯影芯片圖案供應(yīng)高純度化學(xué)品以為化學(xué)氣相沉積前置反應(yīng)物供應(yīng)高純度化學(xué)品以研磨芯片供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗制程設(shè)備零配件3客戶需求:N2ChemicalChemical可不可以直接引作工藝使用??溫度、壓力、流量、方向、位置…溫度、時間、濃度…化學(xué)品之種類與用途(一)

4酸性:腐蝕性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4...毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...堿性:NH4OH,KOH,Developer...有機(jī)溶劑易燃液體:IPA,Acetone,NBA,光阻液...腐蝕性有機(jī)溶劑:EKC,EBR,HMDS...氧化性:HNO3,H2O2...化學(xué)品之種類與用途(二)

5系統(tǒng)基本要求

6操作安全：腐蝕性、毒性、耐壓、防爆之考慮化學(xué)品零污染：與化學(xué)品接觸部份完全與化學(xué)品兼容微粒子控制：過濾器循環(huán)過濾滿足最大需求流量：高濃度化學(xué)品如H2SO4、H3PO4自動控制操作運轉(zhuǎn)：系統(tǒng)單元與機(jī)臺界面自動化取樣分析：系統(tǒng)、管路之粒子數(shù)、金屬離子取樣分析泄漏警報：偵測泄漏及緊急關(guān)閉系統(tǒng)(EMO)系統(tǒng)診斷：Pump、Filter、Valve運轉(zhuǎn)時數(shù)維修保養(yǎng)管路AutoPurge/Flush功能化學(xué)品用量統(tǒng)計化學(xué)品供應(yīng)質(zhì)量要求

7系統(tǒng)流程圖(一)

8CCBStorge

Tank

12m3CDUVMBTTTVMBVMBVMBTool-1Tool-2Tool-3Tool-46m3Tote

1m3200LDrum化學(xué)槽車充填銜

接站將化學(xué)品由

槽車以N2加壓直

接輸送至Tank適合使用量較

大之化學(xué)品,如

H2O2,H2SO4等適合使用量中

等之化學(xué)品,如

HF,H3PO4等適合使用量較

小之化學(xué)品,如

BOE,HNO3等將化學(xué)品經(jīng)循環(huán)

過濾,再經(jīng)N2或

Pump加壓輸送

至有需求之生產(chǎn)

機(jī)臺內(nèi)將化學(xué)品經(jīng)管路分

配至不同生產(chǎn)機(jī)臺S可依實際用量需求選擇使用TeeBoxSamplingBox系統(tǒng)流程圖(二)

9TOOL

機(jī)臺OCPSCADA

ComputerHUBCDUT-BOX主管路GN2加強(qiáng)訊號循環(huán)過濾25”后供酸啟動CDU循環(huán)過濾后，同時由OCP供應(yīng)GN2，

打開VMB內(nèi)氣動閥，將化學(xué)品供應(yīng)至TOOLCHEMICALLINEGN2LINESIGNALLINE供酸VMB泄漏警報系統(tǒng)流程圖(三)

10ToolSideOCPSideTroubleReadyStopRequestEMO1.當(dāng)機(jī)臺需求化學(xué)品時,傳送Request訊號給OCP．

2.OCP收到訊號后,會先檢查CDU是否Ready供應(yīng)

若是，則回傳Ready訊號．若否，則回傳Trouble訊號

3.機(jī)臺端EMO被壓下時，則停止供應(yīng)化學(xué)品．+24VChemical輸送方式：

11Chemical供酸方式（1）：桶槽供酸

12Chemical供酸方式（2）：槽車供酸

13CDS設(shè)備布置：

14設(shè)備位置：

15潔凈室：1.使用點2.VMB閥分支箱)~POU(使用點)機(jī)臺操作控制介面電控程式連結(jié)高架地板1.CDS~VMB管路2.VMB需求3.監(jiān)控線路4.漏液傳感器UtilitySubFAB1.管路2.連接線裝置3.VMB,TeeBox裝置4.管路連接(CDS~VMB)5.管路連接(VMB~POU)系統(tǒng)配置方式：16用量：

80~200L/Day

使用量：較少

利用pump或壓送的方式Pump系統(tǒng)–日需求TANK系統(tǒng)配置方式：17用量：

300~4000L/Day

使用量：較多

利用pump或壓送的方式壓力輸送系統(tǒng)–日需求TANK系統(tǒng)配置方式：18用量：

4000L/Day以上

利用壓送的方式Pump系統(tǒng)–日需求TANK系統(tǒng)配置方式：19Pump系統(tǒng)–PumpA系統(tǒng)配置方式：20Pump系統(tǒng)–PumpB

Withdaytank系統(tǒng)配置方式：21PressureType–PumpA系統(tǒng)配置方式：22PressureType–PumpB

Withdaytank系統(tǒng)配置方式：23

TankLorryType4000L/Day以上CCB流程圖

GN2

linetStorage

Tank充填槽車CDUCDU之流程圖(型一)

OutletPumpTransfer

FilterSupply

FilterGN2

inletCDA

inletDrumDayTankTankCDU之流程圖(型二)

OutletDrumTankPumpTrans/Rec

FilterSupply

FilterTEE-BOX構(gòu)造

主管路主管路VMBDrainPort手動閥箱體內(nèi)側(cè)下方裝

設(shè)泄漏偵測器1.箱體以PP制成

2.CPVC外蓋

3.箱體與外蓋間以

O-Ring密合

4.管件以PFA制成一般酸堿類適用VMB構(gòu)造

箱體內(nèi)側(cè)下方裝

設(shè)泄漏偵測器DrainPortinletToToolsCDAinletFrom

OCPto氣動閥ForTheFutureUsePurgeinletDrainPortExhaust氣動閥手動閥保養(yǎng)管路時需先

以PN2將化學(xué)品

Purge至機(jī)臺端

Drain41321.箱體以PP制成

2.CPVC外蓋

3.箱體與外蓋間以

O-Ring密合

4.管件以PFA制成一般酸堿類適用SAMPLING-BOX構(gòu)造

1.將取樣瓶置入,并關(guān)閉

箱門2.按壓按鈕,再打開取樣

手動閥3.化學(xué)品流出達(dá)需求之

量后,關(guān)閉手動閥,放開

按鈕4.打開箱門,蓋上瓶蓋,取

出取樣瓶5.清潔取樣箱按鈕手動閥箱體內(nèi)側(cè)下方裝

設(shè)泄漏偵測器DrainPortinlet1.箱體以SUS制成

2.鋼絲玻璃外蓋

3.箱體與外蓋間以

O-Ring密合有機(jī)溶劑類適用CDS：系統(tǒng)設(shè)備之材料要求

30一般無機(jī)酸堿類外管：CPVC內(nèi)管：PFAPiping&Tubing管件：鐵弗龍材質(zhì)制品有機(jī)溶劑類外管：SUS304內(nèi)管：SUS316LEP管件：SUS316L以上制品有機(jī)堿類外管：SUS304內(nèi)管：PFAPiping&Tubing管件：鐵弗龍材質(zhì)制品31ATCBumping化學(xué)供酸系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：32ATCBumpingCDS控制：CUB監(jiān)控室123CDMTBoxVBox用酸機(jī)臺CDMPLCRemoteboxCom0VDC12VDC12VRequiredEMO&ReadyReady所有接點都導(dǎo)通才會供酸33ATCBumpingCDSHookup介面及要求VBoxRemoteBox用酸設(shè)備6芯控制線每一點Hookup包含一管路及控制信號配線管路A>Solvent:SUS外管+PFA內(nèi)管B>ACIDPVC外管+PFA內(nèi)管C>VBox預(yù)留1/2閥口，hookup管徑則視設(shè)備需要而定控制線路:6芯以上控制線路測試A>

Required信號正常。B>設(shè)備端EMO信號正常。C>Required信號下，EMO信號打開是否強(qiáng)制停止要酸信號。D>開關(guān)供酸。部份機(jī)臺並沒有EMO信號接點，而使用本身的控制系統(tǒng)以斷絕Required，此時更必須要求設(shè)備端模擬EMO狀況以確保安全。34ATCBumpingCDS混酸35ATCBumpingCDS混酸體積比&重量比比重=質(zhì)量體積***看客戶需求***目前比例(體積比)3MH2SO4H2O2H3PO4DI401003005009260AZ400KDI1:3AZDev.DI3:1BOEDI1:3MixTankDrain粗調(diào)微調(diào)供酸WetN2Sensor在調(diào)整配比的過程中，換算成重量不僅方便也更準(zhǔn)確。36ATCBumpingCDSMixsystemmix.tankDaytank混酸量杯組濕氮氣CDS：運轉(zhuǎn)操作注意事項(一)

37充份閱讀MSDS，認(rèn)識化學(xué)品之物質(zhì)特性，危害性，危害標(biāo)示，危害途徑及防護(hù)措施工作前，先行思考及演練各細(xì)節(jié)后，再行動工作時應(yīng)雙人以上搭配作業(yè)，事前事后確認(rèn)正確選用及使用適當(dāng)防護(hù)器具正確處理化學(xué)品廢棄物，避免造成后續(xù)傷害良好個人安全衛(wèi)生環(huán)保習(xí)慣認(rèn)知工作安全”意外”意識CDS：運轉(zhuǎn)操作注意事項(二)

38熟知化學(xué)品泄漏處理七項步驟遠(yuǎn)離泄漏源辨示泄漏狀況尋求協(xié)助支持管制隔離污染區(qū)拯救傷員圍堵外泄物清除污染物及環(huán)境檢測事故調(diào)查記錄留存CDS：運轉(zhuǎn)操作注意事項(三)

39熟知化學(xué)品淋濺燒傷之急救處理稀釋、去除污染在皮膚或粘膜上之有害化學(xué)物質(zhì)自救--救人前應(yīng)先保護(hù)自己沖--清水不斷沖洗至少15分鐘脫--邊沖邊脫并避免二次傷害支持--請求支持成立緊急處理ERT

對HF時-須不斷地涂抹葡萄酸鈣

(涂抹-按摩-擦凈-涂抹)送--盡速送醫(yī)CDS：運轉(zhuǎn)操作注意事項(四)